Целковский

Номер патента: 1606957

Опубликовано: 15.11.1990

Авторы: Бекельман, Целковский

МПК: G03B 27/02

Метки: двустороннего, контактного, фотокопирования

...3 и обеспечивается под действием сил упругости материала направляющей 6 зазор между фотошаблонами 10 и 11 и под действием упругих элементов 17 и 18 зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2.Перемещение материала с фоторезистивными слоями с гарантированным зазором между фотошаблонами исключает повреждение фоторезистивных слоев на материале основой фотошаблона и повреждение и равно загрязнение маскирующего слоя .Фотошаблона, что определяет качество фотокопирования,В предлагаемом устройстве узел совмещения выполнен в виде двух упругих параллельно расположенных прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовой стороне посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине2 а + Ъ,где а - толщина одного...