Устройство двустороннего контактного фотокопирования

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХСПУБЛИН абазин 6957 р 1) С 03 В 27/02 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН 46751 07,02 15. 11 Г 1. 1". Бе1 4/24-18990. Вюп(53) 778 (56) Авт Р 699474 тво СССР 2, 1979. око кл. 01 тро кон ния твя,э нерение Устзрдчноемембпругие8 и 9, и 12 и понируе щие поГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМПРИ ГННТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДВУСТОРОННЕГОТЛКТНОГО ФОТОЕОПИРОВЛНИЯ(57) Изобретение относится кст вам для э ксп онир о вя ни я притактцом печатании. Цель изобругрошение конструкции устройсснижение его метдллоемкости игопотребления, а также расширфункциональных возможностей,ройство содержит плиту 1, прооснование 2, вакуумнуо раму 3рану 4, канал 5 разрежения,направляюшие 6 и 7, прокладкифотошабпоны 10 и 11, источник13 акти нич ног о и зл уч ения, э ксмый материал 1, светоотражаю крытця 15 и 16 на основании 2 имембране ч,упругие элементы 17, 18для подъема вакуумной рамы 3. Приотсутствии вакуумировдния имеются ззор между цаблонами 10, 11 за счетупругости материала направляюних би 7 и зазор между рамой 3 ц основднцем 2. При вакуумцрогдниц через кдцдл 5 вакуумная рама 3 опускаетсяи плотно прижимется к основанию 2,мембрана 4 давит ця упругую направляюшую 6, обсспечиндя плотный контакт фотошдб:она 10 с верхним фоторезствц. слоем материала 14 инижнего фоторезистивного слоя матерцдлс 14 с фотошдбпоцо: 11. Послеэкспонирования объем вакуумной рамы3 заполняется атмосферным давлениемчто обеспечивает зазор между фотошдблонамц 10 и 11 под действием сцлу пр уг ости напра вляащсй 6 и зазормежду вакуумной рамой 3 и основание2 под действием упругих элементов17 .: 18. 1 зп. флы, 2 ил.Изобретение относится к устройствам для экспонирования при контактном печатании, вчастности предназначено для двусторонней контактнойФотопечати,Целью изобретения является упрощение конструкции с одновременнымуменьшением металлоемкости, энерго"потребления, расширение функциональных возможностей за счет обеспечениякопирования на основе металлизированных масок, а также повышение качества фотокопирования.На Фиг, 1 представлена принципи- .альная схема устройства в положениизазора между Фотошаблонами при .перемещении экспонируемого материала сФоторезистивными слоями; на фиг, 2 -то же, в положении контакта фотошаблона с материалом при экспонированииФоторезистивных слоев,Устройство состоит из плиты 1,прозрачного основания 2, вакуумнойрамы 3, мембраны 4, канала 5 разрежения, упругих направляющих 6 и 7, прокладок 8 и 9, фотошаблонов 10 и 11,источников 12 и 13 актиничного излучения, экспонируемого материала ввиде ленты с Фоторезистивными слоями14; светоотражающих покрытий 15 и 16на основании и на мембране, упругихэлементов 17 и 18 для подъема вакуумной рамы.Устройство работает следующим образом.35Узел совмещения и копирования,представляющий собой совмещенные фотошаблоны 10 и 11 на упругих прямоугольных направляющих 6 и 7, располагается на прозрачном основании 2 в.вакуумной раме 3, При отсутствии вакуумирования имеется зазор междушаблонами за счет упругости материаланаправляющих 6 и 7 и зазоР между Рамой 3 и основанием 2, осуществляемыйподнятием рамы упругими элементами. 17 и 18.При вакуумировании через канал 5разрежения вакуумная рама 3 опускается и плотно прижимается к основанию,что способствует дальнейшему разрежению объема под вакуумной. рамой 3 идавлению мембраны 4 на упругую направляющую 6, что обеспечивает в конечном итоге плотный контакт фотошаблона 10 с верхним фоторезистивнымслоем материала 14 и нижнего фоторезистивного слоя материала 14 с фотошаблоном 11. После обеспечения контакта производится экспонирование фо" торезистивных слоев источниками 12 и 13 актиничного излучения сквозь экспозиционные окна в упругих направляющих 6 и 7, сквозь отверстие в основании 2 и сквозь незащищенные отражающим покрытием участки поверхности основания 2 и мембраны 4. По окончании экспонирования после снятия вакуумирования через канал 5 разрежения снимается давление на мембрану 4 и вакуумную раму 3 и обеспечивается под действием сил упругости материала направляющей 6 зазор между фотошаблонами 10 и 11 и под действием упругих элементов 17 и 18 зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2.