Способ изготовления эмиттера электронов

Номер патента: 581742

Авторы: Афонина, Климин, Сотникова, Стучинский

ZIP архив

Текст

О П ГАЙИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(51)М. Кл. Н 01 Л 9/12 с присоединением заявки Мо ГосударственНый комитет СССР но делам изобретений н открытий(71) Заявитель 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭМИТТЕРА ЭЛЕКТРОНОВ Изобретение относится к электронной технике и может найти применение при разработке фотоэлектронныхприборов, содержащих эмиттеры электронов.Известен способ активированияэмиттера электронов на основе полупроводниковых соединений А В путем5нанесения цезия или цезия и кислорода при комнатной температуре до получения максимальной эффективностиэмиттера 1).Однако при таком способе сложнопроведение технологического цикласовместного изготовления вторичныхэмиттеров и фотокатодов из разныхматериалов.Известен также способ изготовления эмиттера электронов, выполненного из алмазоподобного полупроводника, например соединения АЗВа, включающий активирование поверхностицезием в объеме фотоэлектронногоприбора 2.При этом способе сложна технология при активировании эмиттера вфотоэлектронном приборе при комнатной температуре,Цель изобретения - упрощениетехнологии,Это достигается тем, что активирование ведут в парах цезия при100-250 С. Это обеспечивает возможность совмещения процессов изготовления эмиттеров электронов на основе алмазоподобных полупроводникови других элементов фотоэлектронногоприбора, в частности фотокатода идинодов, что упрощает технологию 10 прибора.Примером изготовления эмиттераэлектронов может служить изготовление эффективного вторичноэлектронного эмиттера на основе поликристал лического слоя фосфида галлия, используемого в качестве первого динода ФЭУ с сурьмяно-щелочным фотокатодом. Во время активированияпри 100-250 С достигается динами ческое равновесие между процессамиадсорбции и десорбции цезия наповерхности эмиттера, приводящеек образованию покрытия, обеспечивающего высокую эффективность эмиттера.25 Формула изобретенияСпособ изготовления эмиттераэлектронов, выполненного из алмазоподобного полупроводника, включающийактивирование поверхности цезием 30 в объеме фотоэлектронного прибора,581742 Составитель В.БелононьТехред З,фанта Корректор С.Иекмар Редактор Т,Колодцева Заказ 5500/58 Тираж 923 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5 Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 о т л и ч а ю ш и й с я тем, что,с целью упрощения технологии, активирование ведут в парах цезия при100-250 С.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 41, Яр 1 сег Х.Е., Мо 11,у,Е, 21 п 3 з

Смотреть

Заявка

1947761, 23.07.1973

ОРГАНИЗАЦИЯ ПЯ М-5273

АФОНИНА Л. Ф, КЛИМИН А. И, СОТНИКОВА Н. И, СТУЧИНСКИЙ Г. В

МПК / Метки

МПК: H01J 9/12

Метки: электронов, эмиттера

Опубликовано: 15.09.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-581742-sposob-izgotovleniya-ehmittera-ehlektronov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления эмиттера электронов</a>

Похожие патенты