Способ формирования диффузионных областей и контактов к ним

Номер патента: 1176774

Авторы: Венков, Манжа, Патюков, Шурчков

Описание

1. Способ формирования диффузионных областей и контактов к ним, включающий нанесение диэлектрической пленки на кремниевую подложку, осаждение первого слоя поликремния, вскрытие окон в поликремнии и диэлектрике, осаждение второго слоя поликремния, термообработку, формирование поликремниевой разводки и металлизации, отличающийся тем, что, с целью увеличения плотности компоновки диффузионных областей и повышения процента выхода годных структур, после осаждения первого слоя поликремния легируют его примесью типа, противоположного типу проводимости подложки, после вскрытия окон в поликремнии и диэлектрике подтравливают диэлектрическую пленку под поликремнием, а термообработку проводят с прокислением второго слоя поликремния, затем вскрывают контактные окна в образовавшемся окисле.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что термообработку проводят последовательно в инертной, затем в окислительной атмосфере.

Заявка

3716556/25, 27.03.1984

Манжа Н. М, Шурчков И. О, Венков Б. В, Манжа Л. П, Патюков С. И

МПК / Метки

МПК: H01L 21/18

Метки: диффузионных, контактов, ним, областей, формирования

Опубликовано: 10.06.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1176774-sposob-formirovaniya-diffuzionnykh-oblastejj-i-kontaktov-k-nim.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ формирования диффузионных областей и контактов к ним</a>

Похожие патенты