Интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИТЕЛЬСТВУ Сфез СоветскмкСоциалистическнкРеспублик оп 977942(23)приоритет .Опубликовано 30.11,82, Бюллетень М 44Дата опубликования описания 30.11.82 Ц 01 Ь 9/02601 8 11/24 ЬвударотюеЯ комитет СССР ио адам изобретениЯ и отирьпиЯ(088.8) на Трудового Красного Знамени высшее училище им. Н. Э. Баумана Ье 4) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФО ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОВЕРХН КРУПНОГАБАРИТНЫХ ЛИНЗ МЫТЕЙ Изобретение относится к измерительной технике и может быть использованов частности для контроля формы выпуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз.Известен интерферометр для контроля формы выпуклых сферических поверхностейлинз большого диаметра, основанное на применении компенсационных методов кон ,троля и содержащее источник света и оп тическую систему, включающую комаенсатор 13.,ного интерферомопределенная констпрнменима только енного значения рв поверхности, а в контроля рас олируемых пов применение други т ов,ширенгаР ерхиоОЬх. 26орким. к предлагаемому доости является интерфероормы выпуклых сфе к Недостатком известра является то, чторукция компенсаторадля контроля определдиуса контролируемойслучае необходимостиного диапазона конттей требуется расчетконструкций компенсаНаиболее близтехнической суши рических поверхностей крупногабаритных линз, содержащий монохроматический ио точник света, последовательно расположенные по ходу светового потока отютоняющее зеркало, фокусируюший объектив и светодеяительный элемент, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференционной картины, установленную в одной ветви, и компен сатор, иммерсионную линзу, образованную жидкостью, заполнякицей пространство между контролируемой линзой и компенсатором, и эталонное сферическое зер; кало, установленные в другой ветви Г 23.Недостатком укзвнного интерферометра является малый диапазон контролируемых линз, обусловленный ограниченным набэ ром применяемых иммерсионных жидкостей что не позволяет скоррегировать остаточныее аберрации для целого ряда крупногабаритных линз, выпускаемых промышленностью.Бель изобретения - расширение диапа-зона контролируемых линз.39779Поставленная цель достигается тем, что интерферометр для конроля формы вы пуклых сферических поверхностей снабжен дополнительной иммерсионной линзой, ус.тановленной между светоделительным элементом и компенсатором и образованной жидкостью с показателем преломления, отличным от показателя преломления ооновной иммерсионной линзы.На чертеже изображена принципиальная щ схема иитерферометра для контроля формы выпуклых сферических поверхностей кру- ногабаритных линз.Интерферометр содержит монохромати ческий источник 1 света, последовательно д 5 расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало 2, фокусирующий объектив 3 и светоотделительный элемент 4, делящий световой поток на две ветви, систему для регистрации интерференцион- щ ной картины, установленную в одной из ветви и включающую фотопленку 5 и фотографический объектив 6, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, образованнуюжндкоетью,заполняющей простран Иство между контролируемой линзой 9 н ком-пенсатором 7,и эталонное сферическое зер. кало 10, дополнительную иммерсионную линзу 11, установленную между светоотделительным элементом 4 и компенсатором з . 7 и образованную жидкостью с показателем преломления; отличным от показателя преломления основной иммерсионной линзы 8,линзу 12 и иммерсионную камеру 13, Контролируемая линза 9 устанавливается ) 55 в верхней части иммерсионной камеры 13 таким образом, что ее контролируемая поверхность К концентрична эталонной поверхности Э эталонного сферического, зеркала 10, Линза 3.2 установлена в нижней час 40 ти имерсионной камеры 13 и в месте с компенсатором 7 образует пространством которое заполнено иммерснонной жидкостью образующей дополнительную иммерсионную линзу 11.45Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.Лучи света от монохроматического ис точника 1 света попадают на отклоняющее зеркало 2, которое отклоняет их на фокусируюший объектив 3. Фокусирующий обт 5 ф ектив 3 фокусирует лучи и направляет их на светоотделительный элемент 4 и далее на линзу 12, дополнительную иммерсионную линзу 11, компенсатор 7, основную иммерсионную линзу 8, далее лучи света 55 падают по нормали на контролируемую поверхность К контролируемой линзы 3,0, которая частично отражает их, а часть 42 4лучей падает на эталонную поверхность Э эталонного сферического зеркала 10. Исследуемый волновой фронт, созданный лучами, отраженными от поверхности К контролируемой линзы 9, интерферирует с эталонным фронтом, образованным лу чами, отраженными поверхностью Э эталонного сферического зеркала 10. По виду интерференционной картины, регистрируемой системой для регистрации интерференционной картины, включающей фотопленку 5 и фотографический обьектив 6, делают .заключение о качестве конролируемой поверхности К линзы 9.При необходимости контроля качества поверхностей с различными значениями радиуса кривизны из существующего ряда иммерсионных жидкостей выбирают жидкости с показателями преломления, определяемыми расчетным путем с целью компенсации остаточной сферической аберрации, которые образуют основную иммерсионную линзу 8 и дополнительную иммерсионную линзу 11.Формула изобретения Интерферометр для контроля формы вы пуклых сферических поверхностей крупногабаритных линз, содержащий монохроматический источник света, последовательно расположенные по ходу светового потока отклоняющее зеркало, фокусируюшийобъектив и светоотделительный элемент,делящий световой поток на две ветви,систему для регистрации интерференционной картины, установленную в одной ветви, и компенсатор, иммерсионную линзу,образованную жидкостью, заполняющейпространство между контролируемой линзой И компенсатором, и эталонное сферическое зеркало, установленные в другойветви, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что,с целью расширения диалазона контролируемых линз, он снабжен дополнительнойиммерсионной линзой, установленной между светсотделительным элементом и ксвм пенсатором и образованной жидкостью споказателем преломления, отличным отпоказателя преломления основной иммерсиониой линзы.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Пуряев Д. Т. Методы контроляоптических сферических поверхностей. М.,машиностроение%, 1976, с. 122-134.2. Авторское свидетельство СССР цозаявке М 2789981/28, кл. Я 01,6 11/24;6 01,8 9/02, 1979 (прототип).977942 д Ю Составитель Л. Лобзова едактор Н. Стащишина Техред Л.Пекарь Корректор., Ю, Макаренко аказ 9197/54 Тираж 614 Подписно ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 38, Раушская наб д. 4/ПП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4