Способ получения пленки полианилина
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
соцюли есии жзвваагосудмствшиок штавтиокведомство ссср тоавтшт ссср тог 1 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ Бка НВ 9 юитута яевнеафй фква АН тома 2 - ераюм в 15 - плена и терк явторскому свид(Эф СйОСО 6 ВОНМЧЕИМЯ ПМНКИ ПОЛИАО 9) Б 2 (п) Ы 11 БВ (11) Ь 1(И) Сущность изобретсенте ллейок иа лщцюжн 4 й раствора лотйэикоторый разбавллют либо6 раз, либо эватевмеЭ раза для-повышенамообрабову при 80-250Изобретение относится к технологиипроизводства электронной техники и касаетс нанесения активного диэлектрика наполупроводниковые подложки.Целью изобретения является повышение однородности пленок при одновременном уменьшении их толщины,Для этого насыщенный раствор полианилина (30 г/л) в концентрированной муравьиной кислоте (99,7 разбавляютметиловым спиртом, этиленгликолем илиглицерином и полученный раствор наносятна подложку методом центрифугирования.Действие добавки сильно зависит от природц спирта, например, этиловцй спирт вызывает коагуляцию полианилина, а глицеринпозволяет получить хорошую однороднуюпленку, но требует увеличения температурысушки вследствие высокой температуры кипения глицерина, О качестве пленки судят 20по отсутствию радужных пятен и по даннымсканирующей электронной микроскопии,которые показывают, что пленки имеютровную однородную поверхность беэ дефектов. 25Разбавление насыщенного раствораполианилина в муравьиной кислоте производят е случае метилового спирта в 2-6 раза, этиленгликоля и глицерина в 1,5-3 раза,Величина добавки спиртов определяется из 30практических соображений. При добавлении менее указанного количества труднодобиться получения однородного покрытиябез комет, а при очень высоких разбавлениях возможно образование дефектных покрытий,В качестве материала подложки используют стекло или кремний с хорошо полированной поверхностью, хотя возможноприменение любых материалов, устойчивых 40к действию муравьиной кислоты,Покрытия, полученные на кремнии, могут быть в дальнейшем использованы в качестве активного диэлектрика в иэделияхмикроэлектроники. 45 Полученные пленки можно нагревать для ускорения сушки, Верхняя граница термообработки для пленок с добавками спиртов определяется стабильностью полианилина и не должна превышать 250 С.П р и м е р 1. Полианилин получают химическим окислением анилина персульфатов аммония в разбавленной соляной кислоте при пониженной температуре (О С), К 10 мл анилина, растворенного е 300 мл соляной кислоты (1 М), медленно добавляют раствор 34 г персульфата аммония в 76 мл воды. Выпавший осадок промывают, обрабатывают раствором аммиака (0,12 М), сушат в вакууме при 60-70 С. Полученный порошок полианилина-основания растворяют в концентрированной муравьиной кислоте (99,7 Я,). После удаления нерастворившейся части центрифугированием получают раствор полианилина концентрацией 30 г/л. Из этого раствора отливают пленки на подложки из стекла или кремния, закрепленные на вращающемся столике центрифуги (скорость.вращения 5-7 тыс, об/мин). Полученные пленки имеют неравномерную толщину и окраску, При разбавлении муравьиной кислотой с целью получения более тонких пленок качество их остается тем же. Толщина пленки 0,4-0,6 мкм, по данным сканирующей электронной микроскопии,П р и м е р 2. Операции выполняют по примеру 1, но с тем отличием, что насыщенный раствор полианилина в муравьиной кислоте разбавляют метиловым спиртом в 2 раза. После нанесения на кремниевую подложку методом центрифугирования пленка имеет однородную окраску и толщину, которая, по данным СЭМ, составляет 0,3 мкм,П р и м е р 3. Операции выполняют по примеру 1, но раствор полианилина разбавляют метиловым спиртом в 6 раз, Пленка имеет вид и характеристики, аналогичные пленке по примеру 2, и имеет толщину, по данным СЭМ, 0,1 мкм.П р и м е р 4, Операция по примеру 2, но разбавление метиловым спиртом в 1,5 раза. На поверхности пленки имеются радужнце пятна, что говорит о ее неоднородности.П р и м е р 5. Операции по примеру 2, но раствор полианилина разбавляют этиленгликолем е 1,5 раза, Качество пленки хорошее, аналогичное тому, какое имеют пленки при использовании метилового спирта(пример 2), но время высыхания при комнатной температуре увеличивается иэ-за меньшей скорости испарения этиленгликоля, После термообработки при 150 С вид пленки и характеристика, по данным ИК-спектроскопии, не меняются. Толщина пленки 0,5 мкм.П р и м е р 6. Операция по примеру 2, но раствор полианилина разбавляют глицерином в 2 раза. Качество пленки хорошее. После термообработки при 230 С вид пленки и.характеристика, по данным ИК-спектроскопии, и СЭМ, не меняются. Толщина пленки 0,3 мкм.П рим е р 7,Операция попримеру 2, но раствор полианилина разбавляют этиленгликолем в 3 раза. Пленка хорошая, однородная, без комет, толщина пленки после термообработки при 80 С 0,1 мкм,1811328 1 пбцзщ. р. 141-229, Абчапсез 1 п Ро 1 вег М.Апце 1 ороо 1 ез С.Е. Азтог 1 аз. ТЬе Яс 1 епсез; ч. 84 - 1 еб Веп 1 т ет ат Зрг 1 пцег, ЗоцЫе Ро 1 апИпе. Мо 1, Сг 1 зт. 1.19, Ог 1 зт., 1988. 1988, ч. 160, р. 15. Формула изобретения Составитель Н.УдальцоваТехред М.Моргентал Корректор В.Петрэш Редактор Г.Бельская Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Заказ 270 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ПОЛИАНИЛИНА, включающий нанесение пленок на подложку из насыщенного раствора полианилина в муравьиной кислоте путем центрифугирования с последующей термообработкой, отличающийся тем, что,с целью повышения однородности пленок при одновременном уменьшении их толщины, насыщенный раствор полианилина 10 в муравьиной кислоте разбавляют либо метиловым спиртом в 2 - 6 рээ, либо этиленгликолем или глицерином в 1,5 - 3 раза, а термообработку проводят при 80-250 С,
СмотретьЗаявка
4854730/25, 27.07.1990
Отделение Института химической физики АН СССР
Николаева Г. В, Зуева А. Ф, Титков А. Н, Карелин А. И, Саратовских С. Л, Плавич Л. А, Корсаков В. С, Ефимов О. Н
МПК / Метки
МПК: H01L 21/312
Метки: пленки, полианилина
Опубликовано: 15.05.1994
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1811328-sposob-polucheniya-plenki-polianilina.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения пленки полианилина</a>
Предыдущий патент: Распределитель потоков хладагента
Следующий патент: Электрическая машина
Случайный патент: Устройство для очистки металлических поверхностей