Раствор для матирования поверхности кварца

Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 61) Дополнительное к авт. свид-ву М Кл. Н 01 7,0 2) Заявлено 03,05,72 ( 8066 рисоединением заяв Совета Министров СССРло делам изобретенийи открытий(53) УДК 621,382(08 летеньОпубликован 0,01.75, Б Дата опубликования описания 04.03(72) Авторы изобретен Б. Е, Раснецова асина и Т,лмаков 1) Заявител РАСТВОР ДЛЯ МАТИРОВАН ПОВЕРХНОСТИ КВАРЦАЭто достигается сыщенных фторис аммония в солян ионы Н+, необхо цем, и взятой в оп использованием смес того калия и фтори ой кислоте, поставля димые для реакции с ределенном соотношен натого щей варблада зисто мио и ова слеосударственный комитет (23) Приорит Изобретение относится к веществам, используемым в технологии изготовления приборов электронной техники, а именно пленочных фотоэлектрических лучеприемников и других изделий с кварцевыми подложками, 5Известен раствор для матирования кварца, состоящий из смеси насыщенных растворов фторидов в азотной кислоте. При обработке известным раствором получают стабильно матированную по всему полю поверхность квар ца с определенным классом чистоты (8 - 10), Полученная при этом развитая поверхность обеспечивает увеличение прочности сцепления с подложкой контактного металлического покрытия и в основном удовлетворяет специфи ческим требованиям, предъявляемым к качеству фотоэлектрических лучеприемников. Однако относительная шероховатость (до 0,54 мкм) поверхности и ее неоднородность способствуют ухудшению электрических пара метров тонкопленочных контактов.Предлагаемый раствор позволяет обеспечить получение кварцевого микрорельефа разнообразной топологии с четким и ровным краем на границе матированных и нематиро ванных участков, получение однородной матированной поверхности кварца с повышенным классом чистоты (10 - 12), увеличение выхода годных изделий по фотоэлектрическим т 1 араметрам, 30 Предлагаемыи раствор, не о я разрушительным действием на фоторе р, позволяет получить штрихи до 0,03 м беспечивает высокую однородность мат р иной поверхности.Раствор для матирования приготовляют дующим образом.Концентрированную (35 - 377 о-ную) соляную кислоту разбавляют водой в два раза и заливают в два сосуда (фторопластовые стаканы) по 100 - 120 мл. Небольшими порциями при помешивании в один сосуд добавляют 90 - 100 г фтористого калия и в другой 180 - 200 г фтористого аммония, далее содержимое обоих сосудов сливают, получая насыщенный раствор фторидов с большим количеством извести, равномерно распределенной по объему жидкости.После выстаивания в течение 1 - 1,5 час приготовленный раствор готов к работе.Порядок операции при технологическом процессе получения матированного кварцевого микрорельефа с использованием предлагаемого раствора следующий;458904 Предмет изобретения Составитель О. Федькина Техред Г. ДворинаКорректор Т, Хворова Редактор И. Орлова Заказ 5139 Изд.1063 Тираж 833 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 нанесение копировального фоторезистивного слоя;первая термообработка копировального слоя;экспонирование копировального слоя;проявление;вторая термообработка;химическое матирование (травление) не защищенных фоторезистом участков кварцевой поверхности;промывка и сушка;удаление фоторезистора, промывка.Пластину кварца с защитным фоторезистивным рельефом определенной конфигурации погружают в раствор для матирования и выдерживают в течение 20 - 30 мин до образования равномерной матированной поверхности незащищенных участков.Для создания защитного фоторезистивного рельефа могут быть использованы различные позитивные фоторезисты (новолачные, обладающие высокой кислотостойкостью, и резольные, имеющие меньшую кислотостойкость, но лучшую адгезию к поверхности кварца). Раствор для матирования поверхности квар ца в смеси насыщенных кислотных растворовфторида калия и фторида аммония, о т л и ч аю щи й с я тем, что, с целью осуществления прецизионного избирательного матирования, в него введена 36 в 3 -ная соляная кислота, а 15 компоненты взяты в следующем соотношении, г:Соляная кислота 100 - 117 Фтористь 1 й аммоний 180 - 200 1 Фтористый калий 90 - 100 20 Вода 100 в 1,