Лазерный интерференционный прибор

)5 6 01 8 11/26 ЕТЕНИЯ ТОРСКО ВИДЕТЕЛЬСТВУ ОУ 7 Е ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ И(57) Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля прямолинейности и плоскостности.Целью изобретения является расширение функциональных воэможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности. Прибор включает блок преобразования перемещений с пятью уголковыми отражателями 28 - 32, прямоу- гольной призмой 33 и штоком 34, блок контроля, содержащий плоский отражатель 26, линзу 27 и прямоугольную призму 25. Прибор включает также интерференционный блок, содержащий два светоделителя 14 и 15, четыре пары оптических клиньев 7, 16, 17 и 19, четыре прямоугольных призмы 20, 21, 22 и 23 и измерительный блок. 1 ил.45 светоделитель 15, Орин из лучей, проходящих светоделитель 14, плоским зеркалом 24 калом 24 на линзу 27, пройдя через линзу 26и отразившись от поверхности плоского от Изобретение относится к технике измерения и может использоваться для контроля отклонений от прямолинейности и плоскостности,Цель изобретения - расширение функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности.На чертеже представлена схема прибора.Прибор содержит измерительный блок, включающий лазер 1, афокальную систему 2, светоделитель 3, прямоугольные призмы 4 - 6, четыре афокальные системы 7-10, модулятора 11 и два фотоприемника 12 и 13, интерференционный блок в, виде двух светоделителей 14 и 15, двух пар оптических клиньев 16 и 17, установленных соответственно попарно в ходе лучей, отраженных от светоделителей, двух пар оптических клиньев 18 и 19, ориентированных друг относительно друга гипотенузными гранями, четырех прямоугольных призм 20 - 23, попарно расположенных в ходе излучения, проходящего через каждый из свето- делителей 14 и 15, каждая пара Клиньев установлена между плоским зеркалом 24 и блоком контроля, выполненным в виде последовательно расположенных прямоугольной призмы 25, ориентированной основанием к отраженному от светоделителя 14 интерференционного блока излучению, плоского отражателя 26 и линзы 27, в фокальной плоскости которой установлен отражатель 26, блок преобразования перемещений выполнен в виде пяти уголковых отражателей 28 - 32, три 28 - 30 из которых расположены в одной плоскости и ориентированы основанием навстречу излучению, отраженному от плоского зеркала, отражатель 32 оптически связан со светоделителем 15, штоком 34, скрепленным с прямоугольной призмой 33,Прибор работает следующим Ьбразом.Излучение от лазера 1 делится светоделителем 3 на два потока, один из которых направляется на светоделитель 14, а второй через прямоугольную призму 6 на второй направляется на уголковый отражатель 28, отразившись от которого направляется зерражателя 26, излучение направляется на прямоугольную призму 25, отразившись от которой через клинья 16 возвращается в интерференционный блок, проходит через него, отражается от прямоугольных призм 4 5 10 15 20 25 30 35 40 и 5, проходит через афокальные системы 7 и 9, модулятор 11 и попадает в фотоприемник 12. Второй луч от светоделителя 14, пройдя через призму 21, отражается от уголкового отражателя 28, призмы 20, проходит через клинья 18, призмы 4 и 5 и попадает в фотоприемник 12. Информация с фотоприемника 12 используется для введения поправок на изменение внешних условий в результат измерения,При перемещении штока 34 по контролируемой поверхности (не показана) вследствие изменения длины лучей, отраженных и проходящих интерференционный блок, образуется интерференционный сигнал, пропорциональный величине перемещения штока 34. Аналогичным образом образуются два луча, отраженные от уголкового отражателя 32, отражателей 30 и 31, проходящие через интерференционный блок и попадающие на фотоприемник 13. Сигналы с фотоприемников 12 и 13 поступают в преобразователь (не показан), выдающий информацию о контролируемой величине. Формула изобретенияЛазерный интерференционный прибор, содержащий блок преобразования перемещений с двумя уголковыми отражателями, интерференционный блок в виде двух свето- делителей и двух пар оптических клиньев, установленных соответственно попарно в ходе лучей, отраженных от светоделителей, и измерительный блок, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей путем определения также и отклонения от прямолинейности и плоскостности, он снабжен двумя парами оптических клиньев и четырьмя прямоугольными призмами, попарно расположенными в ходе излученйя, проходящего через каждый из светоделителей интерференционного блока, каждый из клиньев в паре ориентирован основанием друг относительно друга, каждая из двух пар клиньев установлена соответственно между одним из светоделителей и прямоугольной призмой, и блоком контроля, выполненным в виде последовательно расположенных прямоугольной призмы, ориентированной основанием к отраженному от одного из светоделителей интерференционного блока излучению, линзы и плоского отражателя, установленного в фокальной плоскости линзы, а также тремя уголковыми отражателями блока преобразования перемещений, установленными в одной плоскости и ориентированными основанием навстречу излучению, отраженному от плоского зеркала, и штоком, скрепленным с прямоугольной .1647241 Составитель Н, ЗахаренкоТехред М,Моргентал Корректор М, Максимишинец Редактор В. Данко Заказ 1388 Тираж 393 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 призмой, ориентированной основанием вания перемещений оптически связан сопараллельно оптической оси, один из - светоделителем интерференционногоуголФовых отражателей блока преобразо- блока.