Способ получения окиси алюминия

О П И С Л Н И Е З 58268ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистииеских РеспубликЗависимое от авт. свидетельствааявлено 011971 ( 16 23 л. С 011 7/3 с присоединением заяв Кеиитет ло делам изобретений и аткрытийиорит Опубликовано ОЗ.Х 1.1972, Б ори Секете МиниСССР тень347.Х 11.1972 К 661,68-492.2.091 (088.8) та опубликования описан вторызобретения. Функе, В, В. Косухин, А, И.Н. С, Ямсков и Э отюнников, А. А. Клементьев,В. КомаровлЧЗаявител ОСОБ ПОЛУЧЕНИ КИС МИН алюми й фазь держа ать одактных корость с), чтотатков 1жащет оксимперавол яетлиноо 0,3 -ют 80 г хлорида хлорида молиббдена МоО, по Известен способ получения окиси ния путем его осаждения из парогазово галогенида алюминия и кислородсо щего реагента.Известный способ не позволяет получ нофазные плотные осадки в виде комп изделий или покрытий и, кроме того, с осаждения окисла низкая (5 - б мк/ча снижает эффективность способа.С целью устранения указанных недо предлагается в качестве кислородсодер го реагента использовать окисел ил хлорид металла, и процесс вести при те туре подложки 1400 - 2000 С. Это по получать плотный прозрачный материа высить скорость роста окисного слоя д 0,5 лам/час. П р и м е р 1. Окись алюминия получают в аппарате, содержащем цилиндрическую реакционную камеру с приспособлением для крепления образца и испаритель для хлорида алюминия.В качестве образцов применяют молибденовую проволоку диаметром 1 мм, капилляры диаметром 2 лтм и фольгу 100 Х 8 ХО,З мм, Образцы нагревают прямым пропусканием тока. В испаритель загружают 80 г хлорида алюминия. У торца образца устанавливают тигель с 50 г трехокиси молибдена,После продувки аппарата аргоном устанавливают его постоянный расход (100 л/час) и нагревают образец до 1700 С, испаритель до 200 С, тигель с трехокисью малибдена до 1100 С, Процесс ведут в течение 1 час,Полученные осадки представляют плотный прозрачный материал без отслоений от подложки. Скорость роста окисного слоя на молибденовой проволоке 0,3 лм/час.По данным рентгеновского анализа осадок представляет собой окись алюминия гексагональной модификации (х - АеОз).П р и м е р 2. Окись алюминия получают в аппарате, содержащем цилиндрическую реакционную камеру и два испарителя, В качестве подложки используют те же образцы, что в примере 1.В один испаритель загружаалюминия в другой - смесьдена МоСЬ и трехокиси моли80 г каждого компонента.После продувки аппарата образец нагревают до температуры 1850 С, хлорид алюминия - до 200 С, смесь хлорида и окисла молибдена - до 200 С.В результате нагрева смеси образовывается лсгколетучий окспхлорид молибдена, который вместе с хлоридом алюминия транспортируют потоком аргона (100 л/час) к нагретой подложке. Время проведения процесса 1 час. Скорость роста АлОз на молибденовой проволоке диаметром 1 мм составляет 0,5 млт/час,Заказ 4114/1 Изд.1726 Тираж 406 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССРМосква, Ж, Раугпская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Согласно металлографическому и рентгеновскому анализу полученный материал представляет собой компактные осадки с высокой адгезией к подложке,Предмет изобретения Способ получения окиси алюминия путемего осаждения из парогазовой фазы галогенида алюминия и кислородсодержащего реагента, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и повышения качества продукта, в качестве кислородсодержащего ре агента используют окисел или оксихлорид металла и процесс ведут при температуре подложки 1400 - 2000 С.