Устройство для изготовления многослойных полупроводниковых структур методом жидкостной эпитаксии
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОВРЕтИНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(43) Опубликовано 05,Государственный комитет Совета Министров СССР во делам изобретений и открытий1,77,Бюллетень1 К 621,3888,8) 45) Дата опубликования описания 27.04,7 Ларионов и В, Г, Никит В, Жиляев, М. Андре 2) Авторы изобретени рдена Ленина физико-технический институт им. А, ф, Иоффе 1) Заявител НЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХТА КСИИ ТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛ СТРУКТУР МЕТОДОМ ЖИДКОСТНОЙ Э 4ертеже показано предлагаемое устойств еподвижно укподложек 3 В корпусе 1 нный держатель 2положены параллесвоими поверхносдавливается распл плен съем- Подложки рас ой, образуя которой проа в зазоре роводния в нено одна друг ями зазо ав. Из расплавллизация полупшень 4 находитс происходит крис кового слоя, По подвижной камер оедин еннои с подвим- лавов каналом 7 несколько объеже три объема) помещенной в теинеромый контеи расплаво ным Подв нер имеетв (на чертечой детали,авляюшие вплавов преду м.ов дл и выло специал отработ вуар 8 лнен из од.ьные напранных рас отрен резе о работает следующим образом. бъемов подвижного контейнера 6 строис ин и 0 с расплав обходи, которыижду подложка дат зазор м агается над распол При ржатеым каналосторону отон в исходи единитель ршня 4 в движенииля подложекянин плотно к которомуприлегает Известны устройства для изготовления многослойных полупроводниковых структур методом. жидкостной эпитаксии, включающие контейнер для нескольких расплавов и подложкодержатель, выполненные с возможностью перемещения подложки относительно контейнера с целью поочередного приведения подложки в контакт с расплавамНедостатком этих устройств является то, что при перемещении подложки может происходить либо перетаскивание одного рас плава в другой и их перемешивание, либо частичное сдергивание расплава и механическое повреждение вырашенного слоя стенками контейнера, что ухудшает условия смачивания для следующего расплава и приводит к возникновению дефектов в многослойных полупроводниковых структурах,С целью уменьшения дефектов изготовляемых структур предлагаемое устройство снабжено дополнительной соединенной с контейнером камерой с поршнем, в которую помещены держатели подложек, образующие ка нал, соединяющий камеру с резервуаром для отработанных расплавов. крывается соединительный каналЗаказ 893/79 Тираж 976 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП фПатентф, г, Ужгород уп, Проектная, 4 и расплав перетекает под действием собственного веса в неподвижную камеру 5, Во время обратного движения поршня, при перекрытии канаца 7, расплав продавливается через зазор до тех пор, пока поршень не дойдет до держателя подпожек и не вытеснит весь расплав из неподвижной камеры 5,Для замены расплава в зазоре над каналом 7 устанавливается следующий объем контейнера, и операции с поршнем повторяются, Дпя попного вытеснения предыдушего расплава поспедуюшим объем зазора между подложками устанавливают не большим обьема неподвижной камеры. 15Таким образом, благодаря тому, что с помощью предлагаемого устройства замена расплава на подложке происходит путем. вытеснения предыдущего расплава последующим, уменьшается количество дефектов в эпитак сиапьных структурах, В частности, испопьзование предлагаемого устройства для изготовпения гетеролазерных структур позвопяет значительно улучшить воспроизводимость параметров инжекционных лазеров. Формупа изобретения Устройство для изготовления многослойных попупроводниковых структур методом жидкостной эпитаксии, включающее держатель подложки и контейнер для расплавов, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью уменьшения дефектов изготовпяемых структур, устройство снабжено соединенной с контейнером камерой с поршнем, в которой размещены держатепи подложек, образующие канал, соединякший камеру с резервуаром. для отработанных расплавов.
СмотретьЗаявка
1836833, 16.10.1972
ОРДЕНА ЛЕНИНА ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А. Ф. ИОФФЕ
АНДРЕЕВ В. М, ЖИЛЯЕВ Ю. В, ЛАРИОНОВ В. Р, НИКИТИН В. Г
МПК / Метки
МПК: H01L 21/36
Метки: жидкостной, методом, многослойных, полупроводниковых, структур, эпитаксии
Опубликовано: 05.01.1977
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-460826-ustrojjstvo-dlya-izgotovleniya-mnogoslojjnykh-poluprovodnikovykh-struktur-metodom-zhidkostnojj-ehpitaksii.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для изготовления многослойных полупроводниковых структур методом жидкостной эпитаксии</a>
Способ получения эпитаксиальных структур на подложках арсенида галлия
Номер патента: 1800856
Опубликовано: 19.06.1995
Авторы: Захаров, Нестерова, Пащенко, Шубин
МПК: C30B 25/02, C30B 29/40
Метки: арсенида, галлия, подложках, структур, эпитаксиальных
...удельной мощности в такой системе нетпоэтому. целесообразно привести и геометрические характеристики используемой авторами установки. Высота пирамиды-подложкодержателя 220 мм, максимальный размер (диаметр) верхнего торца пирамиды 120 мм, нижнего торца 150 мм, Боковая поверхность пирамиды, как сумма площадей ее восьми граней, составляет 924 см, Наружный диаметр кварцевой трубы2реактора 190 мм. Высота катушки индукто5 10 15 20 30 35 40 45 50 ра-излучателя 250 мм, средний диаметр 220 мм. Диаметр медной трубки, из которой навит индуктор, 12 мм, число витков катушки индуктора-излучателя 11. Этих сведений достаточно для оценки энергетики получаемой плазмы и воспроизведения способа не только,в увстановке описанной конструкции, но ив других...
