Подложкодержатель

СОЮЭ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 119) 111)3(59 С 23 С 13/08 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 Ыьйй Ж 1 А К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ. Информационный бюллетень. Вып. 5.М., 1980, с. 32.2. Авторское свидетельство СССР(54)(57) ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединен.ньпс между собой шарнирами, о. т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюупрощения конструкции подложкодержа-,теля, каждая секция снабжена опорными.площадками, смещеннь 1 ми относительноосей шарниров.Изобретение относится к нанесениюпокрытий в вакууме и может быть использовано при конструировании вакуумных установок в вакуумных напылительных линиях.Известен подложкодержатель, выпол ненный в виде прямоугольной плиты, имеющей элементы крепления подложек и выступы для транспортирования 11 .Однако этот подпожкодержатель не позволяет загружать одновременно достаточное количество подложек. В вакуумной установке с таким подложко держателем нерационально использован объем камеры, так как для получения высокого качества напыпяемого слоя такой подложкодержатель должен посту пательно перемещаться относительно источника напыления, что влечет за собой увеличение длины вакуумной камеры в три и более раза по сравнению с размером подложкодержателя. Дополнительное увеличение количества одно временно загружаемых подложек влечет за собой, как правило, неоправданное увеличение объемов вакуумных камер.Наиболее близким по технической сущности к изобретению является подложкодержатель, содержащий основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, причем каждая секция снабжена опорными площадками, смещенными относительно осей шарниров 2 .Недостатком известного подложкодержателя является сложность конструкции, так как при передаче подложек из камеры в камеру к подложкодержателю требуется дополнительный механизм, перекладывающий подложку с одного подложкодержателя на другой,Цель изобретения - упрощение конструкции устройства.Поставленная цель достигается тем что в подложкодержателе, содержащем основание с элементами крепления подложек, выполненное из нескольких секций, последовательно соединенных между собой шарнирами, каждая секция снабжена опорными площадками, сме площадок может транспортироваться в безопорном пространстве (не имеющем направляющих) затворно-шлюзовых устройств и т.п., т.е. при посекцион ном выдвижении подложкодержателя на направляющих секции 1 разворачиваются вокруг осей шарниров 2 до взаимо. действия опорных площадок 4 смежных секций, образуя при этом жесткий блок под действием силы тяжести. При достижении следующих направляющих подложкодержатель вновь образует бесконечный конвейер за счет замкнутых направляющих.По сравнению с,известными в пред 35 40 45 лагаемом подложкодержателе можно раз"местить большее количество подложек,причем передача подложек с однойпозиции на другую осуществляется беэ дополнительных устройств, что значительно упрощает конструкцию подложко 50 держателя,щенными относительно осеи шарниров.На фиг.1 изображен подложкодержатель, общий вид; на фиг.2 - разрезА-А на фиг.1.5 Подложкодержатель содержит основание в виде располаженйых друг задругом секций 1. Противоположные торцевые поверхности секций по ходутранспортирования соединены междусобой шарнирами 2, которые имеют оси3. Выступающие части осей играютроль зацепов при транспортировании.Каждая секция подложкодержателя имеет опорные площадки 4, которые выполнены со смещением относительноосей шарниров и ограничивают разворотсекций в одном из направлений вращения в шарнире.В процессе напыления подложкодержатель транспортируется по замкнутымнаправляющим камеры, при этом крайниесекции подложкодержателя между собойзацепления не имеют. Благодаря замк-нутым направляющим камеры подложко держатель образует бесконечный конвейер, а вследствие шарнирного соединения секций между собой подложкодержатель способен транспортироватьсяпо радиусным участкам направляющих.Подложкодержатель за счет опорных1093728Составитель И. Серебрянникова Редактор Н. Егорова Техред С,Легеза Корректор Г. Огар Заказ 3381/24 Тираж 900 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР