Патенты с меткой «диффузионных»

Номер патента: 1767029

Опубликовано: 07.10.1992

Авторы: Герасимов, Порфирьева

МПК: C23C 10/50

Метки: диффузионных, легированных, покрытий, сталях, углеродистых

Номер патента: 1773946

Опубликовано: 07.11.1992

Авторы: Лабунец, Назаренко, Свирид, Семенюк

МПК: C23C 12/00, C23C 8/70

Метки: боридных, деталях, диффузионных, покрытий, стальных

...(Р) от 2 до 10 МПа, (У) от 0,5 до 1,5 м/с, (рН) от 1 до 13. В качестве агрессивных сред были взяты 5 О-ный р-р НС 1, дистиллированная вода, 5 %-ный р-р йаОН, Для определения оптимальнь 1 х условий работоспособности был выбран режим испытания на износостойкость вписывающийся в дробную реплику 2/6-3 с дублированием опытов в центре и крутым восхождением, что максимально дало возможность приблизить эксперимент к оптимальному режиму работы узла трения. Для уточнения и развития представлений о трибологических возможностях покрытий в ожидаемом оптимуме использовался рототабельный план второго порядка, позволяющий с доверительной точностью охарактеризовать поверхностные характеристики трения данного покрытия в агрессивных средах, В центре...

Номер патента: 1804662

Опубликовано: 23.03.1993

Авторы: Кондрашов, Мурзин

МПК: H01L 21/22

Метки: диффузионных, проведения, процессов, реактор

...трубы 1 и съемной крышки 2, изготовленных из кварцевого стекла ПНП ГО ВЩЛО.027.241 ТУ. Общая длина трубы 2000 мм, толщина стенки 5 мм, внутренний диаметр О = 135 мм. На одном конце трубы .1 имеется отверстие 3 диаметром 15 мм для подачи газа, на другом - отверстие 4 для загрузки и выгрузки обрабатываемых полупроводниковых пластин 9 и выпуска газа. Съемная крышка 2 с помощью шлифового соединения "шлиф КШ 150/75, ГОСТ 8682-70" герметично и коаксиально вставляется в выпускное отверстие 4 трубы 1 и своей удлиненной цилиндрической чэстьа наружным диаметром 90 мм и длиной 380 мм защищает внутреннюю стенку трубь в "холодной" зоне печи(Т(750 фС) от загрязнения сублимирующимся диффузантом, Необходимо отметить, что в известной конструкции...

Номер патента: 1338709

Опубликовано: 10.06.2000

Автор: Нисневич

МПК: H01L 21/22

Метки: бором, диффузионных, легированных, пленкообразующий, раствор, слоев

1. Пленкообразующий раствор для получения легированных бором диффузионных слоев, содержащий растворитель, катализатор, соединение элементов IV группы и неорганическое соединение бора, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня и однородности легирования толстых диффузионных слоев, раствор дополнительно содержит органическое соединение бора при массовом соотношении органического и неорганического соединения бора от 7,5 : 1 до 30 : 1 и следующем количественном соотношении компонентов, мас.%:Растворитель - 13 - 30Катализатор - 0,3 - 1,0Соединения бора - 28 - 55Соединение элементов IV группы - 19,7 - 412. Раствор по п.1, отличающийся тем, что в качестве...

Номер патента: 1176774

Опубликовано: 10.06.2001

Авторы: Венков, Манжа, Патюков, Шурчков

МПК: H01L 21/18

Метки: диффузионных, контактов, ним, областей, формирования

1. Способ формирования диффузионных областей и контактов к ним, включающий нанесение диэлектрической пленки на кремниевую подложку, осаждение первого слоя поликремния, вскрытие окон в поликремнии и диэлектрике, осаждение второго слоя поликремния, термообработку, формирование поликремниевой разводки и металлизации, отличающийся тем, что, с целью увеличения плотности компоновки диффузионных областей и повышения процента выхода годных структур, после осаждения первого слоя поликремния легируют его примесью типа, противоположного типу проводимости подложки, после вскрытия окон в поликремнии и диэлектрике подтравливают диэлектрическую пленку под поликремнием, а термообработку проводят с...