Способ обнаружения радиационных дефектов в диэлектриках и устройство для его осуществления
Номер патента: 927036
Опубликовано: 15.02.1984
Авторы: Андрющенко, Гурьев, Денисов, Осипов, Панова, Стадник
МПК: G01N 27/22
Метки: дефектов, диэлектриках, обнаружения, радиационных
...на Фиг. 5 и б - результаты испытаний.Сущность предлагаемого способа заключается в следующем, Облученяый диэлектрический образец 1 (см.фиг. 1) с нанесенными электродами 2 и 3 помещают в нагревательную камеру, закрепляют между двумя металлическими пластинами 4 и 5, изолированными от образца слоями б и 7 диэлектрика. Затем осуществляют нагрев образца по линейному или гиперболическому законам ( см. Фиг. 2) со"скоростьюи таким образом, чтобы в процессе всего нагрева разность температур ЬТ между пластинами 4 и 5 была постоянной. Наличие разности температур между этими пластинами в процессе нагрева приводит к возникновению градиента температуры, который в свою очередь определяет постоянный тепловой поток в образце. Малая величина...
Способ обнаружения дефектов эластичной ленты и устройство для его осуществления
Номер патента: 597917
Опубликовано: 15.03.1978
Авторы: Гельман, Кримгольд, Ольхов, Тимофеев
МПК: G01B 5/06
Метки: дефектов, ленты, обнаружения, эластичной
...родика.На фиг, 1 схематически изображено устройство, на фиг, 2 - разрез по ручью между 15базовым и измерительным роликами.Устройсгво содержит (см, фиг, 1) базовыйролик 1 с неподвижной осью вращения и расположенный против него радиально . подвивный измерительный ролик 2, Измерительный 0родик размещен на измерительном рычаге3, перемещение. которого ограничено регулируемым упором 4, Для обеспечения необходимого измерительного усилия служит пружина 5, Второе плечо измерительного рычага взаимодействует с .преобразователем 6линейных перемещений, Измерительный ролик(см. фиг. 2) снабжен двумя ребордами 7и 8, а базовый - двумя кольцевыми проточ-,ками 9 и 10 расположенными против реборд.йСпособ обнаружения дефектов на эластичной...
Способ изготовления многослойной бумажной трубки для производства мундштуков и устройство для осуществления способа
Номер патента: 616996
Опубликовано: 25.07.1978
МПК: A24C 5/48
Метки: бумажной, многослойной, мундштуков, производства, способа, трубки
...(см. фиг. 7) после формования трубку увлажняют подаваемым в камеру 52 паром и затем нагревают в термокамере 56, придавая ей стабильную форму. 1. Способ изготовления многослойной бу Емажной трубки для производства мундштуков,. заключающийся в подаче бумажной ленты наформование из нее трубки и разрезание последней на отдельные мундштуки, отличающийся тем что.с целью повышения экономичности1изготовления, используют бумажную ленту шириной равной или больше двойной длины окружности изготавливаемой трубки, а . передформованием на бумажную ленту в ее продольном направлении наносят линию ослабленнойпрочности, разделяющую последнюю на участ- Вки с последующим их наложением один. надругой путем изгибания ленты вдоль линииослабленной прочности.2....
Способ жидкостной обработки текстильного материала и устройство для его осуществления
Номер патента: 765431
Опубликовано: 23.09.1980
Авторы: Князев, Конькова, Малков, Поляков, Щеголев
МПК: D06B 15/04
Метки: жидкостной, текстильного
...18 обращены соответственно к высокоскоростному соплу 5 и диффуэору 13,связанному с отсосным коробом 14. Внижней стенке дополнительного диффузора 15 имеется решетка 19, через которую жидкость стекает в герметичныйподдон 20 со штуцером для слива 21.Для нанесения жидкости на нижнюю сторону полотна 22 установлен смачивающий валик 23, нижняя часть которогопогружена в жидкостную ванну 24.Способ жидкостной обработки и работа устройства осуществляются следующим образом.Текстильное полотно 22 поступаетчерез входную щель в камеру 1, гдена его поверхность из трубы с форсуннами 2 наносят (напыляют) жидкость(раствор вещества) в виде мелкодисперсных капель. Жидкость может наноситься также с помощью раэбрызгивающих валиков или других подобных...
Предыдущий патент: Способ получения 6-ацетокси-2, 5, 7, 8-тетраметил-2-(4″, 8″, 12″ триметилтридецил)-хромана
Следующий патент: Способ получения алкилсульфатов
Случайный патент: Устройство для транспортирования бетонной смеси