Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Соез Советскик Социалистическик Республик(22) Заявлено 29,03,78(21) 2597186/18-25с присоединениеи заявки Йо(51)М. Кл. Н 01 ,7 37/26 Гоеударствениый комитет СССР чо делам изобретеиий и открытий(71) ЭдяВИТЕЛЬ Институт физики твердого тела АН СССР( 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕИзобретение относится к электронной микроскопии, в частности к устройствам для отклонения электронного пучка в осветительных системах электронных микроскопов.Известны устройства для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, которые снабжены достаточно сложными системами юстировкиНаиболее близко к предлагаемому устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе, содержащее камеру объектов, в которой размещены два соосных с главной оптической осью микроскопа и жестко связанных отклоняющих кольца, вспомогательную камеру с клапаном и механизм перемещения клапана 2,Однако, наличие в устройстве двух раздельных механизмов для перемещения клапана вспомогательной камеры и перемещения и вращения отклоняющих колец усложняет его конструкцию и увеличивает габаритные размеры. Кроме того, при смене объекта требуется дополнительная юстировка устройства, что усложняет его эксплуатацию. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства и его эксплуатации за счет исключения юстировкипри смене объекта,Указанная цель достигается тем,что отклоняющие кольца жестко связаны с клапаном,На чертеже изображена конструктивная схема устройства.Отклоняющие кольца 1 и 2, установленные на клапане 3 вспомогательной камеры 4, соосно съюстированымежду собой с помощью втулки 5 игайки б, Клапан 3 жестко связан смеханизмом его перемещения 7, который может перемещаться при вращенииручки 8 относительно корпуса 9 устройства. Устройство расположено в20камере объектов 10 микроскопа между конденсорной 11 и объективной12 линзами. Объектодержатель 13устанавливают в рабочее положение спомощью штока 14. На отклоняющихкольцах 1 и 2 имеются две пары обомоток, сдвинутых на 90 , для отклонения электронного пучка в двухвзаимно перпеидикулярных направлениях. Кроме того, на кольце 1 име 30 ют с я две корректирующи х обмотки .Формула изобретения Составитель В.Гаврюшин Редактор Б.Федотов Техред М.Келемеш Корректор Т,СкворцоваЗаказ 5301/49 Тираж 923 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, А(-35, Раушская наб.,д.4/5Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 Устройство работает следующим образом, Электронный пучок, проходя вдоль оптической оси микроскопа, отклоняется на определенный угол обмотками кольца 1, а затем обмотками кольца 2 - в противоположном направлении. Соотношения токов и обмотках таковы, что пересечение электронного пучка и исследуемым участком объекта происходит на оптической осн микроскопа.При смене объекта клапан 3 переводят вращением ручки 8 влево до такого пОложения, при котором объектодержатель 13 может быть вынут с помощью штока 14 и помещен во вспомогательную камеру 4, после чего клапан 3 вновь переводят в рабочее положение. В этом положении вспомогательная камера 4 может быть заполнена воздухом, и объектодержатель можно вынуть из микроскопа. Описанное устройство имеет простую конструкцию, так как в ней отсутствует механизм перемещения и вращения колец. Это позволяет исключить операцию юстировки при смене объекта,что упрощает в целом эксплуатациюэлектронного микроскопа,Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе,содержащее камеру объектов, в которой размещены два соосных с главнойоптической осью микроскопа и жесткосвязанных отклоняющих кольца, вспомогательную камеру с клапаном и механизм перемещения клапана, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюупрощения его конструкции и эксплуатации за счет исключения юстиронкипри смене объекта, отклоняющие кольца жестко связаны с клапаном,Источники информации, принятые2 О во внимание при экспертизе1. Пнлянкевич А.Н Климовицкий А.И.Электронные микроскопы, Киев,Техника, 1976, с.71.2 . Патент Японии 9 2 3307,25 кл. 99031, опублик. 19 б 8.
СмотретьЗаявка
2597186, 29.03.1978
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА АН СССР
КАЗЬМИРУК ВЯЧЕСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ, МЫШЛЯЕВ МИХАИЛ МИХАЙЛОВИЧ, ФЕДОРОВ АНАТОЛИЙ СЕРГЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/26
Метки: микроскопе, отклонения, пучка, электронного, электронном
Опубликовано: 05.09.1979
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-684649-ustrojjstvo-dlya-otkloneniya-ehlektronnogo-puchka-v-ehlektronnom-mikroskope.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для отклонения электронного пучка в электронном микроскопе</a>
Способ визуализации стыка и шва при сварке электронным пучком и устройство для его осуществления
Номер патента: 1496960
Опубликовано: 30.07.1989
Авторы: Денбновецкий, Ланбин, Лещишин, Михайлов, Назаренко, Рыбак, Терлецкий, Шаповал
МПК: B23K 15/00
Метки: визуализации, пучком, сварке, стыка, шва, электронным
...работой .Формирователя 21, вырабатывающего в соответствии с опорной частотой тактовые импульсы Етдля формирователя 12 адресов элементов памяти, импульсы записи Еь . для блока 13 памяти и импульсы квантования Е для аналого-цифрового преобразователя 14. Блок 12 формирования адресов элементов памяти реализуется на цифровых ин тегральных счетчиках типа К 531 ИЕ 17.Устройство для визуализации стыка и шва при сварке электронным пучком работает с периодическим прерыванием процесса Формирования сварного шва на время растрового зондирования рабочего участка стыка свариваемых деталей. Алгоритм работы устройства задает блок 11 формирования временных интервалов, Перед сваркой электроннолучевую пушку 2 устанавливают над стыком свариваемых деталей...
