Способ соединения сапфира с металлом

(57) Изобретен логии получени локерамических использовано в носится к технопотных мета а злов и может быть тронной, электро х областях техни техническои и друг ки для получения г ний сапАира с мета метичных соединеами. Для улучи термостойкости щения герметичност ГОСУДАРСТВЕННЫИ НОМИТЕ ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И О(54) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ САПФИРА СТАЛЛОМ соединения сапФира с металлом путемуменьщения механических напряжениймежду сапАиром и металлом размещаютдвухслойную компенсирующую прокладку,состоящую из слоев кремния толщиной3-5 мкм и щелочного стекла. Прокладки размещают так, чтобы кремний контактировал с сапАиром, а стекло - сметаллом, Полученную сборку сжимают,нагревают до температуры 150-1200 Си прикладывают постоянное напряжение300-1000 В положительным потенциаломк кремнию, а отрицательным к металлу. Слой кремния можно нанести на.сапАир путем пиролиза кремнийорганических веществ, а слой стекла наплавить на поверхность металла. Выходгодных после термоудара по режиму(-100) -(300) С составляет 1007, после термоудара по режиму (-150)- ту гае яг Е ОТНОСКТГ я т. Кггг ЛЛ Кт.Е"."Я.ПГГ ЛК Л МОЖРТ бвТЬ 1",СПСПЬЗОВЯт е; 1,; т: н с г 11;= я к;г",.;л пт р т но г гг " е р ГО г". т он к с-О :о, в .дкненкя сапфира с глетя.ялом,1",ега ,т"-г бт",г- Рнтляутттг 1 Вгле ГРО,.-,.,а;-,ЛЕ г ПРНИЯ Лака-,Чаакиг. 1 тХ.т 1) КСГОЛЬ УкТ КГтМГ(ЕНСтРУЕЦУЮ1 РОгкглагткУ со токая из ко емн Я по"ПуЧанного ПирОЛИЗОМ КрЕ-.лйор. гзНИЧаГт. я -:овепхкость металла сгп;собомНавлавязнпС ЛОСЛЕДУтгтЕй ПОЛКРОВКО.; ЛЛЛ -, - .-,тг;,Р гтласт 1 ЛЬЬ ОЕИПНЕНИЕятфира С, ла - я ттлгтгЛ Поотл.В ,ПИТ; я Пртг ТЕМПЕВЯТУ 1 Е ПЯГРЕВЯ И ПРКгОЖЕНКИг ОзтктгО тгт ЯсвжеЛЛЯ В Гтггтнгнвг стойкость " в табл, 2, Иог ле соеди.-400 01 ежду групгагд те;-.г оггикловПнг,ВОДИЛОСЬ КЗМРРЕЯИЕ ГЕР МЕТИНОСТИи МЕХН 1 т 1 ЕСКИХ ЯПРЯИЕНИИ . ГОЕДИНЕнни лл,яК Видно КЗ Табл о , К,., НгЛЛуЧ" Г 1 ЕД СЕт 1 тР аи" КО С ",; тт ТЕОтГт Г тГСтго тг Ю И М 1 Л 1 ИмтаЛЬНЬОЛЛЕХЯНИЧЕС , ги 1.гзПРЯ жеииями облапают образтв, содержаППЛЕ КОМПЕтЯСИВУЮгтУЮ ПВОКЛЯГктт КЗКВЕМНИЯ ПОЛУЧЕ 1 НОГО 1 П 1 асл. 1 ЗОМ КОЕМ НтЛтйогт ГР тнл-,.тЕг тггтО Вгаггзг ТВ Я - С:Еглатуг.т гтгта я тт.т,ч т. ту, ,ттрОВяттг О г яа я тл МРтЕц. гтЕХЯНК".7 Е "; И",. ,.таир т"тт дгт.ттт г гтггт тат г Татла тг "а"т пт От 1 я атт атца нктятт.Ктя ППОКт:=гнгллСт ЛЕ"- ттурггв лкя С-ття т тгалттия ПГт,Лат бг -а О КП 1 СТЯЛЛИЧРГ КОГО КПРМНКЯ -ТИ 1 ЯП "тон ЗВ 1 дггтОГ ТЛ МягКК 1 тт 2 Ь;,Е 0 т-.,5/7,5-60 к нагрева и и",.И.оженияло, ч Оянного няпряжен 1;я. 3, "Рм ГгОГОбом фстолитйгтятти 1 л в крслтктл,тяромт -ронялся тензометрическкй мост, Г чеТЬЬМЯ К 1 И Гт, В ттМЯ К ТтЛ В Н ЬПЛ 11 т Р т 3 ОП Е -з 1 с торами. В дягльнейгегл форглкрсвяПКСЬ ПРОВОДНИКИ. МРжГОЕГтКНРЧИЯ К ОМКцеские контяктю,ИЗМЕРЕНИЕ МГХЯНИЧЕСКИХ НЯПВЯжЕНтЛйВ ОРдИНЕНИИ ПОСЛЕ ИЗГОТОВЛЕНтЛя Об разОН и термпиклировянкя Осук;еств-Какаст УЛУЧЩЕНИЕ -ЕРМЕТ,ЧНОСтК СОЕдинегггя при нормаль ньх темпер ату рах ня два порядка улучиенке термостойкости соединения г, дияпязоке тепмс - рятур от -О 0 0 о -1.0 0 ня двя порядка, я в дияпязоге температур ст- т 0 ло + 0.: ня трк порядка,УгЛгаКЯПЕНИЕ МГХЯКИЧаСККХ ."