Вакуумный сорбционный насос

Номер патента: 1492082

Автор: Таммик

ZIP архив

Текст

СОКИ СОВЕТСКИХ,СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИН ао 4 Р 04 В 37/02 ьЛОИМйАЪЛЙ Т.,ваЧ Ь 1 БЛИО: Г ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ К(57) Изоб ной техни откачные го насоса ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЭОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯММИ ГННТ ССОР(56) АвторскоеФ 354 175, кл. Р ВАКУУИНЫЙ СОРБЦИОННЫЙ НАСОС ретение относится к вакуумке и позволяет улучшить характеристики сорбционно. По оси корпуса 1 размещ.ЯО 1492082 А 1 2анод 3, окруженный охлаждаемым сосу- дом 5. Коаксиално сосуду 5 установлен сосуд 6. Полость между сосудами 5 и 6 разделена на секции, в каждой из которых размещен испаритеяь 9 геттера. При работе насоса испарители 9 включаются попеременно, а анод 3 и катод 4 включены постоянно. Откачка газов осуществляется на осаждаемых поверхностях сосудов 5 и 6 и перегородок клепках геттера, причем для эффективной откачки инертнйх газов осуществляется их ионизация в зоне анода 3. 2 з.п.ф-лы,Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционнымвакуумным насосам,Цель изобретения - улучшение от"5качных характеристик насоса.На фиг.1 представлен насос, продольный разрез,ф на фиг,2 - то же,поперечный разрез; на фиг.3 - схемаподключения испарителей геттера ксистеме питания,Вакуумный сорбционный насос содержит корпус 1 с входным патрубком 2 и размещенный по оси корпуса 1стержневой анод 3 и катод 4. Насосдополнительно содержит два цилиндрических охлаждаемых сосуда 5 и 6,расположенных в корпусе 1 коаксиальноаноду 3 с образованием кольцевойполости, разделенной на секции 7 припомощи радиальных охлаждаемых полированных перегородок 8. Каждая секция7 снабжена испарителем 9 геттера,расположенным параллельно стержневому аноду 3. Испарители 9 подключены 25через переключатель 10 к источникупитания, перегородки 8 закрепленына стенках охлаждаемых сосудов 5 и 6с тепловым контактом.Насос работает следующим образом.На испарители 9 подается электропитание и в результате разогревапроисходит испарение геттерного материала, например титана, и осаждение его на стенках секции 7, охлаждаемых до низких температур. Осаж 35денная пленка геттера активно поглощает поступающие в полость корпуса1 через входной патрубок 2 газы изоткачиваемого объема, Эффективностьработы насоса достигается включением в работу не всех секций сразу,а попеременно части из них. 1 ереключение секций производится автоматически лри помощи переключателя 1 О. Более интенсивная откачка инертных газов происходит в центральной части насоса, где на анод 3 подается высокое напряжение и электроны, эмитируемые катодом 4, двигаясь по кольцевым орбитам вокруг анода 3, иониэируют откачиваемый гаэ, который поглощается пленкой титана.Таким образом, переменная работа секций насоса, каждая иэ которых эффективно откачивает определенный род газа, обусловливает улучшение откачных характеристик насоса.Формула изобретения1. Вакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с выходным патрубком, размещенный по оси корпуса стержневой анод и катод, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью улучшения сткачных характеристик, насос дополнительно содержит два цилиндрических охлаждаемых сосуда, расположенных в корпусе коаксиально аноду с образованием кольцевой полости, разделенной на секции при помощи радиальных охлаждаемых полированных перегородок, и каждая секция снабжена испарителем геттера.2. Насос по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что испарители геттера расположены параллельно стержневому аноду.3. Насос по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что перегородки закреплены с тепловым контактом на стенках охлаздаемых сосудов.1492082 Составитель В. КряковкинРедактор И. Дербак Техред Л.Олийнык Корректор С. Шекм по изобретенияТираж 52о комитетМосква исноеи открытиям при ГКНТ ССб., д. 4/5

Смотреть

Заявка

4350698, 28.12.1987

ТАРТУСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

ТАММИК АРВЕД-АЛЕКСАНДЕР АЛЕКСАНДРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04B 37/02

Метки: вакуумный, насос, сорбционный

Опубликовано: 07.07.1989

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1492082-vakuumnyjj-sorbcionnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный сорбционный насос</a>

Похожие патенты