Томащенко

Номер патента: 1811041

Опубликовано: 23.04.1993

Авторы: Коледов, Патрацкая, Томащенко, Черный

МПК: H05K 3/14

Метки: маски, металлической, подложкой, совмещения, фиксации

...с помощью микроскопа 1 и манипулятора совмещения, осуществляется подъем магнита 10 на подвижном носителе эа ручки 12 до полного совмещения магнита с подложкой и маской, Далее снимается магнит 5 идержатель 2 с направляющих 3,Подвижный носитель с магнитом, подложкой и маской передается за ручки на следующие операции или на межоперационное хранение.Пример конкретного выполнения,Устройство для совмещения и фиксации металлической маски с подложкой выполнено для металлической маски 6 с размерами,мм 48 х 60 х 0,5 и алюминиевой подложки с полиимидной изоляцией 7 с размерами, мм 48 х 60 х 1,0.Устройство состойт иэ микроскопа 1 с системой освещения, манипулятора совмещения, соединенного с подвижной плитой 13, имеющей отверстиеф 37 мм, в...