Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой

(9 5 Н 05 К 3/14 ПИСА ЕНИ АВТОРСКОМУ С ЬСТВУ 15итут электронной тех.И,Черный, Скаятельство ССС К 3/14, 1987.(57) Изобретение отскому оборудован ДЛЯ СОВМЕЩЕН ЛИЧЕСКОЙ МАС Ф ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНВЕДОМСТВО СССРГОСПАТЕНТ СССР)(56) Авторское свидч. 1549468, кл. Н 05 носится к технологиче ию микроэлектронно промышленности и может быть использовано и ри изготовлении монокристалльных модулей на БИС. Цель изобретения упрощение конструкции и повышение технологичности ее изготовления, Устройство содержит основание 14 со стойками, микроскоп 1 с системой освещения, манипулятор совмещения, прозрачный держатель 8 подложки, выполненный в виде пазов стоек основания, в котором установлены направляющие 9 для осевого перемещения съемного постоянного магнита 10, закреп ленного на носителе 11 с базирующими отверстиями, выполненном из немагнитного материала. 1 ил,10 20 25 30 35 40 50 55 Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной промышленности и может быть использовано при изготовлении многокристалльных модулей на БИС.Целью изобретения является повышение технологичности изготовления,Изобретение поясняется чертежом, на котором представлен общий вид устройства, где 1 - микроскоп, 2 - прозрачный держатель маски, 3 - направляющие" держателя маски, 4 - микровинт, 5 - верх ний постоянный магнит, 6 - металлическая маска, 7 - подложка, 8 - держатель подложки, 9 - направляющие неметаллического носителя маски, 10 - нижний постоянный магнит, 11 - неметаллический носитель маг нита, 12 - ручка, 13 - плита, 14 - основаниеустройства, 15 - пластина.Устройство работает следующим образом: на направляющие 9, запрессованные в основание держателя подложки 8, устанавливается носитель 11 из немагнитного материала, с закрепленным по торцам постоянным магнитом 10. На стойки держателя подложки 8 устанавливается подложка 7; Металлическая маска 6 крепится к прозрачному держателю маски 2 магнитом 5, Держатель маски устанавливается на направляющие 3 и регулируется по высоте микровинтом 4.После совмещения, в плане, по реперным знакам металлической маски и подложки с помощью микроскопа 1 и манипулятора совмещения, осуществляется подъем магнита 10 на подвижном носителе эа ручки 12 до полного совмещения магнита с подложкой и маской, Далее снимается магнит 5 идержатель 2 с направляющих 3,Подвижный носитель с магнитом, подложкой и маской передается за ручки на следующие операции или на межоперационное хранение.Пример конкретного выполнения,Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой выполнено для металлической маски 6 с размерами,мм 48 х 60 х 0,5 и алюминиевой подложки с полиимидной изоляцией 7 с размерами, мм 48 х 60 х 1,0.Устройство состойт иэ микроскопа 1 с системой освещения, манипулятора совмещения, соединенного с подвижной плитой 13, имеющей отверстиеф 37 мм, в котором и размещена механическая часть устройства совмещения, На плите расположена металлическая пластина 15 со штифтовыми на-правляющими 3, по которым в осевом направлении перемещается держатель маски 2, с расположенным на нем постоянным 54 агнитом 5 с размерами, мм 48 х 60 х 5,5, удерживающим под прозрачной пластиной из оргстекла, толщиной 1,5 мм, металлическую маску 6. На основании устройства 14 установлен держатель подложки 8 со штифтовыми направляющими 9, на которые установлен носитель 11 с постоянным магнитом 10, Носитель магнита ограничивает доступ к совмещенным маске, подложке, магнитуи за ручки 12 позволяет их перемещать в любом другом направлении,Таким образом, устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой, по сравнению с прототипом, использует технологичные детали в своей конструкции, которая позволяет сохранять, совмещенные металлическую маску с подложкой, не использует специальные постоянные магниты и вакуумную систему, что в совокупности существенно повышает технологичность изготовления при обеспечении совмещения и фиксации металлической маски, подложки на постоянном магните, закрепленнОм на немагнитном носителе для перемещения,Формула изобретения Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой, содержащее основание с направляющими в виде стержней, держатель маски с постоянным магнитом, держатель подложки, съемный постоянный магнит, установленный на основании под держателем подложки с возможностью перемещения, по направляющим основания в плоскости, перпендикулярной рабочей поверхности держателя подложки, микроскоп с системой освещения и манипулятор совмещения, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения технологичности ее изготовления, оно снабжено носителем съемного постоянного магнита с базирующими отверстиями, размещенными с возможностью взаимодействия с направляющими основания, выполненным из не- магнитного материала, основание снабжено стойками, а держатель подложки выполнен в виде гнезда, образованного пазами, выполненными в стойках основания,