Многолучевое электронное отклоняющее устройство

Номер патента: 506083

Авторы: Сбежнев, Силкин, Штейнман

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(45) Дата опубликования описания 22.07.76(51) М.Кл, Н 01 1 2976 Гасударственный комитетСовета Министров СССРпо делам изобретенийн открытии(54) МНОГОЛУЧЕВОЕ ЭЛЕКТРОННОЕ ОТКЛОНЯЮЩЕЕ УСТРОЙСТВОИзобретение относится к электронно-оптическим системам, предназначенным для электронно-лучевой обработки материалов, чувствительных к электронному лучу, Оно может оыть использовано в электроиолитографин,Известно электростатическое многолучевое отклоняющее устройство, содержащее систему проводников, создающих отклоняющие поля во взаимно перпендикулярных направлениях, причем система проводников выполнена в виде двух расположенных один над другим рядов параллельных стержней. Недостатком устройства является то, что центры отклонения луча по двум направлениям разнесены по высоте, поэтому угол отклонения по одной нз осей больше, чем по другой. В результате увеличлваются аосорации и ухудшается разрешающая способность устройства. Кроме того, известное устройство имеет невысокую чувствительчость,Цель изобретения - уменьшение аберраций отклонения, а также увеличение чувствительности устройства, Указанная цель достигается тем, что каждая из систем проводников элеклронного м,ноголучевого отклоняющего устройства выполнена в виде двух соленоидов прямоугольного сечения, раеголоженньх на общем каркасе из неферромагиитного материала один внутри другого,Предложенное устройство обладает болеевысокой чувствительностью, чем электростатическое, благодаря этому для его питания могут быть использованы обычные генераторы отклоняющих сигналов.Лберрации отклонения в устройстве снижены, поокольку центры опклонвния в обоих 10направлениях совпадают за счет расположения соленоидов один внутри другого.На чертеже показано предложенное многолучевое электронное отклоняющее устройство в двух проекциях. Каркас 1, выполненный из иеферромагнитного материала, имеет вид рамки прямоугольного сечения, две противоположнь.е стенки которои несколько уже двух других.20 В стенках рамки сделаны направляющие анавки, по которым проложен провод 2, образующий два соленоида 3 и 4 с требуемым шагом намотки. Витки одного соленоида перпендикулярны виткам второго. Ток в соленоиды подается от генераторов отклоняющих сипналов,При подачс отклоняощих токов з соленоиды 3 и 4 в объеме каркаса 1 создается З 0 отклоняющее магнитное поле, причем отклоСоставитель Н, Ефремова Текред В, Рыбакова Корректор И. Снмкина Редактор Т. Орловская Заказ 707/892ЦНИ ч оо 1 Типаж о 77венного комитета Совета Минпам изобретений и открытийЖ-З 5, Раушская наб., д. 4/5ов ССС Тип, Харьк. фиск пред. Патен няющие пОля ВО Взаимно перпендпкуля:э.ьх напразлеш 1 ях действуют на одном и том же участке пространства, за исключением щелей между зитками двух катушек. Таким образом, центры отклонеия по двум напразлениям совпадают, Электронные лучи, попадающие в отклоняющую систему, проходят ее между витками соленоидов, Для .итаяня соленоидов при отклонении лучей с эперг;1 е 10 кв достаточен ток не выше 1 а, хоторып обеспечивается обычными снлптелям 11 пзстоянного тока. Формула изобретения Многолучевое электронное отклоняющееустройство, содержащее систему проводников, 5 создающих отклоняющие поля во взаимноперпендикулярных направлениях, отлич ающ е е с я тем, что, с целью уменьшения аберрации отклонения, а также увеличения чувствительности устройства, проводники систе мы расположены на общем каркасе из немагнитного материала в виде двух соленондоз, оси которых взаимно перпендикулярны.

Смотреть

Заявка

2013991, 04.04.1974

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1631

СБЕЖНЕВ ГРИГОРИЙ ТРОФИМОВИЧ, СИЛКИН СТАНИСЛАВ ГЕОРГИЕВИЧ, ШТЕЙНМАН ГЕННАДИЙ АБРАМОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01J 29/76

Метки: многолучевое, отклоняющее, электронное

Опубликовано: 05.03.1976

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-506083-mnogoluchevoe-ehlektronnoe-otklonyayushhee-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Многолучевое электронное отклоняющее устройство</a>

Похожие патенты