Способ избирательного химического травления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 366227
Текст
366227 Союз Советскик Социалистицескик Республикавт. свидетельства Че ависи аявлено 10,7,197 1655464/26 Ч. Кл, С 23 т 1/00 Н 051 3/Орисоединением заявки Че Комитет по делам иеааретений и открытий при Совете Миниатрае СССРллетень М Дата опубликования описания 2,1 Ч,197 Авторыизобретения Г акова, Б, Е. Раснецова, Г. М. Белевич и В. А,ова Заявител ОБ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕН ИЛЕНОК ХРОМАИзобретен а именно к т электронной но при изгот ными и субм ие относится к радиоэлектронике, ехнологии изготовления приборов техники и может быть,применеовлении фотошаблонов с микроникр онными р азмер а ми. Известен способ избирательного травления пленок хрома, заключающийся в том, что пленку хрома, нанесенную на какую-либо стойкую в тр авителе подложку стекло, кварц), подвергают обработке в растворе солянои кислоты в контакте с металлом, активирующим процесс травления, Ы качестве татаих металлов применяют цинк или алюминий в виде стержня, которыи контактирует с пленкой хрома. Однако известный спосоо не позволяет применять для формирования рнсукка длекок хрома фоторезисты с низкои кислотостойкостью и, кроме того, приводит к большому растравливанию краев пленки хрома,Цель изобретения - обеспечение возможности использования фоторезистов различной кислотостойкости и уменьшение растравливания краев пленки,Для этого по предлагаемому способу в к честве добавки введен водный раствор поли амфолита при следующем содержании исход ных компонентов, г;оляная кислота концентрированная) 1150 в 1111 ол и а мфолит Й - 50Вода б - 5011 редлагаемый способ осуществляют следующим ооразом.11 одложку с хромовой пленкой, на которуюнанесен защитныи рисунок роторезиста, погружают,в раствор, содержащий т тоо г соляО нои концентрированнои ф 0 - д,в) кислоты,20 г полиамгролита и 20 г воды, и приводяталюминиевыи или цинковый стержень в соприкосновение с незащищенным рогорезистомучастком хромовой пленки. 11 о истечениио - б сек стержень убирают, а пластину выдерживают в растворе до полного стравливания хрома.11 роцесс травления протекает равномернои поддается регулировке путем измененияконцентрации кислоты и добавки,Спосоо предусматривает использование различных разновидностей полиамфолитов: сополимера акриловой кислоты с р-аминоэтилакрилатом; сополимера акриловой кислоты с2,о-метилвинилпиридином; осмола, образующегося при дегидратации этиленциангидрипапри производстве акрилонитрила,11 редлагаемый способ позволяет при изготовлении хромового микрорельефа расш р0 номенклатуру применяемых фоторезисто, сРедактор Т. Иванова Заказ 656/9 Изд, Ле 158 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская паб д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 пользовать фоторезисты с оолее широким диапазоном свойств, например фоторезисты на основе резольных смол, которые, обладая меньшей ыислотостойкостью по сравнению с новолачными, находят, однако, широкое применение в электронной технике в силу их высокой разрешающей способности, высокой адгезии к диффузионным стеклам и, в отличие от новолачных фоторезистов, спосооности сохранять размеры элементов при термообработке. Предмет изобретенияСпособ избирательного химического травления пленок хрома, рисунок которых формируют методом фотолитографии, в растворе, содержащем соляную кислоту и добавки, с использованием металлического активатора, отличающийся тем, что, с целью обеспечения 5 возможности использования фоторезистовразличной кислотостойкости и уменьшения растравливания краев пленки, в качестве добавки введен водный раствор полиамфолита при следующем содержании исходных компо нентов, г: Соляная кислота (концентрированная) 1150 в 11Полиамфолит 5 - 50 15 ВоДа 5 - 50
СмотретьЗаявка
1655464
МПК / Метки
МПК: C23F 1/02, C23F 1/26, H05K 3/00
Метки: избирательного, травления, химического
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-366227-sposob-izbiratelnogo-khimicheskogo-travleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ избирательного химического травления</a>
Способ травления пленок хрома
Номер патента: 424333
Опубликовано: 15.04.1974
Авторы: Гутров, Зелепухина, Изо, Полещук, Ревзин, Яровой
Метки: пленок, травления, хрома
...А, цацсгсшгую на керамическую подложку с 8 классом чистоты вакуумтермическим ггапылеогиезг, подвергают в,процессе фотолптографгпи ца гтадш дуоления фоторезиста нагревагцию на воздуе при 250 С в течение 0,5 час. Травление хрома производят в нагретом до 75 С 20%-ном растворе соляной кислоты, содержащем 60 г/л двухлористого олова.Время травлсния 15 сек. После раствсрегпия горсма ца незащищенныфоторезистом ъгаткагодложкъ промывагот Водои и Выс- шивают. В результате видимых следов ггестравленного рома на подложке под микро. скопом нс обнаружено.П р и м е р 2. На керазгггческуго подложку 7 класса чистоты наносят в вакууме двуглогное покрыт.ге из хрома (толщина 250 А) и меди (толщина 0,6 лгклг). После фотолитографии производилось...
