Патенты с меткой «окисления»

Номер патента: 1840206

Опубликовано: 20.08.2006

Авторы: Алехин, Емельянов

МПК: H01L 21/316

Метки: aiii, анодного, окисления, полупроводников, типа

1. Способ анодного окисления полупроводников типа АIII ВV путем электрохимической полировки полупроводниковых пластин с последующим анодированием, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических параметров границы раздела полупроводник-анодный окисел, полировку и анодирование проводят в электролите одного качественного состава, не вынимая пластин из электролита,2. Способ анодного окисления по п.1, отличающийся тем, что полировку пластин антимонида индия проводят в 10N растворе КОН при токе 0,75-3,0 мА/см2 в течение 10-30 минут, затем разбавляют раствор водой до концентрации 0,1N и анодирование проводят при том же токе.3. Способ...

Номер патента: 1094398

Опубликовано: 27.06.2007

Авторы: Балакир, Зотов, Кульга, Смирнов, Чавчанидзе

МПК: C23C 10/14

Метки: защиты, металлов, окисления, повышенных, температурах

1. Способ защиты металлов от окисления при повышенных температурах, включающий нагрев легирующих d и p элементов в вакууме до образования паровой фазы и обработку нагретой металлической подложки в среде легирующих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения жаростойкости и термостойкости защищаемого металла, а также повышения производительности процесса, в паровую фазу вводят активирующие добавки малополярных веществ в количестве 0,05 ÷ 7,0 мг/см 3, причем обработку осуществляют до достижения в диффузионном слое подложки концентрации легирующих элементов от 10 до 40 ат.%. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве активирующих добавок используют...

Номер патента: 1114080

Опубликовано: 27.06.2007

Авторы: Балакир, Зотов, Кульга, Смирнов, Чавчанидзе

МПК: C23C 14/02, C23C 14/24

Метки: защиты, металлов, окисления, повышенных, температурах

Способ защиты металлов от окисления при повышенных температурах, включающий нагрев подложки и легирующих p-элементов в вакууме до образования паровой фазы и обработку подложки в среде легирующих элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения окислительной стойкости при повышенной температуре покрытия путем формирования диффузионных зон со структурой твердого раствора, подложку предварительно легируют d элементами из паровой фазы.

Номер патента: 1099782

Опубликовано: 20.06.2012

Авторы: Канищев, Костенко, Куксо, Пухов, Румак, Хатько

МПК: H01L 21/316

Метки: кремния, окисления, пластин

Способ окисления пластин кремния, включающий нагрев пластин до температуры окисления (900-1150)°С, выдержку при этой температуре в атмосфере сухого кислорода при нормальном давлении и охлаждение до комнатной температуры, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества окисла путем снижения количества микропор на границе кремний - окисел, выдержку предварительно осуществляют при давлении (10-4-10-6) мм рт.ст. в течение (1-2) мин, а затем при давлении (101 -10-4) мм рт.ст. до получения слоя окисла толщиной (20-25) нм.