Перемещение материала с фоторезистивными слоями с гарантированным зазором между фотошаблонами исключает повреждение фоторезистивных слоев на материале основой фотошаблона и повреждение и равно загрязнение маскирующего слоя .Фотошаблона, что определяет качество фотокопирования,В предлагаемом устройстве узел совмещения выполнен в виде двух упругих параллельно расположенных прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовой стороне посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине2 а + Ъ,где а - толщина одного Фотошаблона, Ъ - зазор между фотошаблонами, равныйгде 3 - касательная напряжения,С - модуль упругости направляющих, выполненных из изотропного материала,при этом в направляющих узла совмещения выполнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумирования выполнено в виде одного канала разр ежения.Кроме того, в устройстве в про" эрачном основании выпо,".нено отверстие, соответствующее по форме экспозиционным окнам направляющих, и нанесено светоотражающее покрытие на5мембрану вакуумной рамы и на основание вне экспозиционных окьн.Прямоугольность направляющих определена тем, что напряженному состоянию чистого сдвига соответствуетнапряженное состояние по двум взаимно перпендикулярным площадкам.Ввиду отсутствия необходимостивыполнения вакуумных присосок дляфотошаблонов в основании и в вакуумной раме и других конструктивныхдоработок в целях обеспечения зазорамежду шаблонами конструкция предложенной вакуумной рамы обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью. При этом достижение зазора иконтакта между основанием и рамойдостигается не подачей и отводомвоздуха, а только отводом воздухаи применением упругих элементов, благодаря указанному упрощению и уменьшению металлоемкости, что непосредственно ведет к уменьшению энергопотребления устройства в целом.Наличие в прозрачном основанииотверстия, соответствующего по формеи размерам экспозиционным окнамнаправляющих, совместно с нанесеннымна остальную поверхность. основанияи на поверхность мембраны светоот-.ражающим покрытием обеспечивает повышение качества иэображения при фотокопировании за счет снижения температурных погрешностей при экспонировании. Отверстие в прозрачном основании способствует уравнению величинпотоков актиничного излучения приэкспонировании верхнего и нижнегослоев фоторезиста, осуществляемогорасположенными с двух сторон источниками,Таким образом, конструкция предлагаемого устройства обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью, что ведет также к уменьшению .энергопотребления устройства в целом. В устройстве расширены функциональные возможности в связи с обеспечением копирования на основе металлизи- рованных масок, что ведет к повышению качества Фотокопирования. 06957 Б Формула изобретения 1. Устройство двустороннего контактного фотокопирования, содержащеедва совмещенных относительно другдруга фотошаблона, расположенные ввакуумной раме на прозрачном основании узла совмещения и копирования,снизу и сверху относительно которогоустановлены осветители, и средствавакуумирования, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью упрощения конструкции с одновременным уменьшениемметаллоемкости и энергопотребленияи расширения функциональных возможностей за счет обеспечения копирования на основе металлизированньм масок, узел совмещения и копирования 2 О выполнен в виде упругих параллельнорасположенньм прямоугольных направляющих, соединенных между собой поторцовым сторонам посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величинеЕ = 2 а + Ь,где а - толщина одного фотошаблона,Ь - зазор между фотошаблонами,равныйЬ- "уСгде- касательная напряжения,С - модуль упругости направляюЭ 5щих, выполненных из иэотрочного упругого материала,при этом в направляющих узла совмещения выполнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумированиявыполнено в ниде одного канала разрежения.2, Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюповышения качества изображения приФотокопировании за счет снижения температурньм погрешностей, в прозрач ном основании вьаолнено отверстие,соответствующее по форме.экспозиционным окнам направляющих, а на мембране вакуумной рамы и на основании внеэкспозиционных окон нанесено свегоотражающее покрытие.1606957 Корр ест ор А 0 аул енПодписное Редакт.ор К.Коп. аж 375 а.каэ 354 и. открытиям при ГК;Т СССРаб д, 4/5 НИИП а ий комбинат "Патент", г, У датель твенно ставитель Р.Архипкрец М дндьг осударственного комитета па иэо 1303 оф Москва 9 Ы 3 о Р ул, Гагарина, 101