Патенты с меткой «рабочегообъекта»

Номер патента: 242127

Опубликовано: 01.01.1969

Автор: Гришин

МПК: H01L 21/68

Метки: микроперемещения, рабочегообъекта

...7, который включит нагреватель 8 и отключит электродвигатель 5 (при этом между стерж.нем 9 и кареткой д остается зазор до 0,003 лтлт). Стержень 9 будет расширяться по программе, заданной программным задатчиком 10, вначале с большой скоростью, напри. мер, 5000 А/сек, затем скорость снизится до30 величины, превышающей на 2 - ЗА номиналную скорость (в нашем примере до 12 - 13 А/сек). Стержень 9 догонит каретку 3 и некоторое время будет ее перемещать со скоростью, несколько большей номинальной 12 -о13 Л сек. Затем программный задатчик доведет скорость нагрева стержня 9 до номинальной. После того, как каретка 3 переместится под воздействием стержня 9 на установленную величичу, путевой выключатель 7 включит электродвигатель 11, суппорт...