Способ получения диэлектрических пленок для мдп-структур на основе полупроводниковых соединений aiiibv
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
1. Способ получения диэлектрических пленок для МДП-структур на основе полупроводниковых соединений AIIIBV путем анодного окисления полупроводниковой пластины, погруженной в электролит, отличающийся тем, что, с целью получения диэлектрических пленок с заданным по величине и знаку встроенным зарядом, полупроводниковую пластину погружают последовательно в два электролита, первый из которых характеризуется величиной вводимого в пленку заряда на 0,5-10 В меньше заданной, второй - на 0,5-10 В больше заданной.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для МДП структур на основе JnSb в качестве первого электролита используют электролит состава, вес.%:
Аммоний надсернокислый 1-3
Глицерин 30-70
Диметилформамид - остальное
анодное окисление проводят в квазивольтстатическом режиме, а в качестве второго электролита используют электролит состава, вес.%:
Кислота пирофосфорная 0,3-3,0
Углерод четыреххлористый 5-15
Ацетонитрил - остальное
Заявка
2245515/28, 04.10.1978
Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина
Алехин Анатолий Павлович, Емельянов Аркадий Владимирович
МПК / Метки
МПК: H01L 21/316
Метки: aiiibv, диэлектрических, мдп-структур, основе, пленок, полупроводниковых, соединений
Опубликовано: 20.08.2006
Код ссылки
<a href="https://patents.su/5-1840204-sposob-polucheniya-diehlektricheskikh-plenok-dlya-mdp-struktur-na-osnove-poluprovodnikovykh-soedinenijj-aiiibv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения диэлектрических пленок для мдп-структур на основе полупроводниковых соединений aiiibv</a>
Предыдущий патент: Способ анодного окисления полупроводниковых пластин в галогенсодержащих электролитах
Следующий патент: Электролит для анодного окисления антимонида индия
Случайный патент: Устройство для пропитки штучных изделий из полимерного материала