Способ управления электронным пучком в телемеханическом устройстве
Номер патента: 48687
Опубликовано: 31.08.1936
Автор: Гончарский
МПК: G09G 1/00
Метки: пучком, телемеханическом, устройстве, электронным
...анодом.Параллельно отклоняющим пластинам 1 и 2 включена емкость С, шунтированная сопротивлением Я. Вследствие этого, пока электронный пучок замкнуг на экран, потенциал пластиныотносительно анода падает и электронный пучок движется по направлению, показанному стрелкой.Как только электронный пучок достигнет контакта, скорость его начнет падать вследствие того, что электронный пучок начинает замыкать, кроме. экрана, также и контакт. Чем больше пучок перемещается на контакт, тем меньше становится ток, проходящий на экран, и тем меньше скорость пучка, пока, наконец, движение последнего не прекратится за счет того, что ток, проходящий на экран, уравновесится с током утечки.Для того, чтобы движение электронного пучка возобновилось, на...
Фокусирующе-отклоняющая система устройства для электронно лучевой литографии
Номер патента: 1127023
Опубликовано: 30.11.1984
МПК: H01J 37/147
Метки: литографии, лучевой, устройства, фокусирующе-отклоняющая, электронно
...фокусирующей линзы,ускоряющее напряжение=0,45-0,55При этом коэффициент пропорциональности 1 зависит от соотношениягеометрических параметров линзы, определяющих распределение индукции фокусирующего поля вдоль оси системы, а также длину и местоположение дефлектрона в канале линзы, Местоположение и длина дефлектрона выбираются так, чтобы в области отклонения электронного пучка фокусирующее поле было в достаточной степени однородно. Эксплуатационный параметр лцнзы 31- является константой для электрон- Юно-оптической системы, положение объекта и изображения которрй постоянно, Величина этой константы определяется геометрией канала фокусирующей линзы.На фиг.1 показана ФОС, общий вид, на фиг,2 - дефлектрон, поперечный разрез, на фиг,З -...
Устройство для электронно-лучевой сварки
Номер патента: 1609582
Опубликовано: 30.11.1990
Авторы: Кайдалов, Пастушенко, Стрекаль, Ташлай
МПК: B23K 15/00
Метки: сварки, электронно-лучевой
...и ток электронного пучка увеличивается в соответствии с постоянной времени энергоблока и эмиссионнойспособностью катода. Длительность импульга формирователя 15 импульсов выбирается такой, что за время воздействияпучка повышенной мощности на изделие невозникает повреждения изделия 5. Для увеличения диапазона изменений тока пучкапри диагностике без повреждения изделияможно испольэовать одновременное откло. нение пучка нэ сваренный стык или расфокусировку пучка,На фиг. 2 представлены две зависимости, характеризующие различные эмиссионные способности катода пушки, Взависимости от режима работы энергоблокаформируются импульсы длительностьюЛ 11, в начале и конце которых фиксируетсяток пучка и определяется разность токовЛ 1, причем,...
Плазмохимический реактор с электронным пучком
Номер патента: 812148
Опубликовано: 23.11.1982
Авторы: Атаманов, Буравцев, Иванов, Красанов, Левадный, Логунов, Митин, Наседкин, Перышкин, Сатаров, Шапкин
МПК: H05H 1/00
Метки: плазмохимический, пучком, реактор, электронным
...магнитного поля, диафрагмы дифференциФальной откачки электронной пунпси, устройство.для установки обрабатываемых деталей,электронная пушка выполнена формирующейтрубчатый пучок электронов, а устройство напус 20ка газа расположено на оси электронной пушки,коаксиально с устройством для установки обрабатываемых деталей, а диафрагмы дифференциальной откачки выполнены в виде кольцевыхщелей, повторяющих форму поперечного сечениямиэлектронного пучка.При этом весь поток рабочего газа проходитчерез зону разряда трубчатой формы и обтекание невозможноНа чертеже схематично изображен плазмохи- З 0мический реактор с электронным пучком.Плазмохимический реактор содержит реакционную камеру 1, На фланце реакционнойкамеры 1 смонтированы устройство 2...
Предыдущий патент: Колонна электронного микроскопа
Следующий патент: Колбовая лампа дневного света
Случайный патент: Устройство для автоматического выбора диапазона измерений