Способ изготовления эмиттера типа металл-диэлектрик-металл

Номер патента: 641890

Авторы: "пьер, Даниель, Жак, Клод

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е (п 64189 ОИЗОБРЕТЕН ИЯ Соеоз Советских Соцеталмстммеоеа Республик) Заявлено 29.02,74(21) 1995635/18-25 л,3) Приорнте 1) 7303212 01.7 Н 01 У 9/О Н 01 У 1/3 юсударстееиный комитет СССР ео делам изобретений и открытий,79.Бюллетень1 ликования описания 08.01. ата о ос 72) Авторы изобретен си ньон,Жак Эмиль Д вниепь а, Пьер Лакаэ, Дд ле Грессюс(Франция)Иностранная фирмаа иЭнержи Атомик) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭМИТТЕРА ТИПА МЕТАЛЛ- -ДИЭЛЕКТРИК-МЕТАЛЛ к области эпекбыть использоиттеров эпектроение е р, Раствор содержит оррвстворитепь - гексаме=Изобретение относитсятронной техники и можетвано при изготовлении эмвакуумных приборов,Известны способь 1 изготовления эмиттеров, содержащих диэлектрический слой,расположенный между двумя металлическими слоями 11). Диэлектрический слойобычно изготавливается из окисных пленок, например А 8 еО ипи Ве О, Такиеэмиттеры получают путем электропитичеокого осаждения на металлическую подложку слоя диэлектрика 21,Указанный способ трудно реализоватьпри формировании слоев диэлектрика набольшой площади подложки,Цель изобретения - упрощение технологии получения слоя диэлектрика,Поставленная цель достигается тем,что готовят раствор из органическогорастворителя (гексаметилфосфоротриамидаи тетрагидрофурана) и электролита-перхлората щелочного металле, погружаютв этот раствор металлическую подложку,подают нв нее отрицательное напряжи проводят осаждение метвллоорганического соединения,Отрицательное напряжение соответствует напряжению разряда катионов растворра или напряжению пассивации подложки,Для осуществления способа достаточно приготовить раствор, образованныйорганическим растворителем, в которомщ растворен электролит, погрузить в этотраствор проводящую подложку и .податьна эту подложку отрицательный потенциал, что вызовет электрохимическую реакцию, в результате которой произойдети) осаждение слоя нв подложку, Этот спо.";.не будучи окислом,.как в известных спс собах, является диэлектрическим, Сцепление диэлектрического слоя с подложкойочень хорощее и превосходит сцепление20 известных окислов с соответствующимиподложками,

Смотреть

Заявка

1995635, 28.02.1974

Иностранцы.; ", Жак Эмиль Дюбуа, Пьер Лаказ, Даниель Массиньон, и Клод ле Г)ессюс•, г, Иностранная фирма, 'Комиссариат а л'Энержи Атомик', """•"

ЖАК ЭМИЛЬ ДЮБУА, ПЬЕР ЛАКАЗ, ДАНИЕЛЬ МАССИНЬОН, КЛОД ЛЕ ГРЕССЮС

МПК / Метки

МПК: H01J 1/312, H01J 9/02

Метки: металл-диэлектрик-металл, типа, эмиттера

Опубликовано: 05.01.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-641890-sposob-izgotovleniya-ehmittera-tipa-metall-diehlektrik-metall.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления эмиттера типа металл-диэлектрик-металл</a>

Похожие патенты