Подложкодержатель

) С 2 3 С 1 3 / 08 рг,кафф. 3 АНИ СКОМУ Е ИЗОБРЕТЕНИ А ЕТЕЛЬСТ 54)(57 по 6П.ра установки внутри по ю щ и й с мии матер ов,ния плотподложкодцилиндрасквозныек другу арки тельство ССС/08, 1981 Фиг.1 СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ(71) Институт электросвим. Е.О. Патона АН УССР(прототип). 1. ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содерлый цилиндр с фиксаторами дляподложек в несколько рядов лого цилиндра, о т л и ч а"я тем, что, с целью эконоиала покрытия путем увеличе. ости упаковки подложек в ержателе, в стенке полого вдоль образующих выполнены щели под углом .наклона друг1089171 2. Подложкодержатель по п. 1, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что фиксаторы выполнены в виде цилиндра, установленного коаксиально полому цилиндру с наружной стороны,Изобретение относится к получению покрытий в вакууме и может быть использовано для нанесения покрытий на подложки в цилиндрических распыпительных системах. / 5Известен подложкодержатель, выпол-. ненный в виде полого незамкнутого тела, например, части цилиндра, на внут. ренней поверхности которого с помощью элементов фиксации размещены подлож ки таким образом, что они находятся на одинаковом расстоянии от оси распылительного устройства. Использование такого подложкодержателя позволяет получать равномерное по толщине 15 покрытие на больщем количестве непод вижных подложек 11.Недостатком данного подложкодержателя является низкое значение коэффициента использования материала по крытия из-за малой степени упаковки.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является, подложкодержатель, содержащий полый цилиндр с фиксаторами для установки 25 подложек в несколько рядов внутриполого цилиндра 121.Недостатком указанной конструкцииподложкодержателя является то, чтозначительная часть распыленного мате- З 0 риала осаждается на масках (экранах), закрывающих участки подложек, не подлежащие напылению. В результате увели чивается расход материалапокрытия.Цель изобретения - экономия мате 35 риала покрытия путем увеличения плотности упаковки подложек в подложкодержателе.Поставленная цель достигается тем,что в подложкодержателе, содержащемполый цилиндр с фиксаторами для установки подложек в несколько рядов внутри полого цилиндра, в стенке полого цилиндра вдоль образующих выпол- . иенц сквозные Щели псд углом наклона 45 друг к другу 0 с с с 90 3. Падложкодержатель ло п. 1, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что внутри полого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца. Фиксаторы выполнены в виде. цилиндра, установленного коаксиально поломуцилиндру с наружной стороны.Внутри йолого цилиндра между рядами подложек расположены маскирующие кольца.На фиг. 1 изображен подложкодер"жатель, продольный разрез; на фиг. 2разрез А-А на фиг. 1.; на фиг. 3 разрез Б-Б на фиг. 2.Подложкодержатель собирается вследующей последовательности.Полый цилиндр 1 собирается из составных частей, при этом в кольцевыеканавки, выполненные внутри его,помещают маскирующие кольца 2, затем с обоих торцов полый цилиндр .скрепляют фланцами 3 при помощивинтов 4. В сквозные щели вставляютподложки 6 и на полый цилиндр надевают фиксатор 5 для установки подложек, после чего фиксатор прикрепляют к полому цилирдру винтами.,После этого подложкодержательготов к работе. Все детали подложкодержателя выполнены из немагнитного материала.Плоские подложки 6 касаются другдруга по линии, параллельной образующей цилиндра, и своими крайнимипрямоугольными участками, расположенными внутри полого цилиндра 1,образуют замкнутый многогранник,причем каждая подложка.для предыдущей является маской, а в случаеиспользования подложек, в которыхпрямоугольные участки отделены прорезями, кольца 2 являются экранами,закрывающими просвет, образованныйэтими прорезями. Причем, площадь,маскирующая кольцами 2, составляет202 от всей запыляемой радиальнымпотоком материала плоскости,При таком размещении подложек иколец коэффициент использования материала, распыляемого внутри подлож3 .1089171 4кодераателя, достигает 803, что уве- , териала, имеющего низкую адгезию с ма" личивает безотходность производства, териалом покрытия, что облегчает опеКольца 2 выполняются сменными из ма- рацию утилизации последнего. и бРрр,Составитель Н. Серебрянников едактор Е, Кривина Техред М.Тепер Му паащвейае ющЮавйктор А. Тяско 877/25 Тираа 900 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, РаЗака одписное комитета СС и открытийушская наб.,илиал ППП "Патент", г. Уагород, ул. Проектн