-1 ЯПРЯжанкйседине нгти гз;, - 1 Г раз,ормулакзобрс;еккя 0 пособ соединения Г ягю 5 лря МЕТЯЛЛОМ, ВКЛЮтЯЮГкй КОНтЯКтИРО 1 лоских соедиляемъх поверхносте нягрев до 150-1200 0 и приложен постоянного напряжения 300-1000 О т л и ч я ю щ к Й с я тем, ч С ЦЕЛЬС УЛУЧПЕтягЛЯ ГЕРМЕткяНОСтн термостойкостк соединения путем/ванне УМЕНЬ 1 ЕНИЯ МЕХЯНИЧаСККХ КЯПРЯжЕНИймежду сапйиром к металлом последовятельно размещают компенсируогую прокладку, состояуо кз слоя кремниягттБтл той ЧМКИ ЛОя 1 РЛО 1 от.с Г ТЗКЛЯ. Г НЯПРЯВЕНЕ Птгятклатв,Вата 1 оложительтьпк петен;тиялсм к кремнкюг ОТПК 1 г" теттЬКттгл -" К Ма та 1"2:;,гтособпс пл 1 о тли яЮ:т и Л . г ТЕ 1, 1 Т Р С. тт,т тг т М ЛКЯняаносят на сяпЬлр путем пкролкзя т Пзг 111 ЛутоР Ганитте; гЛУ С овтКНРК; 3, 0 пособ пс пп., 1 к 2 о ткЯ Ю 1 К й С Я ТЕМ, ЧТО Слей Е= ПоттНСГО СТЕК;1 Я КгПЛЯВЛЯЮТ Н 1 ОВР 1:Хикяк с применением грузспорпневогомяномстра 1 тП, источник напряжениятР Гря гифрового Ф. мзгязкняготикпанки Р 33,Использование данного способа4376 Г ТяблчЯАГериетнчностьсоглиненияио ртст/с Мхячиеские Реячиъ соеличяння Коипеигирукчвя проклалкя Гьелиняемы напвяксния й материалыся рфир-металл Кремнии соегиненни МПАапряхеиэе прчоелинеии пост.В Теиперяту ра нагреь вя, С Гте ало Гпособ нанесения напонерхчостьМяркя Способ нанесения нясапфир Мяокя ие талгя Сапфир сиКовар"9 НКО 1000 1000 ияяестное Г,впфнр сКовар29 НК Нйплавленившлифованноеполированной СН 1 аВПнролиэ ИХС-О 110 1000 550 Яяплввлениешлифованноеполированное(С Н 0)8 Сапфирсо стальэ44 НХТЮ С 84-1 1 1 О 1000 Наплавлениешлифованноеполиовйнйое ИХСО Сапфир с"Ковар"29 НК яаплйвлениеюлифовайновполированной Нвлойенне С 48-1 1 1 О Мвгнвтрон- С 48-1 нов рвспц- лейие 1 1 О 500 1000 Сапфирсосталью44 НХТЮ 1 О Наложений 048-1 500 Налощевие Пластина Сапфирс иКоввр" ионокрис- таллнческого кремния ьччКовйр" предйй 1)йтельйо окйслей,аьГослиненй пластины кремния к сапфиру с приловениеи поля Тябпиив 2 Ггялиияемыг Термрг 1 лкость материалы гаифир-иггриетичностьгоелинеиия, л икм рт.гтг Механическое Герметичность Механическое Гсригтнчностьсоединенияя,икм ртст/с Мехяничесхоенапрявение всоединении яяирихение вс 1 единении соелииеяияи икм ртстс;ина хопа выходагодвыходя годных 1 1 О 101 О 10 1 1 О20 1 О, 20 1 10 огт Не геоиетичныСапфирКовар29 НКиэвествья Пластина иойокрис тяпочес кого кремний Раэловение под рействгеи тлею. шего раэрядй Эпйток- сип14373 бО Продолжение табл,2 Териьстоикость Неканмческ квпркквние соединения Герметичностьсоединенияи оси ртст/с Нвявиичегкоенапрякение всоединении Твриопиклыпрн - 100ЭООС Териопиклыпри "50 С,"Ковер"29 НК Составитель С.КоханТехред М.Ходанич Корректор О.Кравцова актор И.Сегляник Заказ 5853/ 594 Подписно венного комитета СССРетений и открытий5, Раушская наб д, 4/5 113035 оизводственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная,Соединяемыеиатериалысапфир-иеость Кеканичаск н, напрнненив ст/с соединения 4 Ти ВНИИПИ Государспо делам изобМосква, ЖВеля- Хчина ныкодвгодГерметичностьсоединенияи яки ртст/с