Способ сухого травления ниобата лития
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1638222
Авторы: Гольдфарб, Дикарев, Перелыгина, Петраков
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1638 А О В ЗЗ/1 зо ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ ТЕЛЬСТ К АВТОРСКОМУ С 7) аст ектр го ле с Обес 1 иу ни тр авлтр авлразрясерыгде ТР - дДо сти,4 мощно сти в объеме РР К Вт/см . Значения тем 3 ниях плотностиот 0,13 до О 34пературы образцаапюмелевой термо меряют хромельой на поверхности я цикла травлестола после окончаниния, Среднкно скоростьределяют взвешиваниемпосле процесса с послсчетом разницы .веса вщины. р авл ения о бразца до и кщим переменение тол ульт ат авл ая сис- ари- хуже тия. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(56) СЬцп 9 Р.5. -ас а 1. Огу еС сЬагасСег 1 эс 1 сэ оГ 21 МЬО.//Е 2 ей 1986, 22, Р 9, р. 484-4(54) СПОСОБ СУХОГО ТРАВЛЕНИЯЛИТИЯ Изобретение относится к электро - технике, в частности к методам изготовления приборов на твердом теле с использованием ниобата лития.Цель изобретения - повьппение скорости процесса.П р и м е р. Прямоугольные образцы ниобата лития 1.1 ЙЬО толщиной 0,75 мм с линейными размерами 8-10 мм подвергают травлению в плазме высокочастотного разряда - ВЧ газообразного гексафторида серы 5 Г . Способ воэбуждебния разряда - диодный, рабочая частота 13,56 МГц. Образцы располагают на металлическом столе в цилиндрической кварцевой реакционно-разрядной камере РРК вертикального типа на расстоянии 45 мм от потенциального электрода.Диаметр камеры 120 мм, Вакуумы тема обеспечивает уровень предв тельного разрежения в РРК не2,7 Па, Процесс травления 1.1111 ЬО про" водят при давлениях плаэмообразующего газа Р=40, 53, 66 Па и средних эначеИзобретение относится к обл ионики, в частности к методамовления приборов на твердомтеиспользованием ниобата лития.ечиваетсяповьппение скоростиения. Спо соб включает сухоеение в плазме высокочастотногода газообразного гексафторида5 Р при условии Т 700-39 4 Р,- температура ниобата лития, К;авление Баб 9 равное 406 Р 66 Па.гнута скорость травления 0,25 мкм/мин. 1 табл,В таблице приведены рез ы травления образцов 1 ЙЬОз при различных параметрах процесса: Р - д ение,.Па; И - среднее значение плотности мощности ВЧ энергии в объеме РРК, Вт/см , ТК - температура обраэ 3ца в градусах Кельвина; ч " скорость травления образца, мкм/мин.В известном способе скорость трав 1 ления не превышает 0,2 мкм/мин.Таким образом, использование изобретения позволит увеличить скорость плазмохимического травления ниобата1638222 Продолжение таблицы 53 0,13 0,17 0,22 0,13 66 15 0,17 0,2 0,25 О, 15 0,25 0,15 0,25,560 510 560 500 520" МЗвездочкой обозначены те значея Т, которые удовлетворяют условформуле изобретения,0 0 Составитель В. Безбородоваактор А. Маковская Техред Л. Сердюкова Корректор Н.Ревская Тираж 266 енного комитета по изобре 13035, Москва, Ж, Рауш Подписнотиям при ГКН4/5 904Госуда НИИПИ ениям и отк кая наб., д изводственно-издательский комбинат "Патент", г,ужгород, ул. Гагарина,1 Формула изобретения Способ сухого травления ниобата1лития в плазме высокочастотного разря 5 да газообразного гексафторида, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения скорости процесса, для трав- ления используют гексафторид серы и процесс ведут при условии Т 700-3,4 Р, 10 где Т - температура ниобата лития, К;40 ПаР66 Па - давление гексафторида серы. 530 590 460 515 475 495 460 500 ф 460 475" 425 465 390 0,15 0,85 0,05 0,3 0,15 ,0,25 0,2 0,5 0,2 0,25 0,15 0,25 0,05 0,45
СмотретьЗаявка
4675516, 11.04.1989
ВОРОНЕЖСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. ЛЕНИНСКОГО КОМСОМОЛА
ГОЛЬДФАРБ ВЛАДИМИР АБРАМОВИЧ, ДИКАРЕВ ЮРИЙ ИВАНОВИЧ, ПЕТРАКОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, ПЕРЕЛЫГИНА ЛЮДМИЛА ВИКТОРОВНА
МПК / Метки
МПК: C30B 29/30, C30B 33/12
Метки: лития, ниобата, сухого, травления
Опубликовано: 30.03.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1638222-sposob-sukhogo-travleniya-niobata-litiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ сухого травления ниобата лития</a>
Способ определения оптимальной скорости резания в процессе обработки заготовки
Номер патента: 1202811
Опубликовано: 07.01.1986
Авторы: Махмудов, Остафьев, Пивко, Скицюк, Шевченко
МПК: B23Q 15/00
Метки: заготовки, оптимальной, процессе, резания, скорости
...энергии н сооггояпце с меньшим значением энер.пп, прц .-.;ом выделяется часть избыточной з).ергии. Нд первом этапе40 нзаимодейс гния это электрическая :нергия и энергия электромагнитного )злучеьпя Поэтому измерение н процессе резания ЭДС резания и потока электромагнитного излучения из зоны резания позволяет получить информацию45 , процессах, происходящих на конгзктных поверхностях инструмента и д:тали, Контактная поверхность пред.ганляет собой на микроуровне мно,.ство отдельных точек взаимодейцстния, которые являются зонами ;бмена электронами между инструменц ц-ом и деталью и очагами генериро-,дния электромагнитного излучения. Возникающая в процессе резания ЭДС носит импульсный характер, а число импульсов высокочастотной 10- :.10 кГц,...
