Способ получения диэлектрических пленок для мдп-структур на основе полупроводниковых соединений aiiibv

Номер патента: 1840204

Авторы: Алехин, Емельянов

ZIP архив

Описание

1. Способ получения диэлектрических пленок для МДП-структур на основе полупроводниковых соединений AIIIBV путем анодного окисления полупроводниковой пластины, погруженной в электролит, отличающийся тем, что, с целью получения диэлектрических пленок с заданным по величине и знаку встроенным зарядом, полупроводниковую пластину погружают последовательно в два электролита, первый из которых характеризуется величиной вводимого в пленку заряда на 0,5-10 В меньше заданной, второй - на 0,5-10 В больше заданной.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для МДП структур на основе JnSb в качестве первого электролита используют электролит состава, вес.%:

Аммоний надсернокислый 1-3

Глицерин 30-70

Диметилформамид - остальное

анодное окисление проводят в квазивольтстатическом режиме, а в качестве второго электролита используют электролит состава, вес.%:

Кислота пирофосфорная 0,3-3,0

Углерод четыреххлористый 5-15

Ацетонитрил - остальное

Заявка

2245515/28, 04.10.1978

Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф. В. Лукина

Алехин Анатолий Павлович, Емельянов Аркадий Владимирович

МПК / Метки

МПК: H01L 21/316

Метки: aiiibv, диэлектрических, мдп-структур, основе, пленок, полупроводниковых, соединений

Опубликовано: 20.08.2006

Код ссылки

<a href="https://patents.su/5-1840204-sposob-polucheniya-diehlektricheskikh-plenok-dlya-mdp-struktur-na-osnove-poluprovodnikovykh-soedinenijj-aiiibv.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения диэлектрических пленок для мдп-структур на основе полупроводниковых соединений aiiibv</a>

Похожие патенты