Способ получения микроэлектронных диодных матричных и полосовых структур
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
68 Я 9 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. св етельстваЗаявлено 14.11.1963 ( 819016/26 с присоединением заявкиПриоритет 1 П Государственныи комитет по делам изобретений и открытий СССРОпубликовано 18.1.19 юллетень4 ата оп кования описания 26.П.196 е 1,г М:1"6ти вторызобрете В, И. Савченко и С идоренк аявител ПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ДИОДНЫХ МАТРИЧНЫХ И ПОЛОСОВЫХ СТРУКТУРспособ получения микроэлектронгх матричных и полосовых структур плотностью диодов в единице объедственно из пластин путем электого прорезания лунок в и-слое исастины германия п-р-п-структуры, металла, нанесения изолирующего ин и травления формируемой матуктуры, пока германий не останетвиде столбиков на перекрестиях двустороннюю р ческим прореза кулярных бороз 0,1 - 0,15 мм и с 5 шлифовкои пов ном абразивном ческим путем о например медь,наносят полисти О пендикулярных стьующими рас снимают путем талл с незащищ пластин и, нак 5 электрохимичес растворе ХаОН 0,4 а/сл- до тех ния останутся л готся утолщенияазметку пластин электролитинием в них взаимно перпендид глубиной 0,05 мм, шириной шагом 1,4 мм, с последующей ерхностей пластин в отмученпорошке. Далее электрохимисаждают на пластины металл, с толщиной покрытия 50 мк, роловый рисунок взаимно першин с утолщениями, соответположению будугцих диодов, химического растворения меенных полистиролом участков овец, вытравливают германий ким растворением в 10%-ном при плотности тока 1 = 0,2 - пор, пока р-гг-столбики гермаишь на перекрестиях, где имеаемый спо что слой снимают холостые алениПредлагных тем,германияровкой, ают полным уднии,Это позволяет уптовления диодных мизолирующие свойсшин матриц.Сущность способа соб отлича исходнойэлектрохимперекрестием германг ется от известг-р-п-пластины ической полия шин получая при травлеостить технологию изгоатриц (полос) и повысить ва холостых перекрестий О Таким образом, получается ная диодная матрица, предста две взаимно перпендикулярны раллельных шин, в утолщения положены диоды. икроэлектронляющая собойсистемы пакоторых расзаключается в следующем.Исходный матер подвергают двусто в атмосфере водор слоев полученной электрохимической кой абразивным по рмания - паром 5 Ь дин из п снимают шлифов- роизводят 25 иал - пластины ге ронней диффузии ода при 850 С. О и-р-п-структурыполировкой или рошком. Затем п Плотностьсоставляет 1 Полосовую ем матриц. омпоновки диодов в матрице 0 в 14 диодов в 1 смз.структуру получают разрезаниодписная групгга ЛВ 174 Известенных диодньс большойема непосрролитическходной плосаждениярисунка шричной стрся лишь вшин. л. 42 пт, 14 42 пт, 14 оз 21 аг, 36 21 а 1, 75 К 6 061 6 061 Н 03 к Н 01 п ДК 682.142.659;621.374; 621.314.63/64 (088.8)168519 Предмет изобретения Составитель Г. Чуйко Редактор П. Шланн Техред А. А, Камышникова Корректор Ю. М. ФедуловаЗаказ 3809/17 Тираж 900 Формат бум. 60 Х 90/з Объем 0,1 изд. л. Цена 5 кон. ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2 Способ получения микроэлектронных диодных матричных и полосовых структур, с разметкой п-р-л,-структуры исходной пластины германия под ряды диодов и шин осаждением металла, нанесением изолирующего рисунка шин и травлением формируемой матричной системы, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления диодных матриц и полос и повышения изолирующих свойств холостых перекрестий шин матриц, 5 слой и-исходной и-р-а-пластины снимают электрохимической полировкой, а холостые перекрестия шин получают полным удалением германия при травлении,
СмотретьЗаявка
819016
В. И. Савченко, С. Л. Сидоренко
МПК / Метки
МПК: G11C 11/34, G11C 11/40
Метки: диодных, матричных, микроэлектронных, полосовых, структур
Опубликовано: 01.01.1965
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-168519-sposob-polucheniya-mikroehlektronnykh-diodnykh-matrichnykh-i-polosovykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения микроэлектронных диодных матричных и полосовых структур</a>
Предыдущий патент: 168518
Следующий патент: Способ измерения коэрцитивной силы не анизотропной магнитной пленки
Случайный патент: Манипулятор лесозаготовительной машины