Электродуговой испаритель металлов

(51) М, КЛ С 23 С 13/О судвротвекный комет аветв Икккотров ССС аа делам кзобретенкйи открытий,78.бюллетень45я описания Ы.12.78 53) УДК 621,79 Э, .7 (088,8) 72) Авто П, Саблев, й. И, йоИ Гетьман етения 71) Заявител электродугожащем камеойство, токо. атод и экран,з магнитного тод, на внут- а выполнен.ы с присоединением заявк Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электродуговых высоковакуумиых насосах, а такжев установленных для нанесения металлических покрытий в вакууме,Известны электродуговые испарители, содержащие вакуумную камеру, служащуюодновременно анодом испарителя, охлаждаемый катод, изготовленный нз испаряемого материала, экран, охватывающий нерабочую поверхность катода (нерабочая поверхность - та часть поверхности катода, с ко- тОторой не должно происходить испарения),поджигающее устройство 1,Однако, известное устройство имеет неравномерное испарение катода.Цель предлагаемого изобретения - улуч.е равномерности испарения катода,Она достигается тем, что ввом испарителе металлов, содеру - анод, поджигающее устподвод, закрепленньй на немвыполненный в виде стаканаматериала, охватывающего каренней стороне днища стаканрадиальные канавки. И ИСПАРИТЕЛЬ МЕТАЛЛО На фиг. 1 дан общий вид конкретного примера выполнения предлагаемого электро- дугового испарителя металлов; на фиг,2 - сечение А - А экрана испарителя на фиг. 1;. на фиг, 3 - рабочая поверхность катода, работавшего в иснарителе, в котором экран, охватывающий нерабочую поверхность катода, не имел канавок, подобных канавкам экрана испарителя на фиг. 1; на фнг. 4 дано поперечное сечение катода на фиг. 3; на фнг. 5 изображена рабочая поверхность катода, работавшего в испарителе, в котором экран, охватывающий нерабочую поверхность катода, имел канавки, как у испарителя на фиг. 1; на фиг. 6 дано поперечное сечение катода на фиг. 5.Злектродуговой испаритель высоковакуумного насоса (фнг. 1) содержит анод 1, служащий одновременно камерой испарителя; катод 2 в виде цилиндра диаметром 250 мм, выполненный из титана и размещенный симметрично относительно оси камеры- анода на конце токоподвода 3, представ. яющего собой медный стержень диаметром 25 мм, изогнутый под прямым углом. Второй конец токоподвода выведен нз камеры-анода через вакуумноплотпый изолятор 4 и электри.чески соединен с отрицательным полюсом источника питания 5. Положительный полюс источника электрически соединен с камерой. анодом. Экран Б, изготовленный из магнит. ного материала, охватывает нерабочую поверхность катода, На поверхности экрана, обращенной к катоду и противолежащей рабочей поверхности катода, в местах удаленных от токоподвода, выполнены радиальные относительно точки закрепления токопровода к катоду канавки 7. Поджигающее уст. ройство 8 электрически соединено с камерой- анодом.Предлагаемый испаритель работает следующим образом. Зажигание дуги производится (после достижения в камере 1 необходимого предварительного разряжения) кратковременным закорачиванием промежут. ка анод. катод при помощи поджи гаю щего устройства 8. Катодное пятно электрической дуги хаотически перемещается по рабочей поверхности катода 2, Электрический ток, проходя по токоподводу 3 к катоду, создает вокруг токоподводов магнитное поле. При этом магнитное иоле, создаваемое вокруг участка токоподвода симметричного отночительно оси катода, частйчно замыкается по экрану.Магнитное поле вокруг участка токоподвода, расположенного под углом к оси катода, создает на рабочей поверхности катода вблизи токоподвода локальный участок с большей по сравнению с остальной рабочей поверхностью катода напряженностью магнитного поля. В то же время часть магнитного потока, замыкающегося по экрану 6, в сечении канавок 7 вытесняется за пределы тела экрана в сторону рабочей поверхности катода, повыцая напряженность магнитного поля на той части рабочей поверхности катода, которая расположена вдали от токо- подвода. Таким образом увеличивается равномерность магнитного поля на всей рабочей поверхности катода, что обеспечивает равномерное испарение катода и увеличение его срока службы.ол Мельниченк я Корректор Д.Подписноеета Совета Министров Сий и открытийРаушская наб. д. 4/5жгород, ул. Проектная. Составитель О. БоТехред О. ЛуговаТираж 1135ПИ Государственного комитпо делам изобретен113035, Москва, Ж 35.илиад ППП Патент, г. У