Материал для низкоомных тонкопленочных резисторов

СОЮЗ ИМЗЕТСНИХЙЯЭВВВП НЕСНЯРЕСПУБЛИК ЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС ОБРЕТЕНИЙ И ОТНБРЕТЕН нецов орина Л. А.МеталлурА., Сравтерис= 400 и ектрон ф, вып. 5-150,01-0,2 гле 0,3-13 Х о Обитель ОПИСАНИЕ ИЗН А В ТОР СНОМУ СВИДВТВЪ.нительные электрические харатики резистивного сплава РСпленокна его основе. Сб. "Эл(54) (57) МАТЕРИАЛ ДЛЯ НИЗКООМНЫХ: ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ содержацнй ниобий и легиругжгив добавки, о т-. л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью улучшения воспроизводимости . номиналов резисторов в процессе их. изготовленияи повышения их жаростойкости, в качестве легирующих добавок он содерхит ванадий., молибден, хром, и углерод при следунюцем ксщичественном соотношении компонентов, вес.%гВанадий 0,5-11Молибден1014045 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении низкоомных тонкопленочных резисторов в интегральных тонкопт еночных микросхемах.Известен резистивный материал на основе ниобия (.1.Недостатком этого материала является низкая термостабильность, жаростойкость и невоспроизводимость параметров резисторов в процессе их 10 изготовления, что обусловлено хемосорбцией резистивным материалом активных газов (кислород, азот и др.).Наиболее близким по технической сущности к изобретению является ре эистивный материал, который содержит ниобий и кремний 121.Недостатком известного материала являются плохая воспроизводимость параметров тонкопленочных резисторов 20 в процессе их изготовления и низкая жаростойкость, которые обусловлены многофаэностью системы ниобий-кремний,. каждая фаза которой имеет разную величину удельного электрическо го сопротивления.Целью изобретения является повышение термостабильности и жаростойкости резистивных пленок.Поставленная цель достигается тем, что материал для низкоомных тонкопле.ночных резисторов, содержащий ниобий и легирующие добавки, в качестве легирующих добавок содержит ванадий, молибден, хром и углерод при следующем количественном соотношении ком понентов, вес.%: 0,55,00,010,3 МолибденУглеродХром Ниобий Остальное 5,25 10,0 0,1 б,б 2. Ванадий МолибденУглеродХром Ниобий Остальное 3. Ванадий 11,0 Молибден 15,0Углерод 0,2 Хром 13,0 0,5-11,0 ВанадийМолибден Углерод Хром Ниобий 5.0-15,0О, 01-0,2. 40 0,3-13,0 Остальное Приведены конкре ные примеры 45 приготовления реэистивного материала предложенного сплава с различным содержанием исходных компонентов и их характеристики.Методом вакуумной дуговой плавки получали мишени из предложенного Численные значения параметров материала Рабочий параметр Известного Предложенногое(-60)-(+155) (-60)-(+300) 8,210 2,3 10 9,3 10 5,710 для минимального максимального 5"50 50-250 Диапазон рабочих температур,фС Величина ТКС в диапазоне рабочих температур, град;Удельное поверхностноесопротивление резистив.ных пленок, Ом/О материала трех составов при следующем количественном соотношении ком- понентов, мас.%1. Ванадий Ниобий ОстальноеМишени получались дроблением исходного сплава в порошок с гранулометрическим составом 45-100 мкм и горячим прессованием при давлении 5 т/смИз получейных мишеней методом ионно-плазменного распыления в атмосфере аргона при давлении (2,3- 3,7)10 Па были изготовлены резистивные пленки с удельным поверхностным сопротивлением 5-50 Ом/о .ТКС пленок в интервале от -60 до +125 С измеряли в камере тепла и холода КТХ; в интервале 20-315 С . в камере тепла КТ"315.Результаты испытаний матриц тонкопленочных резисторов из предложенного материала представлены в таблице.Как следует из результатов испытаний, резисторы, изготовленные иэ предпоженного материала, обладают жаростойкостью при эксплуатации на воздухе до с е + 300 С, отклонение от номинала величины сопротивления при изготовлении резисторов составляет не более 18,5.1014045 Продолжение таблицы Численные значения параметров материала известного Рабочий параметр предложенного Жаростойкость,С 155Заказ 3029/62 Тираж 701 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП фПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 при содержанки леирующих добавок, мас.Ъ 1) 0,5. 3) 11150,21360,8 Изменение сопротивленияв процессе испытаний сР 0,5 Вт/см в течение1000 ч при максимальнойтемпературе, Ъ1) 10,3 (230 С) 7,5 300 оС) 9,7 (270 С)