Способ изготовления кремниевых p+-p-структур

Номер патента: 1445854

Опубликовано: 23.12.1988

Авторы: Левинский, Перельман, Прапор, Сапожников, Собко, Хайкин

МПК: B22F 3/04

Метки: давления, изостатическом, порошкового, прессовании, распределения, слоя, толщине

...толщиной порошкового слоя, определяют распределение давления по толщине порошкового слоя,П р и м е р, В качестве Фиксацион ных вставок используют эластичные капсулы из полиуретана, имеющие трубчатую Форму с внутренним диаметром 8 мм, наружным диаметром 13,5 мм и высотой 107-109 мм. 45Капсулы заполняют титановым порош" ком и виброуплотняют на электромагнитном вибраторе в течение 12-15 сПодготовленные фиксационные вставки подвергают прессованию на гидростате при давлении 20, 30, 40 и 50 МПа. Затем определяют плотность полученных прессовок.Результаты измерений приведены в табл.1.После этого заполненные аналогичным образом фиксационные вставки размещают в середине, пресс-форм для гидростатического прессования с внутренним диаметром 49, 75,...

Номер патента: 1665223

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Егоренков, Либерман, Лобанов

МПК: G01B 7/06

Метки: высокоомного, полупроводниковой, слоя, структуре, толщины

...дЧ/г 11) напряжение выброса не зависит от амплитуды импульсов.Реально существующие толщины 1- слоя, которые необходимо измерять, лежат -в пределах 5-200 мкм, Условно разобьем этот диапазон на 3 поддиапазона от 5 до 30, от 30 до 100 и от 100 до 200 мкм.При осуществлении способа верхнее значение крутизны Яц нарастания импульсов установлено равным 10 В/с(для поддиапазона толщин 1-слоя - равным 5-30 мкм). При больших значениях скорости нарастания напряжения, например, равных 10 В/с, напряжение выброса составит величину 300 В. Для надежного измерения таких сигналов, например, с помощью широкополосных осциллографов требуется не более десятков вольт. Кроме того, и это главное, для малых толщин 1-слоя напряжение выброса необходимо...

Номер патента: 935845

Опубликовано: 15.06.1982

Авторы: Темный, Усиков

МПК: G01T 1/24

Метки: детектора, ионов, мертвого, слоя, спектрометрического, толщин

...конкретного иона, например ионов гелия (двух- зарядных, т.е. ОЬ-частиц) и сравнения этих амппитуд при нормальном и наклонном падении этих ионов не лицевую поверхность ППД 1 2 1.Этот способ позволяет измерять толщины а пределах 1-0,0 мкм с точ- Зф , ностью 7-14%, однако позволяет при его доступности определить толщину мертвого слоя только для с(,-частиц.Цель изобретения - расширение диапазона определяемых толщин мертво" го слоя в сторону их меньший значений (измерения толщины производят для множества конкретных ионов в.энергетических единицах).4Поставленная цель достигается тем, что согласно способу определе" ния толщин мертвого слоя спектрометрического детектора ионов в энергетических единицах путем измерения амплитуд сигналов...

Номер патента: 1728648

Опубликовано: 23.04.1992

Автор: Стринадко

МПК: G01B 11/06

Метки: слоев, толщины, тонких

...временного сдвига Ь получим 10 21Ь= - п 3 - п з 1 п а, (7)ггде 1 - толщина пленки (слоя);с - скорость света в вакууме.Составим систему для двух углов паде ния а 1 иаг 2 т ц= -(8) где пс - показатель пр щей среды, в которой и ния.Решение системы уравн 25 дит к результатуЬ 11 С еломления окружаюроиэводятся измереия (8) привод,Ь п - Ь па ЗО пг=пТаким образом, зная временные задержки сигнала Ь 1 и Ьтгдлядвухугловоблучения а 1 и аг, а также показатель преломления окружающей среды пс. по формулам (9) находим толщину исследуемой пленки (слоя) и показатель преломления, Временная задержка Ь т определяется из диафрагмы (фиг,З) по экспериментально измеренной величине 4 О Ьм, определяющей частоту биений регистрируемого сигнала. На фиг.За...

Номер патента: 1827694

Опубликовано: 15.07.1993

Автор: Никулов

МПК: H01L 21/66

Метки: выявления, кремния, слоев, структур, эпитаксиальных

...р,- р- области,приложенный к и+и области положительныйпотенциал относительно катода оказывается более низким по сравнению с потенциалом рр+,г р",;" р - области, Это приводит ктому, что во время проявления шлифа и-область структуры не изменяет окраску, а и+область окраску цвета изменяет вследствиеболее легкой окисляемости.Таким образом после проявления шлифа окрашенными являются и", р, р+ рслои. Неокрашенными остаются и-, р слои. Соседствующие р и р -слои имеютразличную окраску и могут быть измереныраздольно.Время выдержки структуры в растворебез подачи напряжения, равное 1 - 3 с,берется минимальным, поскольку естественный окисел, толщина которого не более50 А стравливается практически мгновенно.Нижний предел электрического напряжения...