Устройство для микроперемещения рабочегообъекта

эО 60 лг.:,и .;О П ИбА"сн -Й ЕИЗОБЕЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 242127 Ссеэ Ссастскик Социалистическык РеспубликЗависимое от авт. свидетельства М Заявлено 19 1 У.1965 ( 1004111/26-25)с присоединением заявки Ло Кл, 12 с, 2 приоритетОпубликовано 25,1 У.1969. Бюллетень чо 15Дата опуб тикования описания 5.1 Х.1969 Номитет по де 51 ПК В 014,УДК 548,78(088.8) обретений и аткрытийри Совете МинистровСССР Авторизобретени М. Гриш Заявитель УСТРОЙС 1 ВО ДЛЯ М РОПЕРЕМЕЩЕНИЯ РАБОЧЕГОЬЪЕКТА на небольшуюной стерженнии на 1000время, как вые генерато длиной в нес величину, Так, напримедлиной 1000 мм приудлинится только на 12овременные оптическиеы нуждаются в монокролько сотен миллиметр р, сталь- нагревамм, в то кванто- сталлах В усгройс изменять св нии темпер расширения в пределах осуществляттве испо ои линей атуры. К большин 310 с - ь плавнь рядка 3 - 5 А /сек),малыми ск остями Известные устройства для плавного перемещения рабочего объекта, например кристаллодержателя с затравкой, содержат механизмы с винтовыми парами. Каретка, на которой крепится кристаллодержатель, перемещается от ходового винга, приводимого во вращение регулируемым электродвигателем через червячные или шестеренчатые редукторы.Ввиду большого количества передающих элеменгов и нестабильности работы электродвигателей эти устройства не обеспечивают плавных перемещений при малых скоростях, так как мгновенные толчки равны номинальной скорости или даже превышают ее.Предлагаемое устроиство для микроперемещении рабочих ооъектов отличается от известных тем, что оно содержит два стержня, нагреваемых и охлаждаемых по заданнои программе. Стержни находятся в термостатиру ; мых камерах, закрепленных на суппортах, поочередно перемещающих обьект в нужном направлении. ьзована способность тел ые размеры при изменеэффициенты линейного ства твердых тел лежат 30 10 а. Это позволяет е перемещения с очень На чертеже схематически изображено пред лагаемое устройство,0 Стержень 1 нагревается при помощи регулируемого нагревателя 2 и удлиняется с заданной скоростью (например, У=10 Л/сек).5 Каретка д, несущая кристаллодержатель итолкаемая стержнем, перемещается вверх со скоростью на установленную величину (например, на 0,25 мм). Путевой, выключатель 4 включает электродвигатель 5. Суппорт 6 посредством винтовой пары перемещается вверх до нажатия на штифт путевого выключателя 7, который включит нагреватель 8 и отключит электродвигатель 5 (при этом между стерж.нем 9 и кареткой д остается зазор до 0,003 лтлт). Стержень 9 будет расширяться по программе, заданной программным задатчиком 10, вначале с большой скоростью, напри. мер, 5000 А/сек, затем скорость снизится до30 величины, превышающей на 2 - ЗА номиналную скорость (в нашем примере до 12 - 13 А/сек). Стержень 9 догонит каретку 3 и некоторое время будет ее перемещать со скоростью, несколько большей номинальной 12 -о13 Л сек. Затем программный задатчик доведет скорость нагрева стержня 9 до номинальной. После того, как каретка 3 переместится под воздействием стержня 9 на установленную величичу, путевой выключатель 7 включит электродвигатель 11, суппорт 12 переместится вверх до нахкатия на штифт путевого выключателя 4, который включит нагреватель 2 и отключит электродвигатель 11. Стержень 1 удлинится по программе, заданной программным задатчиком 13, догонит каретку 3 и цикл повторится.Таким образом, поочередным воздействием стержней, расширяющихся на относительно малую величину, каретка может быть передвинута на любое расстояние,В некоторых случаях более целесообразным может оказаться применение варианта при котором очередной рабочий стержень, например 9, будет не догонять каретку, а ожидать ее. Так как между стержнем и кареткой будет зазор до 0,003 жл, то соответствующий программный задатчик (в нашем примере 13) уменьшит скорость нагревания работающего стержня 1 например, до 7 - 8 Л/сек, а стержень 9 будет расширяться с номинальной скоростью.Через, некоторое время стержень 1 отстанет от каретки, после чего его нагрев будет прекращен. Для обеспечения высокой стабильности работы механизма рабочие стержни должныбыть изготовлены из материала с невысокими стабильным коэффициентом лилейного расширения в диапазоне 0 в 5 (например, измолибдена или вольфрама). Нагревателидолжны иметь стабилизированное питание,обеспечивающее точность нагрева порядка0,001,10 Применение предлагаемого устройства дляплавных перемещений позволит обеспечитьвыращивание оптически однородных монокристаллов ряда веществ, обладающих высокоэффективными параметрами.15Предмет изобретенияУстройство для микроперемещения рабочего объекта, например, кристаллодержателя с затравкой, тигля или индуктора-нагревателя в процессе кристаллизации, состоящее из стойки с направляющими, по которым пере- ,"О мещается каретка с кристаллодержателем, идвумя путевыми переключателями, двух винтовых пар, двух независимых регулируемых электроприборов, двух суппортов, отличаюиеесл тем, что, с целью обеспечения макси мальной плавности, особенно при малых абсолютных скоростях перемещения, оно содержит два стержня, подвергаемых электронагреву и охлаждению по заданной программе, находящихся в закрепленных на суппортах тер- ЗО мостатируемых камерах и поочередно перемещающих рабочий объект в нужном направлении,Коррекгор С. М. Сигал Редактор П. Шлайн Типографии, пр. Сапунова, 2 Заказ 2145/17 Тираж 480 ПодписноеЦ 1 ИИПИ Комитета по делам изобретешв и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4