Способ травления хрома
Номер патента: 319124
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Джеймс, Иностранцы, Соединенные
МПК: B41C 1/16, C23F 1/04, C23F 1/26
...Раушская наб., д. 45 Типография, пр Сапунова, 2 которая не прекращается вплоть до полного растворения всего слоя хрома, Время травления в присутствии катализатора 3 - 5 сек. В период травления температуру раствора желательно поддерживать при 60 С.Удаление газовых пузырьков, возникающих в результате химической реакции, осуществляют протиранием обрабатываемой поверхности мягким материалом,Для прекращения реакции после травления соляной кислотой основу помещают в ванну с гидроокисью аммония, тем самым устраняя боковое подтравливание элементов изображения. Момент погружения в известных способах существенно определяет четкость изображения.При использовании травящего раствора, несмотря на то, что реакция травления протекает чрезвычайно...
Раствор для размерного травления сплава серебра
Номер патента: 905262
Опубликовано: 15.02.1982
Авторы: Дубков, Жаринская, Ровецкая, Цвилюк
МПК: C09K 13/06
Метки: размерного, раствор, серебра, сплава, травления
...пленки, необходимой для защиты граней рельефных элементов ст травления, косвенно связано с концентрацией азотной кислоты, Только при определенном соотношении обеих кислот в раст.воре формируется защитная сксалатная пленкатребуемьх свойств. Недостаточное содержание5 Огцавелевой кислоты относительно азотной ведет к образованию рыхлой, непрочной пленки.Напротив, относительно высокое содержаниещавелевой кислоты в растворе дает слишкомплотную и прочную оксалатцую пленку, которая осаждается нс только на боковых граняхрельефных элементов, цо и на участках непокрытых копировальным слоем, что препятствует травлению, 3000820 4Для достижения требуемой чистоты поверхности травления в раствор азотной и щавелевой кислот дополнительно вводят добавки...
Состав активирующей смеси для травления оксидных пленок металлов
Номер патента: 1122754
Опубликовано: 07.11.1984
Авторы: Баранник, Богуславская, Мансуров
МПК: C23F 1/02
Метки: активирующей, металлов, оксидных, пленок, смеси, состав, травления
...анол 30 Концентрация 2 пыли, нас.й Скорость травления в НС 1 конц.),нм/с. 1,8 2 В гомологическом ряду изобутанол является первым, который неограниченно смешивается с маслами,Измерение краевого угла смачивания хромовых пленок водой и спиртами приведено в табл. 1. Краевой угол смачивалия пленки хро-, Ома, град Как видно из приведенных результатов, изобутанол имеет самый маленький краевой угол и, следователь. но, характеризуется максимальной смачивающей способностью. Таким образом, применение изобутанола в качестве дисперсионной среды активирующей смеси улучшает смачиваемость поверхности и обеспечивает ее обезжиривание.Существенным недостатком суспензии цинка вводе является низкая с степень ее агрегативной устойчивости по сравнению с...
Способ одновременного обезжиривания, травления и фосфатирования алюминия и его сплавов и раствор для осуществления способа
Номер патента: 682582
Опубликовано: 30.08.1979
Авторы: Будов, Заливалов, Корчагина
МПК: C25D 5/34
Метки: алюминия, обезжиривания, одновременного, раствор, сплавов, способа, травления, фосфатирования
...ФПерекись водорода Фосфорную, кислоту вводят в раствор для получения фосфатного покрытия.Хромовый ангидрид и перекись водорода - в качестве окислителей.Синтанол и сульфонол - в качестве по 30 верхностно-активных веществ. Фтористоводородную кислоту и диспергатор НФ - в качестве активаторов поверхности, например .диспергатор НФ, в процес се обезжиривания способствует легкому подтравливанию окисного слоя, выполняет роль комплексообразователя, связывая в зоне реакции переходящий в раствор алюминий, как поверхностно-активное вещество 40 активирует процесс удаления загрязнений с поверхности, а на стадии образования фосфатного покрытия он способствует формированию и росту покрытия за счет повышения эффективности растворения окисла45 алюминия...