ZIP архив

Текст

) Авторы изобретен Шварц, В. В. Митин, Дроков н С. В. Чистяков А К Украинской ССР АН Украинской СС титут полупровадиофизики и зле дник(71) Заявители рони 54) ТЕРМОРЕЗИСТ в тур 3 держащитермо слое тельнь ит из ед на с ольши ермор зис но измерять темИзобретение относится к технике, температурных измерений, в частности к полупроводниковым терморезисторам, и может найти применение при из мерениях криогенных температур.Известны полупроводниковые терморезисторы, выполненные из монокристал ла полупроводника И,121Такие терморезисторы не обеспечивают достаточной точности измерений широкой области криогенных темперастен также терморезистор, сой подложку с нанесенным на нее вствительным полупроводниковым контакты 31.1 ом терморезисторе термочувствиполупроводниковый слой состо кремния и 203 германия.статком терморезистора являетительное изменение чувствительри изменении температуры в не- пределах. В результате такими пературу с высокой точностью лишь в небольшом интервале температур.Целью изобретения является расширение диапазона измеряемых температур при сохранении высокой чувствительности терморезистора во всем диапазоне.Поставленная цель достигается тем, что в терморезисторе, содержащем подложку с нанесенньи на нее термочувствительным полупроводниковым слоем и контакты, полупроводниковый слой выполнен в виде пластически деформированной пленки германия, а подложка изготовлена из монокристаллического полупроводника. Предпочтительно пара- метр кристаллической решетки полупроводника выбирать близким к параметру кристаллической решетки германия.Терморезистор работает следующим образом.ЯИзменение температуры приводит к изменению .сопротивления пластическифдеформиЬванной пленки германия. Воз87945 3 8 никающие при пластической деформации линейные и точечные дефекты в объеме пленки обеспечивают появление проводимости по примесям в области низких температур. Эти же дефекты при более высоких температурах обеспечивают проводимость по валентной зоне (пленка германия р-типа), Сильная температурная зависимость проводимости по примесям к валентной зоне обеспечивает высокую термочувствительность преддагаемого термореэистора в диапазоне 4,2- -300. К.Для согласования сопротивления терморезистора с входным сопротивлением регистрирующего прибора толщину пленки следует выбирать в диапазоне 1-50 мкм. В качестве материапа подложки могут быть выбраны арсенид галлия и кремний. Контакты могут быть выпол-, нены иэ индияПредлагаемый терморезистор может найти применение в широкодиапазонных устройствах для измерения температу 4ры, например в системах контроля технологических параметров.Формула изобретенияТерморезистор, содержащий подлож-ку с нанесенным на нее термочувствительным полупроводниковым слоем и контакты, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью расширения диапазона измеряемых температур при сохранении 1 О высокой чувствительности термореэистора, полупроводниковый слой выполненв виде пластически деформированноипленки германия, а подложка изготовлена иэ монокристаллического полупро З водника.Источники информациипринятые во внимание при экспертизе. Авторское свидетельство СССРУ 247554, кл. 6 О К 7/16, 1969. щ 2. Авторское свидетельство СССРИф 301571, кл. С 01 К 7/22, 1971.3. Авторское свидетельство СССРВ 478202, кл. О 01 К 7/16, 1974Коооектоо М. Коста Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Составитель Ю. АндриановРедактор О. Филиппова Техреду.Ж.КастелевичЗаказ 10713/9 Тираж 9 ОВИИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035 Москва ИРаушская наб, д. 45

Смотреть

Заявка

2745097, 27.02.1979

ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВ АН УССР, ИНСТИТУТ РАДИОФИЗИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ АН УССР

ТХОРИК ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ШВАРЦ ЮРИЙ МИХАЙЛОВИЧ, МИТИН ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ, КИЧИГИН ДМИТРИЙ АНДРЕЕВИЧ, МИРОНОВ ОЛЕГ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ЧИСТЯКОВ СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01K 7/22

Метки: терморезистор

Опубликовано: 07.12.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-887945-termorezistor.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Терморезистор</a>

Похожие патенты