Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Соез Советскик Социалистическик Республик(22) Заявлено 29,03,78(21) 2597186/18-25с присоединениеи заявки Йо(51)М. Кл. Н 01 ,7 37/26 Гоеударствениый комитет СССР чо делам изобретеиий и открытий(71) ЭдяВИТЕЛЬ Институт физики твердого тела АН СССР( 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕИзобретение относится к электронной микроскопии, в частности к устройствам для отклонения электронного пучка в осветительных системах электронных микроскопов.Известны устройства для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, которые снабжены достаточно сложными системами юстировкиНаиболее близко к предлагаемому устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, содержащее камеру объектов, в которой размещены два соосных с главной оптической осью микроскопа и жестко связанных отклоняющих кольца, вспомогательную камеру с клапаном и механизм перемещения клапана 2,Однако, наличие в устройстве двух раздельных механизмов для перемещения клапана вспомогательной камеры и перемещения и вращения отклоняющих колец усложняет его конструкцию и увеличивает габаритные размеры. Кроме того, при смене объекта требуется дополнительная юстировка устройства, что усложняет его эксплуатацию. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства и его эксплуатации за счет исключения юстировкипри смене объекта,Указанная цель достигается тем,что отклоняющие кольца жестко связаны с клапаном,На чертеже изображена конструктивная схема устройства.Отклоняющие кольца 1 и 2, установленные на клапане 3 вспомогательной камеры 4, соосно съюстированымежду собой с помощью втулки 5 игайки б, Клапан 3 жестко связан смеханизмом его перемещения 7, который может перемещаться при вращенииручки 8 относительно корпуса 9 устройства. Устройство расположено в20камере объектов 10 микроскопа между конденсорной 11 и объективной12 линзами. Объектодержатель 13устанавливают в рабочее положение спомощью штока 14. На отклоняющихкольцах 1 и 2 имеются две пары обомоток, сдвинутых на 90 , для отклонения электронного пучка в двухвзаимно перпеидикулярных направлениях. Кроме того, на кольце 1 име 30 ют с я две корректирующи х обмотки .Формула изобретения Составитель В.Гаврюшин Редактор Б.Федотов Техред М.Келемеш Корректор Т,СкворцоваЗаказ 5301/49 Тираж 923 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, А(-35, Раушская наб.,д.4/5Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 Устройство работает следующим образом, Электронный пучок, проходя вдоль оптической оси микроскопа, отклоняется на определенный угол обмотками кольца 1, а затем обмотками кольца 2 - в противоположном направлении. Соотношения токов и обмотках таковы, что пересечение электронного пучка и исследуемым участком объекта происходит на оптической осн микроскопа.При смене объекта клапан 3 переводят вращением ручки 8 влево до такого пОложения, при котором объектодержатель 13 может быть вынут с помощью штока 14 и помещен во вспомогательную камеру 4, после чего клапан 3 вновь переводят в рабочее положение. В этом положении вспомогательная камера 4 может быть заполнена воздухом, и объектодержатель можно вынуть из микроскопа. Описанное устройство имеет простую конструкцию, так как в ней отсутствует механизм перемещения и вращения колец. Это позволяет исключить операцию юстировки при смене объекта,что упрощает в целом эксплуатациюэлектронного микроскопа,Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе,содержащее камеру объектов, в которой размещены два соосных с главнойоптической осью микроскопа и жесткосвязанных отклоняющих кольца, вспомогательную камеру с клапаном и механизм перемещения клапана, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюупрощения его конструкции и эксплуатации за счет исключения юстиронкипри смене объекта, отклоняющие кольца жестко связаны с клапаном,Источники информации, принятые2 О во внимание при экспертизе1. Пнлянкевич А.Н Климовицкий А.И.Электронные микроскопы, Киев,Техника, 1976, с.71.2 . Патент Японии 9 2 3307,25 кл. 99031, опублик. 19 б 8.
СмотретьЗаявка
2597186, 29.03.1978
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА АН СССР
КАЗЬМИРУК ВЯЧЕСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ, МЫШЛЯЕВ МИХАИЛ МИХАЙЛОВИЧ, ФЕДОРОВ АНАТОЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: микроскопе, отклонения, пучка, электронного, электронном
Опубликовано: 05.09.1979
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-684649-ustrojjstvo-dlya-otkloneniya-ehlektronnogo-puchka-v-ehlektronnom-mikroskope.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе</a>
Предыдущий патент: Колонна электронного микроскопа
Следующий патент: Колбовая лампа дневного света
Случайный патент: Устройство для высверливания и заделки сучков