Номер патента: 197039

Автор: Сто

ZIP архив

Текст

19 УО 39 Согсз Советских Ссииалистикеских Республик.:гтм)ф 1,1 4т О - : Ъ14,а, ;53 оЛЙ 0 г Е 1 г Зависимое от авт. свидетельстваКл, 21 д, 37/10 аявлспо 05,111,1966 (Лоо 1060387/26-25) с присоединением заявкиКомитет по делам изобретений и открыти при Сосете Министров СССРМПК Н 011УДК 621.385.833.2(088 нор иге Опубликовано 31.Ч,1967, Бюллетень12 Дата опубликования описания 2.И 11,1967 Лвторизобрете П. А, Стояно Заявитель СВЕТИТЕЛЬИА ТЕМА ЭЛЕКТРО 11 НОГО МИКРОСКО 11 мет изобретени.1Известны осветительные системы электронных микроскопов, содержащие электроиную пушку, короткофокусный и длиннофокусный конденсоры и четыре пары электромагнитных катушек, расположенных последовательно, из которых две пары предназначены для наклона электронного пучка в радиальной плоскости, а две другие - для наклона пучка,в плос. кости, перпендикулярной первой.В предлагаемой осветительной системе длинпофокусный конденсор выполнен в виде двухщелевой магнитной линзы, позволяющей поворачивать плоскость наклона пучка электронов без изменения фокусного расстояния линзы. Зто позволяет упростить конструкцию системы.Кроме того двухщелевая линза содержит две раздельные обмотки,На чертеже изобр а жена схем а предлагае. мой осветительной системы.Наклон электронного пучка в радиальной плоскости производится одной или двумя парами магнитных отклоняющих систем 1 и 2. Двухщелевая магнитная линза 8 расположена между первым и вторым конденсором, а в случае осветительной системы с одним конденсором - между ним и электронной пушкой. Линза содержит две раздельные обмотки.При изменении тока в одной обмотке по закону сии са я в другой - по закону косинуса происходит вращение плоскости наклона пучка, а фокусное расстояние линзы сохраняетсяпостоянным. Однако при юстировке иеобязательгго строгое соблюдение постоянства фокусного расстояния, так как небольшая дефокусировка при изменении угла легко можетбыть скорректирована. Поэтому функциивгпсс и сов я можно аппроксимировать болееудобными для практической реализации функ 1 О циями, содержащими в своем разложении вряд Фурье первую гармонику с достаточнобольшой амплитудой по сравнению с амплитудами остальных гармоник. Такова, например,пилообразная кривая.15Поскольку предлагаемая система работаетв режиме юстировки и углы наклона пучка невелики, то влияние аберраций конденсора наэлектронный пучок незначительно,20 1, Осветительная система электронного мн кроскопа, содержашая электронную пушку,короткофокусный и длиннофокусный конденсоры и магнитные отклоняющие системы, предназначенные для изменения угла наклона электронного пучка, от,гггчагогггаяся тем, что, с 0 целью упрощения конструкции, длиниофокусЗаказ 2178/3 Тираж 535 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 ографи апунова,ный конденсор выполнен в виде двухщелевоймагнитной линзы, позволяющей поворачиватьплоскость наклона пучка электронов без изменения фокусного расстояния линзы. 2, Осветительная система электронного микроскопа по п. 1, отличающаяся тем, что двухщелевая магнитная линза содержит две раздельные обмогки,

Смотреть

Заявка

1060387

П. А. Сто нов

МПК / Метки

МПК: H01J 37/26

Метки: 197039

Опубликовано: 01.01.1967

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-197039-197039.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">197039</a>

Похожие патенты