Система автоматического управления вакуумной установкой

Номер патента: 918577

Авторы: Иванов, Кононов, Тесленко, Юрченко

ZIP архив

Текст

54) СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИ ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКОЙИзобретение оной технике, а иавтоматическогоми установками.Наиболее близкой к изобретению является система автоматического управления вакуумной установкой, содержащая, входной и выходной управляемые вентили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, связанный с регистрирующей, сигналиэирующей и командной аппарату рой воздействия на вентили1 ) тносится к вакуумменно к системамуправления вакуумнь Недостаток известной системы, автоматического управления - невысокая надежность, обусловленная наличием трех отдельных каналов контроля режима работы диффузионного насоса; по давлению, расходу воды и электропитанию.Целью изобретения является повы шение надежности системы автоматицеского управления при выполнении датчика давления радиометрическим,Указанная цель достигается тем, что датчик установлен в зоне нагревателя диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемником инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия на входной вентиль.На чертеже представлена схема системы автоматического управления вакуумной установкой.Система автоматического управления вакуумной установкой содержит входной и выходной управляемые вентили 1 и 2 диФфузионного насоса 3 с нагревателем 4 и размещенный на Фор вакуумном трубопроводе 5 датчик 6 давления, выполненный радиометричес ким и связанный с,.регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой 7 воздействия на вентили 1 и 2, причем датчик 6 установлен в зоне нагревателя 4 диффузионного на3 9 соса 3 и снабжен обоймой 8 с прорезямм 9 и приемником 10 инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия на входной вентиль 1,Система работает следующим образом.При установившемся нормальном режиме работы вакуумной установки обойма 8 радиометрического датчика 6 давления под действием излучения нагревателя 1 насоса 3 вращается с опредеЛенной частотой за счет радиометрического эффекта. Частота вращения обоймы определяется величиной давления в форвакуумном трубопроводе 5 и тепловой нагрузкой от нагревателя 4,Инфракрасное излучение от нагревателя 4, проходя через диаметрально противоположные прорези 9 обоймы 3, достигает приемника 10 инфракрасного излучения, регистрируется им и передается на регистрирующую аппаратуру 7.При отклонении режима работы установки - изменении давления в форвакуумном трубопроводе, отсутствии электропитания на нагревателе или ох-. лаждающей воды в системе охлаждения диффузионного насоса - частота вращения обоймы 8 изменяется и командная аппаратура подает сигнал на закрытие входного вентиля 1. 1877 4Таким образом, контроль режимаработы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропи" танию осуществляется по одному каналу, что в целом повышает надежность системы управленияФормула изобретенияСистема автоматического управления вакуумной установкой, содержащая входной и выходной управляемыевентили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления,связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратуройвоздействия на вентили, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с цельюповышения надежности при выполнениидатчика давления радиометрическим,последний установлен в зоне нагревателя диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемникоминфракрасного излучения, связаннымс командной аппаратурой воздействияна входной вентиль.Источники информации,принятые во внимание при экспертизеГрошковский Я. Техника высокого вакуума. М., нМир", 1975,с. Бб.ель В. Кряков Бабинец Корректор С. Шекма актор Л Тираж 671 Подписно ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и Открытий 13035, Иосква, Ж, Раушская наб., д;

Смотреть

Заявка

2921003, 24.04.1980

МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ИНСТИТУТ ХИМИЧЕСКОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ

ИВАНОВ БОРИС ВИКТОРОВИЧ, КОНОНОВ ЮРИЙ ЭДУАРДОВИЧ, ТЕСЛЕНКО СЕРГЕЙ ФЕДОРОВИЧ, ЮРЧЕНКО ВЛАДИМИР АВРАМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04F 9/04

Метки: вакуумной, установкой

Опубликовано: 07.04.1982

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-918577-sistema-avtomaticheskogo-upravleniya-vakuumnojj-ustanovkojj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Система автоматического управления вакуумной установкой</a>

Похожие патенты