Состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллических материалов

ОП ИСАКИИИЗОВРЕТЕН ИЯК АВЕОРС КОМУ СВИДНИЛЬСТВУ о Соеэ . Советски Социалистические Республик н 865881 Дополнительное и авт. с вид-ву(22) Заявлено 02.01. 80(21) 28 б 1036(23-26с прнсоеляяениеет заявки М судерстеоешй кеивтет СССР о делен изобретений и открытий) Авторыизобретения 3. А. Кутейникова, А. И. Сошко, В. Е. Шестопалов, Е. Б. Друянова и Ю. А. Савушкин ОНОКРИС СКИХ МАТЕРИАЛОВ Изобретение относится к механической обработке хрупких монокристаллических материалов н может быть использовано для обработки карбида кремния, галлий-гадолиниевого граната, лейкосапфира, кварца.Известны составы для шлифования и полирования материалов, содержащие абразивный порошок и различные поверхностно-активные вещества 1,11.Наиболее близким по техническойто сущности и достигаемому результату является состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллов, содержащий алмазный порошок и, в качест 13 ве поверхностно-активного вещества, водный раствор сополимера акриловой кислоты с гексааллиловой или тетрааллилпентаэритритом 123Однако на приготовление состава требуется длительное время (около 4 ч); постоянное перемешивание; кроме того, состав готовят непосредственно перед обработкой, так как он при хранении полимеризуется; вследствие высокой вязкости состава требуется довольно высокая др 6 вес.3) концентрация алмазного порошка.Цель изобретения " увеличение производительности процесса, улучшение условий работы оборудования, уменьшение шероховатости поверхности и глубины нарушенного слоя изделия.Поставленная цель достигается тем, что состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллических материалов, включающий абразивный порошок, сополимер и воду, в качестве сополимера содержит сополимер лигносульфоната с метилметакрилатом и допол-, нительно содержит нитрат натрия, хромовокислый калий и биологическую добавку при следующем соотношении компонентов, вес.3:Сополимер лнгносульфоната с метилметакрилатом 0,5-3,0,Нитрат натрия 0,2"0,7865881 Хромовокислый калий 0,1-0,5 Биологическая добавка 0,01-0,1 Абразивный порошок 0,4-0,7 Вода Остальное В качестве биологической добавки состав содержит гексахлорофен или фенол.Состав готовят растворением исходных компонентов в воде с последую-. щим добавлением абразивного порошка.Варианты состава приведены в табл. 1.В табл. 2 представлены сравнитель" ные характеристики предлагаемого и изТаблица Со ержание вес,%3 Компоненты 2 30,5 0,7 0,5 Сополимер Нитрат натрия 0,2 Хромовокнслыйалий 0,2 0,5 Биологическаядобавка 0,05 0,1 0,01 Алмазный порошок зернистостью 1/О 0,5 0,7 0,4 Осталь- Осталь- ОстальВода ное ное ное Таблица 2 Состав Технологическиепоказатели П едложенный 2Известный Объем, мкм/мин 2 Класс шероховатости 0,06/13 в 0,063/13 в 0,04/14 б 0,05/14 а Глубина нарушенного слоя, мкм 1,0-1,2 0,9-1,1 Ое 8 1 еО Ою 8 1 фО Время приготовления состава, ч 4 0,2 Оь 2 Время хранениясостава, мес. 0,03 вестного составов, опробованные нагаллий-гадолиниевом гранате.Данные табл. 2 свидетельствуюто.том, что по сравнению с известнымсоставом предложенный состав позволяет повысить производительность обработки при достижении того же классашероховатости. Упрощается технологияприготовления состава, который в те О ченне длительного времени сохраняетсвои рабочие свойства. Сокращаетсярасход алмазных порошков при этом достигается высокое качество обработкиизделий.0,5-3В 1. Состав для шлифования и полирования хрупких монокристаллических материалов, включающий абразивный по 5 рошок, сополимер и воду, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью увеличения производительности процесса, улучшения условий работы оборудова- ния, уменьшения шероховатости поверх 10 ности и глубины нарушенного слоя изделия, он в качестве сополимера содержит сополнмер лигносульфоната с метилметакрилатом и дополнительно содержит нитрат натрия, хромовокислый5 калий и биологическую добавку при следующем соотношении компонентов,вес.7 фСополнмер лигносульфоната с метилметакри"латом Нитрат натрия 0,2-0,7 Хромовокислый калий 0,1-0,5 Биологическая добавка 0,01-0,1 Абразивный порошок О,4-0,7 Вода Остальное 2. Состав по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве биологической добавки он содержит гексахлорофен нли фенол. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Бабочкин О. И., Брук В. А., НикиФорова-Денисова С.Н. Механическая обработка полупроводниковых материалов; М., "Высшая школа", 1973, с. 40.2. Авторское свидетельство СССР В 53804, кл. С 09 О 1/02, 1976 (продотип).Составитель В. СальниковРедактор С. Патрушева Техреп С. Лигунова Корректор Г. РешетиикЗаказ 7988737 Тирам 687 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035 Москва, ЖРаушская наб. 8. 4/5Филиал ППП "Патент , г. Ужгород, ул. Проектная, 4