Резистивный материал
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК, АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик и 953672(51)М. Кл. Н 01 С 7/00 3 Ъоударотееиный квинтет СССР ао делам изобретений и открытий(54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ Изобретение относится к электроннойтехнике и может быть использовано, например, в микроэлектронике для изготовления тонкопленочных резисторов,Известен резистивный материал, содер"жащий кремний, никель и кобальт 111Наиболее близким к изобретению техническим решением является резистивный материал, содержащий кремний, титан и кобальт 23,Недостатки известных резистивныхматериалов заключаются в низком. электрическом сопротивлении, высоком температурном коэффициенте сопротивления ибольшом абсолютном дрейфе сопротивления.Цель изобретения - повышение электрического сопротивления, снижение температурного коэффициента сопротивленияи уменьшение абсолютного дрейфа сопротивления. Каждая смесь сплавляется отдельнов индукционной плавильной печи в кварцевых тиглях в атмосфере воздуха с раэ ливкой в стальные горизонтальные изложницы. Полученные слитки шлифуют и изних изготовляют мишени для ионоплазменного распыления.Резистивный материал используется длянанесения пленок на установке типаУВНР,Остаточное давление в камересоставляет 310 мм рт, ст. Напылениепроизводится на ситалловые подложки,Поставленная цель достигается тем,что резистивный материал, содержащий кремний, титан и кобальт, содержит указанные компоненты в следующих количествах, вес, %:Кремний 57-65 9Титан 25,1-28 5Кобальт 9-1 5,цля получения резистичного материала подготовлено три смеси компонентов,содержащие каждая, вес. %: кремний65,9; 61,5 и 57; титан 25,126,5 и2 8 и кобальт 9, 1 2 и 1 5.3 953672 4нагретые до 200 С, через биметалличес-1 онкопленочныр резисторы, изготовленокую маску. В качестве контактных пло- ные на основе резистивного материала,щадок используется слой меди с подслоем имеют следующие характеристики, привехрома. денные в таблице,0 65,9 0 2,0 26 28 0,4 он содержит указанные фа сопротивлекомпоненты ввес. %:Кремний кт количествах ед 57-65,925,1-28 9-1 5 нформации,е при эксперти етельство ССС 1 С 7/00, 1972 етельство СССР 1 С 7/00, 19775 зе Р Составитель Ю. Герасичкиитехред М. Надь .Корректор А. Фере едактор Н. Бо Подписно 6/78 Тираж 761 НИИПИ Государственного комитетпо делам изобретений и открытий 13035, Москва, Ж 35, Раушская Заказ д. 4 илиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектн Изобретение позволяет повысить эле рическое сопротивление до 5 10 -Я 5 10 ф Ом и термостабильность тонкоплейочных резисторов и изготовлять на их основе приборы с высокой прецизионностью и надежностью.формула изобретенияРезистивный материал, содержащий кремний, титан и кобальт, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повышения электрического сопротивления, сни-. жение температурного коэффициента сопро-З тивления и уменьшения абсолютног дрейКобальт Источники и ринятые во внимани 1. Авторское свил% 414917, кл, Н 0 2. Авторское свид Мф 624443, кл. Н 0 прототип).
СмотретьЗаявка
2880565, 07.01.1980
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5332
КОНДРАТОВ НИКОЛАЙ МАРКЕЛОВИЧ, РОГОВА ИРИНА ВАЛЕНТИНОВНА
МПК / Метки
МПК: H01C 7/00
Метки: материал, резистивный
Опубликовано: 23.08.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-953672-rezistivnyjj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Резистивный материал</a>
Предыдущий патент: Аналоговое запоминающее устройство
Следующий патент: Устройство для подгонки пленочных резисторов в номинал
Случайный патент: Лабораторная печь