Интерференционный способ контроля толщины прозрачнб1х слоев

Союз Советских Социалистических Республик172 ОЗБ К АВТОВООМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ависимое от авт. свидетельства л, 42 Ь, 34,г 42 Ь, 12 о; 035/26 аявлено 15 Х,1964 ( исоедипением заявкиМПК 6 020 Сг 01 Ь УДК 531.71(088.8) 621.753 (088,8)Государствеиицй комитет по делам изобРетеиий и открытий СССРт порг етень М 12 Опубликовано 22.Ъ 1,196 Дата опубликования оп Бго 1,1965 ани Г 1"0 МИвторзобретени Б, А. Шапочкин Заявит НТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНЫХ СЛОЕВдггасная грутга Юв 170 Известен интерференционный спосоо конт. роля толщины прозрачных слоев, образованных на сферических и асферических поверхностях оптических деталей, в котором освещение слоя монохроматическим светом осуществляется из центра кривизны поверхности, а измерение полученной интерференционной картины - оптической головкой микроскопа с поворотным механизмом.Однако контроль этим способом в случае значительного угла между нормалью к поверхности на краю детали и оптической осью затруднен, так как апертура измерительного микроскопа может оказаться недостаточной и интерференционные полосы не будут наблюдаться в микроскоп. Создание специальных поворотных устройств для микроскопа или детали усложняет установку и снижает точность измерения.Г 1 редлагаехгый интерференционный способ контроля толщины прозрачных слоев, образованных на поверхностях относительно большой кривизны, отличается тем, что освещение слоя осуществляется из действительного оптического фокуса данной поверхности. Такой способ освещения прозрачного слоя позволяет получить интерферирующие пучки, составляющие малые углы с оптической осью поверхности, Для измерения интерференционной картины используют микроскоп с двумя относительными перемещениями - вдоль оптической оси микроскопа и перпендикулярно ей, Кроме того, с целью упрощения конструкции микроскопа из него удалена оптическая 5 головка с поворотным механизмом.На фиг, 1 изображена принципиальная схема установки для контроля толщины прозрачного слоя на вогнутой поверхности относительно большой кривизны; на фиг. 2 - то же, 10 для выпуклой поверхности оптической детали.Оптическая деталь 1 с контролируемымслоем 2 освещается монохром атическим источником 3 света из действительного оптического фокуса поверхности.15 Интерферирующие пучки лучей, отраженные от поверхностей слоя и детали, будут составлять с оптической осью малые углы, и интерференционную картину можно наблюдать на любой зоне детали у через микроскоп 4, 20 ось которого параллельна оптической оси де.тали. Зная из предварительного расчета теоретическое положение интерференционных полос по зонам поверхности и величину каждо.го интервала между ними, можно при помо щи измерительного микроскопа измерить смещение соответствуюших интерференцпонных полос на контролируемом слое и определить отклонение действительной толщины слоя от требуемой. Б установке для контроля толщи ны прозрачного слоя на выпуклой поверхноаз 1696/18 Тираж 775 Формат бум. 60 Х 90/, Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп.ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 ипография, пр, Сапунова, д, 2 сти детали источник 5 монохроматического света совмещен с действительным оптическим фокусом отражательной оптической детали 6. Интерференционная картина, возникающая в прозрачном слое 7, может наблюдаться с помощью микроскопа 8 через слой стекла оптической детали. При этом необходимо вводить поправку в положение интерференционной полосы, определяемой отрезком у, исходя из положения микроскопа, определяемого отрезком у,В каждом конкретном случае можно найти тот или иной способ освещения слоя из действительного оптического фокуса поверхности, например, используя светопровод, высоко- апертурный конденсор и др.Способ может быть использован для конт.роля. прозрачных слоев с неравномерной толщиной по зонам детали при асферизации вакуумным способом и т, д,Предмет изобретения 5 Интерференционный способ контроля толщины прозрачных слоев, образованных на сферических и асферических поверхностях оптических деталей, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения путем 10 исключения поворотных устройств для измерительного микроскопа или детали, освещение слоя производят из действительного оптического фокуса данной поверхности, а измерение полученной интерференционной карти ны осуществляют с помощью микроскопа приотносительных перемещениях его и данной поверхности - вдоль оптической оси микроскопа и перпендикулярно к ней.