Патенты с меткой «ионнолучевого»

Номер патента: 710625

Опубликовано: 25.01.1980

Авторы: Зотов, Назарова, Титов

МПК: B01J 17/34

Метки: ионнолучевого, легирования, подложкодержатель, устройств

...цилиндров с двумя кольцевыми прорезями, ширина одной иэ которых равна толщине пластины, а ширина другой равна толщине подложки.С целью уменьшения загрязнения подложек материалом подложкодержателя он преимущественно выполнен иэ стеклоуглерода, кремния или кварца. На фиг.1 схематически показан подпожкодержатель, вид спереди; на фиг.2 вид сбоку; на фиг.З изображен фиксатор.Подложкодержатель представляет собой прямоугольную пластину 1 с наклонными прорезями 2 по боковым сторонам. В прорезях 2 установлены фиксаторы 3, которые удерживают подложку 4 на поверхности подложкодержателя. Фиксатор имеет две прорези, одна из к"торых 5, равна толщине пластины, служит для крепления фик - сатора в прорези 2. Ширина второй прорези 6 равна толщине...