Электродуговой испаритель металлов

Номер патента: 636266

Опубликовано: 05.12.1978

Авторы: Гетман, Гольдинер, Долотов, Саблев

МПК: C23C 13/08

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...на фиг. 1; на фиг. 6 дано поперечное сечение катода на фиг. 5.Злектродуговой испаритель высоковакуумного насоса (фнг. 1) содержит анод 1, служащий одновременно камерой испарителя; катод 2 в виде цилиндра диаметром 250 мм, выполненный из титана и размещенный симметрично относительно оси камеры- анода на конце токоподвода 3, представ. яющего собой медный стержень диаметром 25 мм, изогнутый под прямым углом. Второй конец токоподвода выведен нз камеры-анода через вакуумноплотпый изолятор 4 и электри.чески соединен с отрицательным полюсом источника питания 5. Положительный полюс источника электрически соединен с камерой. анодом. Экран Б, изготовленный из магнит. ного материала, охватывает нерабочую поверхность катода, На поверхности...

Номер патента: 363375

Опубликовано: 05.01.1979

Авторы: Горбунов, Долотов, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...общий вид,Испаритель состоит иэ катода 1,анода 2, являющегося внутренней поверхностью вакуумной камеры, поджигающего приспособления 3 и магнита4, расположенного с обратной сторонырабочей поверхности катода. Магнит4 снабжен устройством 5 для его перемещения.Устройство работает следующим обт При низком давлении остаточных гов в вакуумной камере (ниже 110 мм рт.ст) . зажигают дугу. Зажигание дуги производят кратковременнымприкосновением поджигающего приспособления 3, электрически связаннымс анодом, к поверхности катода 1.Кроме того, дуга горит в парах металла катода. Так как катодное пятно вакуумной дуги стремится находиться научастках катода с максимальной индукцией магнитного поля, то оно перемещается в район катода, находящийсяпод...

Номер патента: 1802550

Опубликовано: 15.12.1994

Авторы: Абдулов, Булат, Груич, Кирсон, Эстерлис

МПК: C23C 14/56

Метки: испаритель, металлов, протяженный, электродуговой

...электродуговой испаритель (фиг. Ц состоит из электроизолированных секций катода 1, каждая из которыхизготовлена иэ металла, входящего в составмногослойного покрытия, механизма 2 перемещения катода, обеспечивающего поступательное перемещение его в горизонтальнойплоскости. Вдоль катода, с обеих сторон35 40 жигают дугу, в результате чего обеспечивается перемещение катодных пятен по длине секции катода 1, После завершения напыления определенного металлического слоя выключают источник 5 питания. Затем с помощью механизма перемещения катода 2 подводят в рабочую зону другую секцию катода 1, изготовленную из другого материала, так, чтобы обеспечить надежный контакт ее с токоподводами от отрицательного полюса 45 иСточника 5 питания,...

Номер патента: 307666

Опубликовано: 05.01.1979

Авторы: Атаманский, Горбунов, Долотов, Лунев, Луценко, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...ваней в вакууме.лектродуговой испарительержаший корпус, катод, подктрод и анод.Овышения стабильности горепуса, внутри которого коаксивл ршен катод.На чертеже представлен предлагаемый испвритель, общий вид,Испаритель содержит выполненный изнемагнитного материала корпус 1,. внутрикоторого коаксиально размещен катод 2,поджигающий электрод 3, анод 4 и соленоид 5, расположенный снаружи корпуса.Дуга возбуждается кратковременнымприкосновением поджигающего электрода3 к поверхности катода 2 и горит в парах 2 Ометалла катода между рабочей поверхностью катода (той, с которой происходит испарение металла) и внутренней поверхнос. Атаманский, В. 11. ГорбуновН. Луценко, В. М. ЛуневВ. В. Усов Через столб плазм, звклю ду квтодной областью дуги и...

Номер патента: 349325

Опубликовано: 30.03.1978

Авторы: Гетман, Гольдинер, Горбунов, Долотов, Киршфельд, Саблев, Усов

МПК: C23C 13/12

Метки: испаритель, металлов, электродуговой

...а дру- ЗО- с камерой-анодом 1, Между корпусом и камерои-анодом установлена электроизоляционная прокладка 6.При давлении в вакуумной камере ниже 110 втор. кратковременным прикосновением поджигающего электрода к поверхности катода зажигается дуга. Дуга горит в парах металла при сколь угодно низком давлении остаточных газов в вакуумной камере. Для стабильного горения дуги необходимо, чтобы катодное пятно дуги находилось на рабочей поверхности катода. При нахождении катодного пятна на рабочей поверхности катода поток металлической плазмы направлен на стенки вакуумной камеры, являющейся анодом. Как только катодное пятно переходит на боковую поверхность катода, поток металлической плазмы направляется в сторону корпуса испарителя, электрически...