Интегральная схема

Номер патента: 968098

Опубликовано: 23.10.1982

Авторы: Казанцев, Калинина

МПК: C23F 1/00

Метки: алюминий, раствор, структуры, титан, тонкопленочной, травления

...травления по примеру 2 для граничных и средних значений концентраций компонентов, входящих в раствор, сведены в таблицу (изменение скорости и состояние качества травления структуры титан- алюминий от содержания компонентов в растворе). 35 Скорость травления, НАВОЗ (МН) 5 Ге мкм/мин Содержание компонентов Рас тПримечание вор 0,22 50 300 3,0 0,36 4,0 0,4 80 400 5,0 0,41 405 0,41 410 90 5,5 0,41 415 95 0,41 420 100 6,0 0,38 ч 80 120 7,0 0,38 140 8,0 500 0,36 160600 10,0 10 алюминий на топологическом рисунке микросхем наблюдаются перетравы, неровности края элементов составляют более 5 мкм,Вследствие большого содержания хромового ангидрида раствор имеет интенсивную окраску, что значительно затрудняет визуальный контроль за процессом...

Номер патента: 1711062

Опубликовано: 07.02.1992

Автор: Верте

МПК: G01N 27/26

Метки: алюминия, выявления, дефектов, поверхности, структуры

...в режиме полировПри кратковременном отключении источника создаются условия; обеспечивающие локальный (избирательный) характер адсорбции окрестностью дефекта поверхности одной или нескольких компонент. вещества прианодного слоя, образующих с материалов объекта исследований легко . удаляемые соединения, растворяющиеся во время последующего кратковременного включения источника электрического поля,длительностью, достаточной только для растворения образовавшихся соединений.Избирательный характер эдсорбции обусловлен неоднородностью распределения электронной плотности в окрестности дефектов, непосредственно связанной с заполненностью поверхностных состояний, различающихся в окрестности дефектов плотностью распределения, размещения по...

Номер патента: 980802

Опубликовано: 15.12.1982

Авторы: Абаев, Крестинин, Лукьяненко, Попов, Рыжкова, Турунтаев, Штерн

МПК: B01J 8/04

Метки: аппарат, зернистого, контактный, неподвижным, слоем

...Гравитационные силы прижимают частицы кконическим стенкам, уплотняя их впериферийной области . В результатепороэность и проницаемость слоя выравнивается по поперечному сечениюаппарата, приближаясь к среднемузначению. При пропускании через такойслой газа скорости его по поперечному сечению распределяются равномерно,В аппаратах с отношением НЬ, боль шим 0,98 (с углами сужения меньшими20 ф)., выравнивание профиля скоростейне достигается, поскольку пороэностьслоя в них прктически не отличается,от пороэности в цилиндрических аппаратах. В аппаратах с Н(, меныдим0,94 (угол сужения, большим 40), скорости в пристеночной области, наоборот, снижаются за счет того, что зернистый материал здесь переуплотняетсяВ конических аппаратах, у...

Номер патента: 1790316

Опубликовано: 27.09.1995

Авторы: Ачкасов, Глазнев, Мещеряков

МПК: H01L 21/82

Метки: больших, интегральных, кмоп, структур, схем

...(2 - 15 с) оксида кремния необходимо проводить се- травление оксида кремния в контактных оклективно, получая на легированных донор нах, образование которого возможно при ной примесью активных областях и выполнении технологических операций (наполикремнии слой оксида кремния толщи- . пример, удаление фоторезиста), следующих ной около 0,3 мкм, а на легированных актив- за операцией травления изоляции второго ных областях - 0,05 - 0,08 мкм, чтобы уровня поликремния.Дополнительноетрэвисключить маскирование ионов бора при ление производят в травителе на основеплавиковой кислоты. Так как время травления мало, то ухудшения изолирующихсвойств межслойного диэлектрика практически не происходит,Формирование буферных областей второго уровня...

Номер патента: 138235

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Берлин, Буровой, Кузяк, Собчук, Ульянов

МПК: C01B 17/48

Метки: башенной, газа, кислоту, колчеданных, переработки, печей, подготовки, псевдоожиженным, серную, системе, слоем

...газа на входе в огарковый электрофильтр (порядка 430), и, одновременно, по;:учить необходимое количество горячего воздуха для разбавления2 - 13% -ного обеспыленного газа до содержания в нем сернистого ангидрида 8,5 - 9,0% перед первой башней. Применение горячего воздуха для разбавления газа позволяет вводить его в башенную систему с необходимой, достаточно высокой, температурой, Надежность работы печей на горячем воздушном дутье под слой с температурой воздуха 340 - 360 никаких осложнений в работе печи не вызывает,На чертеже представлена схема установки колчеданной печи с псевдоожиженным слоем для башенного сернокислотного производства с получением энергетического пара с давлением 40 ата и перегревом до 450.Обжиг осуществляют в типовой...