Термопечатающее устройство

(51) ГОСУДАРСТВЕННЬПО ИЗОБРЕТЕНИЯПРИ ГКНТ СССР КОМИТЕТИ ОТКРЫТИ ОПИ ИЕ ИЗОБРЕТЕНИ г АВТ(56) ТермопечаПИЖМ 430413,(57) Изобретение относится к устройствам термопечати, может быть использовано при создании термопечатающих головок в устройствах отображения графической и буквенной информации периферийной аппаратуры и позволяет повысить срок службы устройства и качество термопечати за счет выполнения защитного слоя иэ набора пленок тантала, нитрида алюминия и пятиокиси тантала, при этом резистивный слой выполнен на основе пленкилегированного поликристаллического кремния,1 з.п.флы,1 ил,М 16 ское объе научно-проиэнение "АванН.,Свиридович анов,тающее001. роиство. Черт на основе пле Щ 0,5-1 мкм.Работа устройства заключается в следующем.Из внешней схемы управления на термопечатающее устройство в определенное время и на соответствующие выводы проводникового слоя 3 подаются импульсы напряжения, Под воздействием этих импульсов область резистивного слоя 2, на поверхности которой отсутствует проводниковый слой 3, нагревается до 250.300 С.К рабочей поверхности термопечатающего устройства механически прижимается термочувствительная бумага, на которой нагретые резисторы резистивного слоя 2 оставляют ют отпечаток. Совокуп ности отпечатков образуют текст информации или графическое изображение.Предлагаемое устройство изготавливают следующим образом.-32, являнием, меи низкОм нку полидом ионНа ситалловую платующуюся диэлектрическтодом разложения мондавлении и Т=650 С осакристаллического крем марки С м основ с илана ждают и ия име ОМУ СВИДЕТЕЛ ЬСТВ(54) ТЕРМОПЕЧАТАЮЩЕЕ УСТРОЙС Изобретение относится к устройствам функциональной электроники, в частности к устройствам термопечати, и может быть использовано при изготовлении термопечатающих головок в устройствах отображения графической и буквенной информации периферийной аппаратуры.Целью изобретения является повышение долговечности и качества печати,На чертеже схематически представлено устройство, разрез.Термопечатающее устройство содер. жит ситалловое основание 1, на поверхность которого сплошной пленкой нанесен резистивный слой легированного поликристаллического кремния 2 толщиной 0,3-1 мкм и удельным поверхностным сопротивлением 10;1000 Омно,Поверх резистивного слоя расположен проводниковый слой 3, выполненный, например, из пленки алюминия толщиной 0,3- 1 мкм, Внутренняя пленка защитного слоя выполнена из чередующихся слоев нитрида алюминия 4 и пятиокиси тантала 5. Толщина пленок нитрида алюминия составляет 1-10 мкм, а пятиокиси тантала 0,2-1 мкм. Внешняя пленка защитного слоя выполнена нки тантала 6 тол инойТираж Подписноерственного комитета по изобретениям и открыти 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 ГКНТ СС роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 10 ной имплантации (ИИ) осуществляют ее легирование сурьмой.Температура активации после ионной имплантации (ИИ) 900 С. Удельное поверхностное сопротивление пленок было 100 Ом/, Затем методом фотолитографии формировали рисунок резистивного слоя и вакуумным напылением с последующей фотолитографией формировали проводниковую пленку алюминия толщиной 0,5 мкм. Затем методом ионна-плазменного напыления через металлическую маску формировали пленки нитрида алюминия, пятиокиси тантала и тантала в следующей последовательности; нитрид алюминия, пятиокись тантала, нитрид алюминия, тантал.Отличительные признаки обеспечили достижение рассеиваемой сущности резисторов 53-65 Вт/мм, что на 10-20 Вт/ммг г больше, чем у прототипа. Повышение механической прочности защитных слоев от истирания и высокая стабильность номиналов резисторов позволило повысить надежность устройства при эксплуатации и, соответственно, осуществить запись информации на термочувствительную бумагу до 3 10 -5 10 точек,Благодаря высокой однородности толщины пленки поликремния и высокой маскирующей способности защитных слоев от влаги в 3-4 раза увеличилась воспроизводимость номинала резисторов. Отличительные признаки предлагаемого устройства обеспечили также снижение трудоемкости его изготовления более чем на 30 ф а в 5 аппаратуре записи позволили снизить в 510 раз требования к неплоскостности контакта между термочувствительной бумагой и данным устройством.Внедрение устройства позволяет суще ственным образом расширить номенклатуру, надежность и качество различного рода регистрирующей аппаратуры,Формула изобретения15 1. Термопечатающее устройство, содержащее ситалловое основание, резистивный, проводниковый и защитный слои, о тл и ч а ю ще е с я тем, что, с целью повышения долговечности и качества печати, за 20 щитный слой выполнен из набора пленок,причем наружная из пленок выполнена изтугоплавкого металла, а контактирующая сней с внутренней стороны пленка выполнена из чередующихся между собой слоев нит 25 рида алюминия и пятиокиси тантала, приэтом резистивный слой выполнен на основелегированного поликристаллического кремния,2, Устройство по п.1, отл и ч а ю ще е 30 с я тем, что наружная пленка выполнена изтантала,