Способ формирования рисунков

(22) Заявлено 03, 12,79, (2 ) 2853129/18-2 1 с присоединением заявки ре(23) Приоритет Государстеенвй комитет ио аеиам изебретеиий н открытийОпубликовано 15,09,81, Бюллетень,%34 Дата опубликования описания 17,09.81.(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РИСУНКОВ Изобретение относится н електронике и может быть использовано для формирования электродных систем разных размеров.Известен способ формирования рисунка, например электродных систем, путем напыления металла через маску 11.5Недостатками данного способа является необходимость предварительного изготовления маски или трафарета и невозможгость корректировки рисунка в процессе изготов 19 лени я.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ формирования рисунка путем экспонирования нанесенного на подложк слоя фоторе- ,.Изиста через фотошаблон 1Недостатками данного способа являются сложность изготовления фотошаблона и необкодимость изготовления нового фотошабло" на при любом изменении рисунка, что не позволяет оперативно изменять размеры рисунка и корректировать геометрические соотношения между его элементами в про. цессе формирования рисунка. Кроме того,2изготовление фотошаблона является трудоемким процессом, требующим специальнойпрецизионной аппаратуры, С ложной операциейявляется также установка фотошаблона,так как он должен плотно прилегать кслою фоторезиста по всей поверхности,а при больших размерах рисунка этого добиться трудно,Бель изобретения - упрощение технологического процесса.Поставленая цель дос.тигается тем, чтосогласно способу формирования рисунков,включающему нанесение фоточувствительного слоя на подложку и его экспонирование,после нанесения фоточувствительного слояподложку помешают в ванну с легкопоьвюным веществом и возбуждают в нем колебания с частотой и формой, соответствующими конфгурации рисунка.Экспонирование проводят синхронно сизменением фазы колебаний лагкоподвижного вещества.Использование легкоподвижного вещест- .ва, наприМер воа, для формирования рисуню86 43 82 Составитель А. Якименко Редакт Н. Минко Тех ед М,Рейвес К ектор Г. РешетникЗаказ 7807/76 Тираж 787 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, К, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 кв позволяет жгко изменять размеры рисунка и геометрические соотношения его элементов измерением формы и частоты колебаний легкоподвщкного вещества, а использование режима синхронного эксеонирования позволяет улучшить четкость рисунка и изменять пропорции между его элементами.На чертеже схематически изображено устройство для реализации данного способа.П р и м е р . Для создания рисунка, , состоящего из параллельных полос длиной 10 см, ".шириной 0,5 мм и расстоянием между полосами 2 мм, на два электромагнитных вибратора 1 длиной 10 см, расположенные параллельно друг к другу и помещенные в ванну 2 с водой, подают переменное напряжение от генератора ГЗЭЗ. Вибраторами возбуждают колебания поверхности воды, причем частоту колебаний первоначально устанавливают 70 Гц, а затем изменяют, добиваясь расстояния между гребнями волн, равного 2 мм.зменяя величину напряжения генератора 3-33, амплитуду колебаний поверхности воды выбирают такой, чтобы ширина засвечиваемой полосы была 0,5 мм. Затем направляют изл чение 3 от стробоскопической лампы ИСП, работающей синхронно с генератором ГЗна поверхность воды и формируют промопулированным излучением рисунок на фоточувствительном слое 4. 4Использование данного способа формирования рисунка обеспечивает созданыразличных рисунков изменением формы ичастоты колебаний легкопопвижного ве щества и, следовательно обеспечиваетзначительное сокращение времени и затрат (связанных с изготовлением фогошаблона), особенно на этапе экспериментальных работ при отыскании оптимальной 1 О геометрии рисунка. формула изобретения 1. Способ формирования рисунков,включающий нанесение фоточувствитс;а. ного слоя на подложку и его экспонирование, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью упрощения технологического процесса, после нанесения фоточувствитеуь 20ного слоя подложку помещают в ванну слегкоподвижным веществом и возбуждаютв нем колебания с частотой и формой,соответствующими конфигурации рисунка.2. Способ по и, 1, о,т л и ч а ю 15щ и й с я тем, что, экспонированиепроводят синхронно с изменением фазыколебаний легкоподвчжного вещества.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе;1, Авторское свидетельство СССРМ 444833, кл, С 23 С 13/08, 1974.2, Авторское свидетельство СССРМ 577506, кл. С 03 Р 7/20, 1977