Раствор для травления алюминия

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Н 11566866 Союз Советскими Социалистицееких Республик(21) 2322722/26 2) Заявлено 13.02,. КлС 09 К 13/О влис присоединением Приоритетбликовано 30.07,7 сударстеенныи комитетсвета Министров СССРо делам изобретенийи открытий Бюллетень28(088,8) та опубликования писания 25.08.77 Лвторыизобретен люк, В. Д. Жора, В. В. сенко и Б мбурья 3 аявител 54) РАСТ ЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АЛЮМИНИЯ".зобрстение относится к составам для травления, а именно к растворам для травленияалюминия, используемым для изготовлениядеталей фотохимическим методом.Известны растворы для травления пленокалюминия при изготовлении полупроводниковых приборов, содержащие в своем составеортофосфорную, азотную и уксусную кислоты 1,Г 1 ри применении указанных растворов наоснове ортофосфорной кислоты для травленияслоев алюминия толщиной 10 мкм и выше обнаружены следующие недостатки: процесстравления характеризуется бурным газовыделением; из-за высокой вязкости раствора пузырьки водорода, выделяющегося при травлении, прилипают к дорожкам травления и препятствуют полному удалению алюминия, чтоприводит к неровности края, подтравливаниюи к появлению значительного количества непротравленных островков. Кроме того, необходим подогрев раствора с целью увеличенияскорости травления. Вследствие трудностиподдсркания постоянной температуры в объеме травителя происходит ухудшение равномерности травления, что осложняет определение момента окончания процесса.Целью изобретения является повышение качества травления алюминия,Для этого в раствор, содержащни ортофосфорную, азотную и уксусную кислоты, дополнительно вводят хлорное железо и соляпуо кислоту при следующем соотношении компо центов, об. ч,:Ортофосфорная кислота(уд. вес. 1,17 г/см) 2 - 5Введение добавок хлорного железа и соляной кислоты, активно травящих алюминий, особенно в присутствии сильного окислителя - 20 азотной кислоты, при указанном соотношениикомпонентов настолько повышает скорость травления алюминия, что исключается необходимость в подогреве раствора. Указанный эффект наблюдается только при совместном 25 деЙствии хлорного железа и соляной кислоты,так как при введении в раствор лишь одного из указанных компонентов не наблюдается достаточного увеличения скорости, ухудшаются край и равномерность травления и снижа566866 1 - 2 1 - 3 Составитель В. МасенкоТехрсд М. Семенов Корректор Л. Брахнина Редактор Т, Пилипенко Заказ 1881123 Изд.645 Тирак 850 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 ется стойкость маскирующих покрытий при селективном травлении. Кроме того, в результате введения указанных добавок значительно снижается вязкость травящего раствора, вследствие чего улучшаются условия для эвакуации пузырьков водорода из дорожек травления, облегчается доступ травителя к металлу, что в конечном итоге приводит к улучшению равномерности травления, уменьшению неровностей края и количества непротравленных участков, Присутствие ортофосфорной кислоты в растворе улучшает смачиваемость поверхности алюминия, но увеличивает вязкость травителя, чем затрудняется процесс отрыва пузырьков газа от поверхности металла, Уксусная кислота позволяет снизить вязкость раствора, является выравнивающей добавкой, обеспечивая равномерность травления металла по поверхности, Оптимальное соотношение компонентов предложенного раствора установлены экспериментальным путем.П р и м е р, Травитель для алюминия следующего состава, об, ч.: ортофосфорная кислота (уд. вес. 1,735 г/см) 4; азотная кислота (уд. вес. 1,42 г/смз) 1,5; уксусная кислота (уд. вес. 1,05 г/см) 8; хлорное железо (уд. вес. водного раствора 1,19 - 1,21 г/см) 2 и соляная кислота (уд. вес. 1,17 г/смз) 3,5, готовят путем последовательного смешивания предварительно приготовленного водного раствора хлорного железа с остальными компонентами.Образцы для травления готовят следующим образом.На заготовках диэлектрика лакофольгового типа ФДИ с толщиной алюминия 30 мкм методом фотопечати с использованием фоторезистов ФНили ФПформируют маскирующий слой для селективного травления с целью получения лепестковых выводов. Заготовки с фоторезистивным слоем термически задублнвают, после чего подвергают травлению в растворе приведенного состава. Температура травления 18 - 25 С. Положение заготовок в объеме травителя горизонтальное или вертикальное. Заготовки выдерживают в растворе до полного вытравления алюминия издорожек травления, Время травления 9 -12 мин,5 При травлении алюминия в предложенномрастворе повышается качество травления.Кроме того, в растворе для травления алюминия при комнатной температуре вследствиелучшей равномерности травления облегчается10 определение момента окончания процесса,исключается расход электроэнергии на подогрев раствора, упрощается оборудование дляосуществления процесса травления алюминия,улучшаются условия труда.15 Предложенный раствор для травления алюминия может найти широкое применение вмикроэлектронике, радиопромышленности идругих родственных отраслях народного хозяйства для изготовления деталей из алюми 20 ния и его сплавов методом фотохимическоготравления,Формула изобретенияРаствор для травления алюминия, содержа щий ортофосфорную, азотную и уксусную кислоты, отличающийся тем, что, с цельюповышения качества травления, он дополнительно содержит хлорное железо и солянуюкислоту при следующем соотношении компо не:;тов, об. ч.:Ортофосфорная кислота(уд. вес, 1,17 г/смз) 2 - 5Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Патент США3715250, кл, 156 - 22, 45 1973.