Измеритель среднеквадратичного значения скорости нормального случайного процесса
Номер патента: 279211
Опубликовано: 01.01.1970
Автор: Мирский
МПК: H03K 21/10
Метки: значения, измеритель, нормального, процесса, скорости, случайного, среднеквадратичного
...равный числу пересечений реализацией нулевого уровня (снизу вверх).279211 Предмет изобретения Составитель В. Пятницкий Редактор Т. И. Морозова Тсхред Л. Я. Левина Корректор О, С, ЗайцеваЗаказ 3223/5 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб., д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2 Центрированное напряжение исследуемой реализации параллельно с подачей в формирователь импульсов подводится к выпрямителю и после выпрямления поступает в аналогово- цифровой преобразователь.В моменты опросов, задаваемых импульсами генератора опроса, аналого-цифровой преобразователь преобразует напряжение в пропорциональное число импульсов. Эти импульсы считаются счетчиком импульсов И. По...
Способ автоматического определения скорости пенообразования в процессе культивирования микроорганизмов
Номер патента: 1353811
Опубликовано: 23.11.1987
Авторы: Бярулис, Кондратавичюс, Савицкис, Станишкис
МПК: C12Q 3/00
Метки: культивирования, микроорганизмов, пенообразования, процессе, скорости
...осуществляется в ферментере 1.Система работает следующим обра зом.Когда уровень пены в ферментере 1 достигает заданного уровня, возникает контакт между пеной и электродом 2 и регулятор 3 вырабатывает им- ЗО пульсное регулирующее воздействие для исполнительного механизма 4 подачи дозы химического пеногаситепя. Начинается процесс пеногашения. Если пер - вая доза химического пеногасителя недостаточная для погашения пены до разрыва контакта пены с электродом 2, регулятор 3 вырабатывает второе импульсное регулирующее воздействие для исполнительного механизма 4 Величина дозы химического пеногасителя и интервала Д 7 между дозами определяется заранее экспериментальным путем для конкретной культуры и конкретных 20 условий культивирования....
Способ определения относительной угловой скорости при колебательном процессе управления ориентацией объекта на подвижный ориентир
Номер патента: 1819831
Опубликовано: 07.06.1993
Автор: Ануприенко
МПК: B64G 1/24
Метки: колебательном, объекта, ориентацией, ориентир, относительной, подвижный, процессе, скорости, угловой
...в соответствии со следующим выражением йи+Ии15 2где И о 1 и Иа скорости вращениямаховика ЭМД при срабатывании и отпускании порога соответственно, причем а интер вале срабатывания и отпускания порогамомент, прикладываемый к объекту, постоянен (управляющий момент при сработавшем пороге или возмущающий момент при отпущенном пороге).Сущность способа поясняется следующим. Поддержание ориентации с помощью исполнительных органов возможно только в режиме колебаний, это единственный способ иметь в среднем р =О. При колебани ях всегда имеют место моменты времени,когда угловое отклонение ф относительно ориентира достигает экстремумов (максимумов. и минимумов). В эти моменты времени относительная угловая скорость фпроходитчерез нуль( р = 0)....
Способ определения относительной угловой скорости при колебательном процессе управления ориентацией объекта на подвижный ориентир
Номер патента: 1819832
Опубликовано: 07.06.1993
Автор: Ануприенко
МПК: B64G 1/24
Метки: колебательном, объекта, ориентацией, ориентир, относительной, подвижный, процессе, скорости, угловой
...и угловой скорости запомненной в момент достижения угловым отклонением экстремального значения.Дополнительной целью является уменьшение требуемого диапазона измерения абсолютных угловых скоростей при использовании в качестве измерителя гироскопического датчика угловой скорости,Эта цель достигается тем. что сигнал, соответствующий запомненному в момент времени в значению угловой скорости подают на датчик момента датчика угловой скорости. сигнал, запомненный в момент времени в1 алгебраически суммируют с сигналами, запомненными в момент времени Ю. подавая на датчик момента сигнал, пропорциональный алгебраической сумме запомненных сигналов.Сущность способа поясняется следующим. Достижение угловым отклонением р экстремума означает, что...
Предыдущий патент: Способ обработки монокристаллов гранатов
Следующий патент: Устройство для раскладки нити
Случайный патент: Многоканальное устройство приоритета