Устройство для функциональной подгонки микросхем

О П Й С А Л И Е ИЗОБРЕТЕННАЯ Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 2109,77 (21) 2534934/18-21(51)М. Кл.Н 01 С 17/22 Н 01 Ь.21/бб с присоединением заявки Мо Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения В.А,Лопухин, С,М.Сотенко, Д,К.Шелест и Ю.Ф,Шеханов Ленинградский институт авиационного приборостроенияМинистерства высшего и среднего специальиогообразования РСФСР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФУНКЦИОЧАЛЬНОИ ПОДГОНКИМИКРОСХЕМ Изобретение относится к области ради от ехник и, в част ности к устройствам подгонки микросхем и может применяться для функциональной подгонки микросхем.Известно устройство для функциональной подгонки микросхем, при которой производится необратимое изменение параметров пленочных пассивных элементов, определяющих выходные параметры микроузла, причем это изменение производится до тех пор, пока выходные параметры не окажутся в,поле допуска 1). Недостатком этого устройства является недостаточная точ ность подгонки микросхем.Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является устройство для функциональной подгонки микросхем, включающее 20 соединенные последовательно блок контроля параметров, блок сравнения параметров и командный блок (2. Недостатком этого устройства является его малая производительность;Цель изобретения - повышение производительности.Для этого устройство для Функциональной подгонки микросхем, включающее соединенные последовательно блокконтроля параметров, блок сравненияпараметров и командный блок, содержитдополнительно термостатируемую камерудля размещения микросхем с окном вкрышке, выполненным из материала,прозрачного для инфракрасного излучения, над которым установлена системанагревателей, блок управления системой нагревателей, блок памяти состояния нагревателей и блок фиксации состояния нагревателей, при этом к первому выходу командного блока подключены соединенные последовательно блокуправления системой нагревателей,первый вход блока памяти состочння нагревателей и система нагревателей, а ковторому выходу командного блокаподключен блок фиксации состояния нагревателей, выход которого соединенсо вторым входом блока памяти состояния нагревателей. На чертеже представлена схема устрОйства для функциональной подгонки микросхем.Устройство содержит блок 1 контроля параметров, блок 2 сравнения параметров и командный блок 3, соединенные последовательно, Вход блока 1контроля подключен к выходу подгоняемой микросхемы 4.При этом к первому входу командного блока 3 подключены соединенныепоследовательно блок 5 управлениясистемой нагревателей, первый входблока б памяти состояния нагревателей и система 7 нагревателей, а ковторому выходу командного блока 3подключен вход блока 8 Фиксации состояния нагревателей, выход которого соединен со вторым входом блокаб цамяти состояния нагревателей,Система 7 нагревателей, представляет собой коммутирующую плату с расположенной на ней матрицей инжекционных микролазеров инфракрасногоизлучения и закреплена на крышкетермостатиронанной камеры 9 (надокном 10,прозрачным для инфракрасного излучения), в которой помещенаподгоняемая микросхема 4,Устройство работает следующимобразом.В термостатированную камеру 9помещается и закрепляется микросхема 4 с элементами, обращенными в сторону окна 10. Сигнал с микросхемыподается на вход 1 блока контроляпараметров, где обрабатывается и передается на блок 2, В случае, есливыходной параметр микросхемы лежитвне зоны допуска, блок 2 сравненияпараметров выдает сигнал на командный блок 3, по которому последнийначинает программированный переборвариантов состояний нагревателей.Информация с командного блока 3поступает на блок 5 упранления системой нагревателей, который вырабатывает напряжение, управляющиенагревателями. Эти напряжения черезблок б памяти состояния нагревателей подаются на систему 7 нагревателей, закрепленных на крышке термостатированной камеры 9 над окном, Инфракрасное излучение микролазеров,проходя окно, вызывает локальное изменение температуры элементов микросхемы 4, размещенной в термостати"рованной камере 9, вызывающее изменение параметров элементов микросхемы 4, При попадании выходныхпараметров микросхемы в зону допуска блок 2 сравнения параметров, вырабатывает сигнал, по которому командный блок 3 запускает блок 8 фиксации состояния нагревателей, блокирующий входы блока б памяти состояния нфуревателей и предотвращающийизменение состояния нагренателейпри дальнейших операциях. Блок 8фиксации состояния нагревателейнеобратимо фиксирует информацию осостоянии нагревателей, обеспечивающем нормальное функционирование;микросхемы, н ячейках памяти блока б(например путем выжигания управляющих дйодбв, соотнетствующих лазераи,находящимся в выключенном состоянии) .После этого микросхема вместе стермостатированной камерой 9, укрепленной на ней системой 7 нагревателей и блоком б памяти состояния 5нагревателей в дальнейшем эксплуатируется как микросборка. При подключении питающих напряжений к микросхеме и микролазерам внутри термостатированной камеры 9 и на поверхности микросхемы 4 снова возникаеткартина температурного поля, образовавшегося при подгонке, так каквключаются только те микролазеры,которые соответствуют действующимуправляющим диодам блока б памяти 5 состояния нагревателей, а также последнему состоянию нагревателей, прикотором выходной параметр находитсяв пределах поля допуска.Использование в процессе функцио нальной подгонки изменения парамет. ров элементов микросхем при помощилокального программированного изменения температуры этих элементовотличает даннэе изобретение от про тотипа. Воэможность обратимого изменения параметров элементов микросхемпозволяет получать выходныепараметры микросхем, близкие к номинальным, независимо от сложностимикросхем и тем самым, значительноповышать точность и увеличиватьвыход годных микросхем, а также повысить производительность подгонки,Отсутствие в предлагаемом изобретении механических перестроек, высокое быстродействие микролаэеров также повышает производительность устройства. Использование устройстваповышает степень автоматизации производства микроузлов. Формула изобретенияУстройство для Функциональнойподгонки микросхем, включающее соединенные последовательно блэк конт роля параметров, блок сравнения параметров и командный блок, О т л ич а ю ш е е с я тем, что, с цельюповышения производительности, оносодержит дополнительно термостатируемую камеру для размещения микросхемс окном в крышке, выполненным изматериала, прозрачного для инфракрасного излучения, над которым установлена система нагревателей, блок 55 управления системой нагревателей,блок памяти состояния нагревателейи блок Фиксации состояния нагревателей, при этом к первому выходукомандного блока подключены соединенные последовательно блок управления системой нагревателей, первыйвход блока памяти состояния нагренателей и система нагревателей, ако второму выходу командного блокаподключен вход блока фиксации состоя743043 Составитель В.Ленскаяактор .Н.Воликова Техред Л. Теслвк К чтор Н, Григору 75/44 Тираж 844 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 11 3035, Москва, Ж, Раушская наб д, 4/5Заказ 3 филиал ППП Патент, г.ужгород, ул,Проектная ния нагревателей, выход которого соединен со вторым входом блока памяти состояния нагревателей.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Яо 11 с 1 Яае ТесЛпо 1 ору,1971, Х 1, с .46,2, Патент СОА,Р 3453781, кл. 51-8,опублик. 1969 (прототип) .