Способ матирования поверхности кварца
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
263045 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сеюз Советских Сонивлиоуичвоких РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 22 Л 11.1968 (М 1226971/26-25) Кл. 21 д, 11/02 оединением заявк Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров СССР.11.1970, Бюллет ния описания 9 Л уб пиковано ауа опублик 970 Авторыизобретени Н. Т. Васина, Б. Е. Раснецова и лмакова, ;аявитель Ьй 6., " ПОВЕРХНОСТИ КВА ПОСОБ МАТИРОВ оэлектричвыхода го 180 г фторид калияазотная кислота 70%-на2-й раствор Изобретение относится к способам обработки поверхности кварца, используемого в радиоэлектронной промышленности при изготовлении пленочных фотоэлектрических лучеприемников.Кварц матируют с целью получения широкоразвитой поверхности для увеличения прочности сцепления с подложкой контактного металлического покрытия.Матировапие поверхности кварца производят путем пескоструйной обработки, при этом на матиров анной поверхности образуются микротрещины, и большое количество пластин бракуется вследствие сквозного пробоя. Процесс обработки трудно регулируется, нетехнологичен и вреден для здоровья.Стекла типа С-1 по составу матируются химическим путем при помощи плавиковой кислоты и щелочно-фтористых солей.Однако растворы, рекомендуемые для матирования стекла, непригодны для матирования кварца, ввиду неравномерности, точечности матирования и наличия большого числа непроматированных участков.Целью изобретения является получение стабильной равномерно матированной по всему полю поверхности с определенным классом чистоты, исключение образования микротрещин на матированной поверхности кварца, устрансние микрошумов и повышение порога чувствительности пленочных фот еских лучеприемников, увеличение д ных изделий,Сущность изобретения заключается в обработке подлежащей матированию поверхности кварца в смеси двух насыщенных растворов следующих составов:1-й раствор фторид аммония 120 г азотная кислота 70% -ная 100 илРаствор для матирования поверхности квар ца приготовляют путем смешения насыщенныхрастворов в соотношении 1: 1,2, Оптимальное время травления и число обработок определяются в каждом случае в зависимости от требуемого класса чистоты, Лучшие результаты 20 дает двухразовая обработка по 10 мин с промежуточной промывкой и сушкой,Описываемый способ матирования полированной поверхности кварца (14-го класса чистоты) обеспечивает стабильное, равномерное 25 по всей площадки получепие матированной поверхности 8 - 10-го классов чистоты. Предмет изооретения Способ матирования поверхности кварца о путем химической обработки, отличающийся263045 Составитель А, С. ТомсонРедактор Т. 3. Орловская Тсхрсд Л. В. Куклина Корректор А. А. Березуева Заказ 33, Тираж 51) Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва Ж, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 тем, что, с целью повышения равномерности матирования поверхности пластин, матирование производят в смеси насыщенных растворов фторида калия в азотной кислоте и фторида аммония в азотной кислоте, взятых в соотношении 1: 1,2.
СмотретьЗаявка
1226971
Н. Т. Васина, Б. Е. Раснецова, Г. Я. Колмакова
МПК / Метки
МПК: H01L 21/465
Метки: кварца, матирования, поверхности
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-263045-sposob-matirovaniya-poverkhnosti-kvarca.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ матирования поверхности кварца</a>
Предыдущий патент: Высокочастотный туннельный диод
Следующий патент: Автомат для сборки ножки полупроводниковыхприборов
Случайный патент: Бункерная установка