Способ изготовления тонкопленочных конденсаторов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 297326
Авторы: Гаштольд, Кутолин, Остаповский, Степанов, Тепман
Текст
(51) М. Кл. Н рисоединением заявк осударствениый комитет,света Министров СССР 3) Приорите 53) УДК 621.319.4.661.ата опубликования описания 08.04.7. Гашто таповскии,. Степано епма тпЩ ф т НДЕ НСАТОР онкопле- труктуру м материалом для н ок (400 меш.) нитрие азота 33,4 - 33,6/),пылени да алю ) квали И сходны жил порош содержан ции СПЧ Напылен давлении текла ма использоваслуния икае проводилось при10 -мм рт. ст. на и С-1. В качест ась танталовая лодо остаточном подложки из е испарителя0 Технологев выбира ного сопро от темпера Напыленалюминияпроводилос ростью ос тродов 30Напыле да алюми стная),(мин, то25 Предмет изобретения Способ изготовления тонкопленочных коенсаторов путем вакуумного напыления, о Известны способы изготовления т ночных конденсаторов, имеющих с металл-диэлектрик-металл,Однако при этих способах используются по крайней мере два материала: материал элек тродов и материал диэлектрического слоя, а также образуется резкая граница между не однородными материалами электродов и ди электрика. Это приводит к перерасходу мате риала и уменьшению пробивного напряже Цель изобретения - зкономия материала, увеличение пробивного напряжения и получение однородной границы металл-диэлектрик,Это достигается тем, что диэлектрическую пленку конденсатора и его электроды получают путем последовательного испарения нитридов переходных металлов при температурах испарения, С:исп= 1300 - 1350поп = 1750 - 2000Изобретение поясняется чертежом, на котором приведен общий вид и разрез узла тонкопленочных емкостных элементов, где: 1 - нижний электрод - нитрид алюминия с металлической гроводпмостью, 2 - диэлектрик - нитрид алюминия с высоким удельным сопротивлением, 3 - верхний электрод - нитрид алюми. ния с металлической проводимостью. Рабочая площадь составляет 4 м: Р,ические режимы изготовления слолись на основе зависимости удельтивления пленок нитрида алюминия туры испарения.ие электродов (пленка нитрида с металлической проводимостью) ь при 1750 С (яркостная), со скоождения 100 А (мин, толщина элек - 5000 А).ие диэлектрической пленки нитриия проводилось при 1300 С (яркосскоростью осаждения 0,5 - 1 Аошина пленки 1000 А,)297326 ледовательного испарения нитридов переходных металлов при температурах испарения, О(1 исп= 1300 - 13503 крисп = 1750 - 2000 сЬЪ фл с: л сгз Составит. Мерман Ми онова Редактор Н, Караваиская Техред Т р Корректоры: Е. Мохов и 3. ТарасовПодписноСССР Изд,432Государственного комитет по делам изобретений Москва, Ж.35, Раушска Заказ 826/1ЦНИИ ографня, пр. Сапунова,л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью экономии материала, увеличения пробивного напряжения и получения однородной границы металл- диэлектрик, диэлектрическую пленку конденсатора и его электроды получают путем пос,3
СмотретьЗаявка
1247294, 08.05.1968
ГАШТОЛЬД В. Н, КУТОЛИН С. А, ОСТАПОВСКИЙ Л. М, СТЕПАНОВ И. В, ТЕПМАН Г. П
МПК / Метки
МПК: H01G 13/00
Метки: конденсаторов, тонкопленочных
Опубликовано: 05.02.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-297326-sposob-izgotovleniya-tonkoplenochnykh-kondensatorov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления тонкопленочных конденсаторов</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления прессформ
Следующий патент: Разъединитель для распределительных устройств высокого напряжения
Случайный патент: Способ получения угольных волокон