H01F 41/18 — путем катодного распыления

Номер патента: 138791

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Иванов, Сиротенко, Спивак

МПК: C23C 14/36, H01F 10/20, H01F 41/18 ...

Метки: катодным, многокомпонентных, пленок, распылением, ферромагнитных

...пленки и уск гнитный материал под поле. Известны способы получения многокомпоненым распылением. Однако эти способы не позвки однородного состава.Для получения более однороднпроцесса распыления предлагаетсяромагнитный материал подвергаютном поле,По предлагаемому способу ферромагнитные пленки получают в газоразрядной плазме при большой плотности тока и низком давлении, Плазма в инертном газе - криптоне создается в трехэлектродной трубке, куда в пространство между катодом и анодом вводят образцы. На образцы подают отрицательные относительно катода потенциалы. На расстоянии 2 - 3 сл от распыляемого образца помещают стеклянную подложку, на которую осаждают распыляемый материал. Подложку подогревают спиралью, питаемую электрическим током....

Номер патента: 177472

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Данилевский, Институт, Лискер

МПК: H01F 41/18

Метки: индуктивности, катушек

...отверстием о, ширина которого мецьше длины прорезей 3, цапыляют изоляционную плепку в форме кольца. После цацесеция пленки в отверстие 6 подложки 1 вводят стержпевой электрод 7, который устанавливают перпендикулярно плоскости подложки 1, ц накладывают маску 8 с кольцевым отверстием 9. Пропуская через электрод 7 постоянный ток, ца поверхность изоляциоццой пленки цапыляют слой ферро- агцитцого материала. Получеццый кольцевой магцитопровод с круговоц анизотропией покрывают изоляционной пленкой, наносимой 5 напылением изоляционного материала черезмаску 10 с кольцевой щелью 11, На поверхность изоляционной пленки через маску 12 с радиальными прорезями 13 цапыляют полоски токопроводягцего материала, которые яв ляются второй полоьчшоц...

Номер патента: 374667

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: H01F 41/18

Метки: индуктивных, магнитных, пленочных, элементов

...экспонируют, выни мают из кармана и проявляют. Затем нафольгу со стороны, где фоторезист имеет рисунок изоляции, наносят следующие необходимые слои, например, методом вакуумного напыления.25 Фоторезист, имеющий рисунок изоляции,моькет при этом выполнять роль самой изоляции, поэтому фазу на него наносят через соответствующий трафарет многослойной магнитной пленки. Потом наносят изоляцию, 30 имеющую площадь большую, чем площадь374667 Составитель Е. Ковалева Техред Е, Борисова Корректор Е, Сапунова Редактор Л. Народная Заказ 1441/11 Изд370 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 указанной магнитной пленки, и верхний проводящий...

Номер патента: 839405

Опубликовано: 15.08.1991

Авторы: Вамберский, Кудинов, Нижельский, Полущенко, Фролов

МПК: H01F 10/20, H01F 41/18

Метки: пленок, ферритовых

...11,4 МГц. Кислород подается на вход разрядной трубки под давлением 1,2-2 атм. Напыляемый порошок грануляцией 10-40 мкм вводится в сопч5 ловои насадок (на выход плазмотрона). в низкотемпературную зону плазмы, что обеспечивает минимальное время нахождения материала в плазме и способствует устранению явлений диссоци ации. Разработанная конструкция плазмотрона позволяет в зависимости от состава феррита и дисперсности по" рошка выбирать температурную зону ввода порошка в пределами 1500-3000 С Подача порошка осуществляется транспортирующим .газом-кислородом с помощью питателя, специально сконструаированного для напыления мелкодисперсных порошков. Порошок приготовляется измельчением и смешиванием ферритообразующих окислов или помолом час" тично...