Состав для травления
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОНИ СОВЕТсовалиРЕСПУБЛИ сних вских 09 И)5 С 30 В 33/00, 2 ГОСУД по изо Г 1 РИ ГНН ЕННЫЙ НОМИТЕТетениям и отщыти,щСССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК А ВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(088,8)й 3860467,1. 7/50, 1975,еии кой фа ЫН 1 О Формула изобре Состав для травления в монокристаллических подлож и ЬхТаО, содержащий НР и понент, о т л и ч а ю щ и что, с целью повышения ско(54) СОСТАВ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к неорганической химии и может быть испольИзобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, н может быть использовано для химической обработки монокристаллических подложек из ниобата и танталата лития.Целью изобретения является повьппение скорости травления.П р и м е р. Берут 47 г фторида калия, помещают в никелевый сосуд,после чего в сосуд конденсируют 30 г фтористого водорода при 10 С. Вместо перечисленных компонентов можно взять навески 79,4 г КН 2 Р и 3,8 г КР, поместить в никелевый сосуд и перемешать. Далее сосуд с твердой смесью реагентом нагревают до 133 С, поме.- щают в образовавшийся расплав подложки ниобата и танталата лития и травят при этой температуре. Количество исходных компонентов для приготовления травителя и температуру травления определяют из фазовой диаграммы системы КР-НР при концентрациях КР 61 мас,Ж и НР 39 мас.й. зовано для химической обработки подложек ниобата и танталата лития. Цельизобретения - повышение скороститравления, Состав для травления монокристаллических подложек ниобата итанталата лития представляет собойрасплав компонентов, взятых в количестве, соответствующем на фазовойдиаграмме НР-КР, где И-щелочной металл и/или аммоний, соотношению,мас.7: МР 48-89, КР 11-52. Скоростьтравления повьшается в несколько разпо сравнению с прототипом. 1 табл. Травление можно проводить при температуре выше температуры плавления твердой смеси, т.е. при любой температуре, когда используемый состав будет представлять собой жидк ость. Скорость травления составляет 1,94 и 0,96 мкм/мин для ниобата и танталата лития соответственно.Скорости травления в растворах с другим содержанием МР приведены в : таблице.Как видно из таблицы, значения скорости травления с использованием предлагаемого раствора превышают скорости травления известному составу в несколько раз, что позволяет поднять производительность процесса травле- ния1594222 ления, в качестве второго компонентасостав содержит па крайней мере одинфторид или гидрофторид щелочного металла и/или аммония в количестве, соответствующем на фазовой диаграммесоотношению, мас.7.: МГ 48-89 и НР 1152, где М - щелочной металл или аммоний,ю ОпытСостав для травления дЯЬО э ТаО омпонент Концентрациямас,% 0 7 КГ НР 0,23;твенного комитета по изобретениям 113035, Москва, )Н, Раушская на писное при ГКНТ СССР открыт д. 4
СмотретьЗаявка
4461713, 13.07.1988
МОСКОВСКИЙ ХИМИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. Д. И. МЕНДЕЛЕЕВА, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1211, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5332
РАКОВ ЭДУАРД ГРИГОРЬЕВИЧ, ФЕДОРОВ АНДРЕЙ ЕВГЕНЬЕВИЧ, МЕЛКУМЯНЦ МИХАИЛ ВЛАДИМИРОВИЧ, КУПРЮНИН ДМИТРИЙ ГЕННАДИЕВИЧ, ГРУЗДЕВ АНДРЕЙ ПАВЛОВИЧ, КАРПЕЕВ ДМИТРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C30B 29/30, C30B 33/00
Опубликовано: 23.09.1990
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1594222-sostav-dlya-travleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Состав для травления</a>
Способ сухого травления ниобата лития
Номер патента: 1638222
Опубликовано: 30.03.1991
Авторы: Гольдфарб, Дикарев, Перелыгина, Петраков
МПК: C30B 29/30, C30B 33/12
Метки: лития, ниобата, сухого, травления
...типа на расстоянии 45 мм от потенциального электрода.Диаметр камеры 120 мм, Вакуумы тема обеспечивает уровень предв тельного разрежения в РРК не2,7 Па, Процесс травления 1.1111 ЬО про" водят при давлениях плаэмообразующего газа Р=40, 53, 66 Па и средних эначеИзобретение относится к обл ионики, в частности к методамовления приборов на твердомтеиспользованием ниобата лития.ечиваетсяповьппение скоростиения. Спо соб включает сухоеение в плазме высокочастотногода газообразного гексафторида5 Р при условии Т 700-39 4 Р,- температура ниобата лития, К;авление Баб 9 равное 406 Р 66 Па.гнута скорость травления 0,25 мкм/мин. 1 табл,В таблице приведены рез ы травления образцов 1 ЙЬОз при различных параметрах процесса: Р - д ение,.Па; И - среднее...
