Интерферометр

,ОПИСАНИЕИ 3 О Б Р Е Т Е Н И Я К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельства8) аявлено 12,М 1.1971 ( 1682620/2 б 01 Ь 9 Сд 01 Ь 1 1 с при единением заявки К риорит Государственный комит Совета Министров ССС оо делам изобретенийи открытий публиковано 26.Х.1973, Бюллетень43 УДК 531.715,1(088.8) убликоваппя описания 25.1.1974 ата Авторызобретения Духопел, И, Е, Урнис и Г. Н, Пахо д Заявите И НТЕРФ ЕРОМЕТР ДЛЯ БЕСКОНТАКТНО ГО КОНТРОЛЯ ГНУТОЙ СФЕРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛируемая деидкости; а -Изобретение относится к оптическим контрольно-измерительным приборам и может быть использовано в цехах и лабораториях оптической и приборостроительной промышленности для контроля качества полированных вогнутых сферических поверхностей.Известен интерферометр для бесконтактного контроля вогнутой сферической поверхности детали, содержащий монохроматический источник света с конденсором, светоделительную пластину, микрообъектив для формирования гомоцентрического пучка лучей, и наблюдательную систему. Выходящий из высокоапертурпого объектива гомоцентрический пучок направляется приблизительно по нормалям к двум концентричсским поверхностям, одна пз которых является образцовой, и вторая - проверяемой. Отраженные от этих поверхностей пучки накладываются один на другой, образуя интсрференциоиную картину, по форме полос которой судят о качестве проверяемой поверхности.Известный иптерферометр вполне удовлетворяет трсбованиям ддрактикп, сслп углы охвата проверяслдьдх поверхностей не превышают 140. В этом случ,де приблизительно в 4 - 5 раз снижается производительность контроля. Об ьяспяется это тем, что для получения сведений о качестве всей поверхности проверку приходится вести по частям, в 2 - 3 приема. Кроме того, много времени приходится тратить на увязку между собой полученных результатов. Во-вторых, проверка по частям взначительной мере снижает точность контроБ ля. В-третьих, интерферометр необходимоукомплектовать сложным устройством, позволяющим на позиции контроля приводить всеучастки проверяемой поверхности,Цель изобретения - обеспечить возмож 10 ность контроля за один прием полусферических поверхностей, что в итоге увеличит производительность, повысит точность, удешевити упростит конструкцию,Это достигается тем, что предлагаемый ин 15 терферометр снабжен полусферической линзой, расположенной между микрообъективоми контролируемой поверхностью и имеющейпоказатель преломления, равный илп меньшийчисловой апертуры микрообъектива.20 Па чертеже изображена ддринцпппальнаясхема предлагаемого иддтерферолдетра.Интерферометр содержит монохроматическпй источник 1 света, кондепсор 2, диафрагму (входддодд зрачок интерферомстра) 3,25 плоское зеркало 4, светоделительн пластину 5, тубуспую линзу 6, микрообъектив 7, полусферическую линзу 8, выключающийся объектив 9, окуляр 10.Позицией 11 обозначена контрол30 таль, 12 - капля иммерсионной ж25 ЗО 35 3образцовая сферическая поверхность; б - контролируемая поверхность.Работает предлагаемый интерферомстр следующим образом.Монохроматический источник света 1 с помощью конденсора 2 освещает отверстие диафрагмы 3, установленной в фокальной плоскости тубусной линзы 6. Прошедшие через диафрагму пучки плоским зеркалом 4 направляются сначала на линзу 6, а затем в микрообьектив 7, В предметной плоскости микрообъектива они образуют сильно уменьшенное изображение зрачка, с серединой которого совмещены центры кривизны образцовой а и проверяемой б поверхностей.При таком взаимном положении деталей 7, 8 и 11 вышедшие из микрообъектива пучки направляются по нормалям к а и б. После отражения от а и б они возвращаются в обратном направлении, отклоняются светоделительной пластиной 5 к окуляру 10 и в его фокальной плоскости образуют два автоколлимационных изображения зрачка, Если зрачки наложены один на другой, то при включении в ход лучей объектива 9 в фокальной плоскости окуляра наблюдается интерференционная картина. Форма полос картины может регулироваться тонким перемещением детали 11,Деталь 8 представляет собой полусферическую линзу. Центр кривизны образцовой сферической поверхности а линзы находится на плоской поверхности или в непосредственной близости от нее,Можно показать, что если выполнено условие А ) и, где А - числовая апертура микрообъвктива; п - показатель преломления детали 8, то угол раствора вошедшего в линзу гомоцснтрического пучка будет не менее 180. Это свойство используется в предлагаемом интепферометре с целью проверки за один прием поверхностей в пределах полусферы.В качестве материала полусферической линзы может быть взято наиболее распространенное оптическое стекло К, показатель преломления которого 1,5163, Такой же величины (или больше) должна быть числовая апертура микрообъектива 7.В изготовленном макетном образце интерферомстра был применен микрообъектив с А =1,6, а полусферическая линза изготовлена из К.Как показали испытания, образец обеспечивает возможность проверки за один прием полусферических поверхностей. Точность контроля в основном зависит от точности изготовления образцовой поверхности. Предмет изобретенияИнтерферометр для бесконтактного контроля вогнутой сферической поверхности детали, содержащий монохром ати ческий источник света с конденсором, светоделительную пластину, микрообъектив для формирования гомоцентрического пучка лучей, и наблюдательную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности контроля погсрхности с углом охвата до 180, он снабжен полусферической линзой, расположенной между микрообьективом и контролируемой поверхностью и имеющей показатель преломления, равный или меньший числовой апертуры микрообьектива.Редактор О, Степина Корректор Т. Хворова Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 607/5 Изд "о 1 Яб Тираж 755 Подписное ЦКИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5