Способ получения ферритовых пленок

,8)зменнодуговоетия для фазо"пэ, оп Маяпер. 1263, 1975,тем, ло- зряна туршок еси виде рошоба ото бо л ую ка. кварцевои трубкременного элект под воздеиствиеммагнитного поля с ние ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ. ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ АВТОРСКОМУ СВИе(56) ВаЬЬ 1, Н.И, Плнапыление феррита лвращателей, 1 ЕЕЕ ТгС 1 св ч. Мая, У 5 Изобретение относится к области производства радиоэлектронной аппара" туры, в частности к технологии получения ферритовых пленок и может быть использовано при изготовлении интегральных схем СВЧ-диапазона, элементов памяти ЭВМ.Известен способ получения ферритовых пленок, заключающийся в нагреве ферритового порошка в плазме до состояния плавления и напыления его на подогреваемую подлажку.Этим способом не удается изготовить пленки с однофазной структурой так как при напылении имеет место лотеря кислорода, ведущая к распаду или появлению фазы (РеО) и соответственно к резкому ухудшению магнитных свойств напыленного феррита.Целью изобретения является упроще"технологии. 80839405 2(54)(57) 1. СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХ ПЛЕНОК, включающий в себя наг рев ферритового порошка в плазме до состояния плавления и напыления его на подогреваемую подложку, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения технологии, напыление осу ществляют в кислородной плазме безэлектродного разряда, а ферритовый порошок подают на выход плазмотро" на в низкотемпературную зону плазмы2, Способ по п.1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что ферритовый поро шок вводят в плазму в виде смеси фе ритообраэующих окислов или частично ферритиэированного порошка Поставленная цель достигаетсячто напыление осуществляют в кисродной плазме беээлектродного рада, а ферритовый порошок подаютвыход плазмотрона в низкотемпераную зону плазмы. Ферритовый лороможно вводить в плазму в виде смферритообразующих окислов или вчастичноферритизировачного пока. Для осуществления данного спо сконструирован и изготовлен плаз рон высокочастотного разряда,поз ющий .применять в качестве плазмо разующего газа - кислород, Плазм рон снабжен специальным распылит ным соплом, обеспечивающим высок скорость истечения плазмы и поро слородная плазма реализова839405 Корректор С.Шекмар Техред А.Кравчук Редактор ЕГиринская Заказ 3437 Тираж 342 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101 частотой 11,4 МГц. Кислород подается на вход разрядной трубки под давлением 1,2-2 атм. Напыляемый порошок грануляцией 10-40 мкм вводится в сопч5 ловои насадок (на выход плазмотрона). в низкотемпературную зону плазмы, что обеспечивает минимальное время нахождения материала в плазме и способствует устранению явлений диссоци ации. Разработанная конструкция плазмотрона позволяет в зависимости от состава феррита и дисперсности по" рошка выбирать температурную зону ввода порошка в пределами 1500-3000 С Подача порошка осуществляется транспортирующим .газом-кислородом с помощью питателя, специально сконструаированного для напыления мелкодисперсных порошков. Порошок приготовляется измельчением и смешиванием ферритообразующих окислов или помолом час" тично ферритизоваиного полуфабриката после стадии иредварительного синтеза, Экспериментальными исследования-, ми установлены оптимальные конструктивно-технологические параметры, которые позволили .провести реакцию ферритизации непосредственно в процессе напыления. Одновременно с целью повы 30 шения прочности сцепления и релаксации термических напряжений .применялся подогрев подложки в интервале температур 400-800 С. По данному способу .получены плен" ки ферритов со структурой шпинели и граната толщиной 50-500 мкм на диэлектрических подложках, По данным рентгеноструктурного анализа и Мес-, сбауэровской спектроскопии в пленках ферритов отсутствовали .продукты расплава и фазы, содержащие двухвалентное железо. Плазменко-напыленные пленки обладали требуемыми -электромагнитными характеристиками в связи с чем Устранена необходимость в проведении дополнительного высокотемпературного отжига. П р и м е р. Данным способом изготовлены пленки ферритов состава МРе 04 (шпинель) и УРеО 1 ь (гранат) В качестве напыляемого материала испольоали:а) порошок, полученный помолом полуфабриката после предварительного синтеза в течение 2 ч при температуоре 800 С для феррита БРе 04 и при температуре 1000 ОС для феррита УРе 01 .б) порошкообразную смесь окислов состава ИьОРе 20. Порошок имел грануляцию 10-40 мкм. Плазмообразующий и транспортирующий .газ - кислород, Расход их соответственно - 2,8 м /ч и 0,8 л/мин, мощность разряда 6 квт. Порошок наносили на подложки размером 24 к 30 к 1 мм. изготовленные из алюмооксидной керамики. Температура подогрева подложки изменялась от 20 С до 700 С. Пленки имели однофазо оную структуру, что подтверждается данными рентгеноструктурного анализа. Количество фазы определяли по относительной интенсивности дифракционных линий.Использование данного способа получения ферритовых пленок обеспечивает по сравнению с существующими способами следующие преимущества; получение заданного .химического состава феррита вследствие устранения диссоциации, и деоксидации ферритов, проведение реакции ферритизации непосредственно в процессе напыления, сокращение длительности процесса изготовления пленок в 2-3 раза за счет исключения допблнительной обработки отжига упрощение и снижение трудоемкости технологического процесса путем устранения при изготовлении напыляемого материала длительного высоко-температурного спекания ферритов в течение 20-40 ч.: и последующего помола устранение загрязнения пленок материалом электродов.