Способ травления кремния

Номер патента: 774478

Опубликовано: 15.07.1993

Авторы: Булгаков, Косоплеткин, Красножон

МПК: H01L 21/3065

Метки: двуокиси, ионно-химического, кремния, нитрида, травления

...же режимах процесса селективность травления Я 10 г/Я лучше, чем 12:1. По мере истощения используемого раствора фтористого водорода его концентрация уменьшается до концентрации,соответствующей азеотропному составу,т.е. 38,3 масс. Опри нормальном атмосферном давлении.Использование 38,3-ного растворафтористого водорода в воде, соответствующего азеотропному составу при нормальном атмосферном давлении, при испаренииего в условиях повышенного давления врезервуаре приводит к тому, что, в соответствии со вторым законом Вревского, составнераздельно кипящей смеси при увеличении общего давления изменяется в сторонууменьшения содержания компоненты сменьшей дифференциальной теплотой парообразования, т,е. НГ, и составляет в исходном молекулярном...

Номер патента: 1297665

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Осинов, Стратиенко

МПК: H01L 21/3065

Метки: кремния, нитрида, селективного, травления

...относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления полу проводниковых приборов.Целью изобретения является исключение подтрава нитрида кремния на обратной стороне пластины за счет снижения рабочего давления,П р и м е р. Селективное травление нитрида кремния проводят на тестовых пластинах в условиях серийного производства, На кремниевые пластинье КДБО с ориентацией 100 вреакторе пониженного давления осажодают нитрид кремния толщиной 50 ОА,затем при помощи Фотолитографии Формируеот рисунок из Фоторезиста, после Данный способ позволяет получатьв заявляемом диапазоне состава реа".гентов скорость травления нитридакремния от 350 А/миндо 650 А/мин,при этом селективность соответственно равна 9:1 и 6-.1.При...

Номер патента: 661481

Опубликовано: 05.05.1979

Автор: Дубинчук

МПК: E21B 47/00, G01V 9/02

Метки: вод, движения, направления, подземных, скорости

...и количества индикатора в каждой половине трубки, а будучи включенными последовательно с источником питания и измерительным прибором - суммарного сопротивления и соответственно количества индикатора - электролита в трубке.45 Устройство действует следующим, образом.Устройство опускают в скважину на требуемую глубину и фиксируют по азимуту при помощи жесткой штанги 1, как показано на фиг, 1. Трубку 2 заполняют индикатором на поверхности или в скважине при помощи инжектора 8 через шланг 7. По команде с пульта открываются затворы 4 на торцах трубки 3. С этого момента фильтрационный поток поступает в трубку и вытесняя ет индикатор. По мере его вытеснения пресной подземной водой (фиг. 2) уменьшается электропроводность) или повышается...

Номер патента: 890348

Опубликовано: 15.12.1981

Авторы: Дубровин, Засыпко, Куперман, Погорелов, Шафоростов

МПК: G01V 9/02

Метки: вектора, вод, движения, одиночной, подземных, скважине, скорости

...6 - генератор 4 переменного тока. Выход фазочувствительного детектора 24 посредством кабеля 6 связан со входом измерительного прибора 31, Выходной вал 28 редуктора 27 механически связан с датчиком магнитной индукции 12 и кинематически (например при помощи зубчатой передачи 35 ) - с датчиком азимута 25.Уплотнительная камера 19 пакера 18 через рабочую полость гидронасоса 20 и наружное отверстие 36 в.корпусе скважинного снаряда 1 по Датчик магнитной индукции 12 ориентирован преимущественно перпендикулярно оси скважинного снаряда 1 и может быть выполнен в виде намотанной изолированным проводом катушки индуктивности 21 со стержневым ферритовым сердечником 22, настроенной на рабочую частоту генератора 4 переменного тока (см. фиг.1) и...

Номер патента: 1096598

Опубликовано: 07.06.1984

Авторы: Вишневская, Марголина, Носова

МПК: E21B 47/00, E21B 47/12, G01V 9/02

Метки: вод, движения, направления, подземных, скорости

...подсоединенную к нижнему его концу, измерительная камера заполнена электролитом и снабжена изоляционным диском с перфорированным цилиндриче ским кольцом и вмонтированными в него центральным и радиальным электродами, подпружиненной герметизирующей крышкой из изоляционного материала с защелкой и сбивающим грузом, располо женным с зазором коаксиально по отношению к кабелю, причем электродысвязаны с жилами кабеля,На чертеже изображено предложенноеустройство, общий вид и разрез А-А.Устройство содержит водонепроницаемый многожильный кабель 1 и прикрепленную к его нижнему концу измерительную камеру 2, состоящую из изоляционного диска 3 с перфорированнымцилиндрическим кольцом 4 и крышки 5также из изоляционного материала.В цилиндр вмонтированы...