Состав для изготовления сосудов
Номер патента: 424533
Опубликовано: 25.04.1974
Авторы: Засухина, Зачесова, Круть, Кустова, Перевезенцева, Середина
МПК: A01G 9/02
...рения сырьевой дов и улучшени качестве основн резиновую крош наполнителя - др 20 - 200 вес. ч. н нента.(22) Заявлено 16.05.72 (21) 17 Опубликовано 25,04,74. Вюллет та опубликования описания 16,10.7 Изобретение сихозяйства, а оводству.Известен состав для изготовления сосудов, включающий основной компонент, например глину, и наполнитель - песок. Однако сосуды, изготовленнье из этого состава, имеют значительный вес, легко разрушаются, не обеспечивают достаточной воздухопроницаемости и дорогостоящие, 10Целью изобретения является расширение сырьевой базы для изготовления сосудов и улучшение их воздухопроницаемости.Эта цель достигается тем, что в качестве основного компонента в состав вводят резиновую крошку отходов производства, а в...
Состав для изготовления сосудов
Номер патента: 808049
Опубликовано: 28.02.1981
Авторы: Зачесова, Перлина, Середина, Шмурак
МПК: A01G 9/02
...резинового производства, непригодной для использования по прямому назначению.Крошка пропиточного состава образуется в процессе высушивания пропитанного корда в результате соскабливания с его поверхности пропиточного состава.Составы для формования сосудов приведены в таблице. Смесь листуют на кал андре, вальцах,шприцмашине, нарезают заготовки нужного размера на дисковых ножах, рубильныхстанках и др. оборудовании, применяемомв резиновой промышленности и закладывают в форму. Формование и вулканизациюосуществляют на прессах в течение 3 - 10 минпри 142 в 1 С,Сочетание подвулканизованной резиныс крошкой пропиточного состава позволяетполучить эластичный материал для изготовления сосудов с улучшенными прочностными показателями при 100 С, что...
Полимерная композиция
Номер патента: 1548192
Опубликовано: 07.03.1990
Авторы: Лапицкий, Слуцкий, Соколов, Струк
МПК: C08K 5/00, C08L 23/06
Метки: композиция, полимерная
...режим в камере задается и поддерживается с помощью.автоматического устройства ТС. Система оро" шения регулируется автоматически,Физико-механические свойства (разрушающее напряжение при растяжении иотносительное удлинение при разрыве)определяют на образцах, выполненныхв виде двухсторонних лопаточек с размерами рабочей части 10 х 2 х 0,12 мм,которые вырубают штампом из пленки.Пленки получают на термопрессе притемпературе 473 К и давлении 1,1 МПа.Светостабильность композиции оценивают после воздействия УФ-облучения по изменению предела прочностипри растяжении и относительного удлинения при разрыве образцов, Испытанияпоследних осуществляют на разрывноймашине при скорости перемещения подвижного зажима 54 мм/мин,100,00 Таблица 1...
Способ травления кристаллов танталата лития
Номер патента: 1583478
Опубликовано: 07.08.1990
Авторы: Большакова, Елкин, Козлов, Масленников, Сорокина
МПК: C30B 29/30, C30B 33/00
Метки: кристаллов, лития, танталата, травления
...1. представлена структураполидоменного образца, выявленнаяс помощью известного и предлагаемогспособов; на фиг,2 - поверхности крталла танталата лития, подвергнутогтравлению предлагаемым способом втечение 5; 7 и 10 с; на фиг.3структура монодоменного и полидоменго образцов,Гранулированный едкий кали в колчестве 7 г засыпают в керамический ится к обралата лития астности к и доменной етодами опти кроскопии.ить и сокра нокристаллы едкого кали5-7 с.нижена до роводится расплава, получитьЦов в течение 5 с (фиг.2 а), 7 с (фиг.2 б) и 10 с (фиг.2 в) в расплаве дкого кали.П р и м е р 3. Полидоменный (фиг,Зб) и монодоменный (фиг.За) образцы, изготовленные из монокристалла танталата лития, одновременно Оодвергают травлению в расплаве едкого кали при...
Предыдущий патент: Кристаллический оптический материал
Следующий патент: Способ получения термопластичного волокна
Случайный патент: Способ выделения ферментных препаратов из технического ферментного препарата -амилоризин п10х